一种可调节翘曲角度的推舟装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可调节翘曲角度的推舟装置，包括：推舟背板、背板升降机构、翘曲角度调节机构和推舟桨，推舟背板上设有滑动座，滑动座上设有用于驱动推舟桨沿水平方向上下摆动的翘曲角度调节机构；推舟桨包括柄部、承载部和固定板，柄部的一端与承载部连接，柄部的另一端与固定板连接；所述翘曲角度调节机构上设有用于调节承载部翘曲角度的调节机构，调节机构包括凸轮组件、凸轮驱动组件和调节板，调节板分别与凸轮组件和固定板连接，在凸轮驱动组件的驱动下，凸轮组件带动调节板沿水平方向上下摆动，以实现承载部翘曲角度调节。本实用新型专利技术具有结构紧凑、运行可靠、易于控制等优点，有效避免了推舟桨与石英炉管反应室发生碰撞。生碰撞。生碰撞。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节翘曲角度的推舟装置


[0001]本技术属于半导体加工设备
，具体涉及一种可调节翘曲角度的推舟装置。

技术介绍

[0002]推舟装置是太阳能电池片生产工艺设备中的一种机构，主要用于将装有硅片的舟(石英舟或石墨舟)送入工艺设备的反应室(炉管)中反应，并待反应完成后将舟取出。承载舟的装载机构采用悬臂方式，待舟放在悬臂装载机构上后，悬臂在负载和重力的作用下会产生变形。舟越重，悬臂越长，结构形变就越大，推舟装置将舟送入反应室(炉管)中所需要的空间就更大。随着生产能和工艺的不断提升，电池片的尺寸在不断变大，舟的尺寸也随之变大。而且随着产能的不断提升，原有的单个舟已经变为双舟，舟长度在不断变长，舟页尺寸不断变大，推舟悬臂结构的形变也随之不断变大。
[0003]现有推舟结构的舟承载结构采用固定式，只可预先调节好，在取放舟的过程中是不可调节的。由于舟承载结构为悬臂结构，在舟和承载结构重力的影响下，悬臂结构发生形变。推舟结构通过预先调节舟承载结构的翘曲来平衡结构变形。如果以传统的推舟结构进行推拉舟，反应室(炉管)则需要更大的空间为推拉舟提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调节翘曲角度的推舟装置，其特征在于，包括：推舟背板(1)、背板升降机构(3)、翘曲角度调节机构(4)和推舟桨(5)，所述推舟背板(1)上设有滑动座(101)，所述滑动座(101)上设有用于驱动推舟桨(5)沿水平方向上下摆动的翘曲角度调节机构(4)；所述推舟桨(5)包括柄部(51)、承载部(52)和固定板(53)，所述柄部(51)的一端与承载部(52)连接，柄部(51)的另一端与固定板(53)连接；所述翘曲角度调节机构(4)上设有用于调节承载部(52)翘曲角度的调节机构，所述调节机构包括凸轮组件、凸轮驱动组件和调节板(17)，所述调节板(17)分别与凸轮组件和固定板(53)连接，在凸轮驱动组件的驱动下，凸轮组件带动调节板(17)沿水平方向上下摆动，以实现承载部(52)翘曲角度调节。2.根据权利要求1所述的可调节翘曲角度的推舟装置，其特征在于，所述翘曲角度调节机构(4)包括第一固定板(41)、隔板(44)、第三固定板(45)和第四固定板(413)，所述第一固定板(41)分别与滑动座(101)和隔板(44)连接，所述隔板(44)与第四固定板(413)通过第三固定板(45)连接，所述凸轮组件的一端与隔板(44)连接，凸轮组件的另一端与第四固定板(413)连接，所述第四固定板(413)上设有凸轮驱动组件，所述凸轮驱动组件的输出端与凸轮组件连接。3.根据权利要求2所述的可调节翘曲角度的推舟装置，其特征在于，所述翘曲角度调节机构(4)还包括旋转轴组件，所述旋转轴组件的一端与隔板(44)连接，旋转轴组件的另一端与第四固定板(413)连接；所述调节板(17)的一端与旋转轴组件转动连接，调节板(17)的另一端搭接在凸轮组件上；在凸轮驱动组件的驱动下，凸轮组件带动调节板(17)绕旋转轴组件转动上下转动。4.根据权利要求3所述的可调节翘曲角度的推舟装置，其特征在于，所述凸轮组件包括驱动轴支撑轴承(46)、调节板支撑轴承(47)、凸轮(48)和驱动轴(49)；所述驱动轴(49)两端分别通过驱动轴支撑轴承(46)与隔板(44)和第四固定板(413)连接，且驱动轴(49)与凸轮驱动组件的输出端连接；所述凸轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾昭贤，成秋云，李晔纯，郭艳，朱恒，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：