下载一种伯努利吸盘及硅片移送装置的技术资料

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本实用新型涉及吸盘技术领域,提供了一种伯努利吸盘及硅片移送装置。一种伯努利吸盘,其包括第一吸盘主体,所述第一吸盘主体包括第一壳体和设置于所述第一壳体内的第一吸盘芯体;其中,所述第一壳体呈方形,所述第一壳体的底面包括中间区域和边缘区域,所述中...
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