一种晶圆再生用传输设备及其传输方法技术

本发明专利技术涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆再生用传输设备及其传输方法，包括传送带，还包括拆装机构、定位机构和移位机构，所述拆装机构固定安装在传送带外壁两侧，所述拆装机构顶部固定安装有上料机构，所述上料机构内壁两侧设置有防护减震机构，本发明专利技术中通过设置有移位机构、加压出料机构和固定支撑机构，将连接管通过销轴和卡箍固定在支撑板底部，使出油嘴的位置对准滑轨顶部，可以更加便捷的根据不同的使用情况对出油嘴的位置进行调节，以便于适应不同的使用情况，更加的便捷，再打开气缸使气缸带动推杆将活塞缓慢下压，从而使润滑油罐内部的润滑油缓慢的通过出油嘴滴出，可以更加快速便捷的根据使用的需求调节活塞的下压速度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆再生用传输设备及其传输方法


[0001]本专利技术涉及晶圆
，特别是涉及一种晶圆再生用传输设备及其传输方法。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，晶圆再生过程中需要对晶圆进行传输移位，以便于进行后续的加工。
[0003]上述专利技术中，存在问题如下：（1）现有的传输设备在使用时通常无法更加便捷的对晶圆进行定位固定，在传输过程中晶圆容易造成移位，导致晶圆偏离本来的轨迹，影响运输的效果。
[0004]（2）现有的传输设备在使用时不能根据设备的使用需求对设备的特定部位进行充分的润本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆再生用传输设备及其传输方法，包括传送带（1），其特征在于：还包括拆装机构（2）、定位机构（5）和移位机构（6），所述拆装机构（2）固定安装在传送带（1）外壁两侧，所述拆装机构（2）顶部固定安装有上料机构（3），所述上料机构（3）内壁两侧设置有防护减震机构（4），所述定位机构（5）固定安装在传送带（1）内壁两侧，所述移位机构（6）固定安装在传送带（1）顶部两侧，所述移位机构（6）包括两个固定安装在传送带（1）顶部两侧的第二安装板（61）、两个分别固定安装在两个第二安装板（61）顶部的丝杆滑台（62）和两个分别固定安装在两个丝杆滑台（62）的滑动块顶部的支撑架（63），所述支撑架（63）顶部固定安装有加压出料机构（7），所述加压出料机构（7）一侧固定连接有固定支撑机构（8）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用传输设备及其传输方法，其特征在于：所述拆装机构（2）包括两个分别固定安装在传送带（1）外壁两侧的连接板（21）、两个分别开设在两个连接板（21）一侧的卡槽（22）、两个分别配合安装在两个卡槽（22）内侧的卡块（23）和两个分别固定安装在两个卡块（23）一侧的机箱（24）。3.根据权利要求2所述的一种晶圆再生用传输设备及其传输方法，其特征在于：所述上料机构（3）包括两个分别固定安装在两个机箱（24）顶部的电动转盘（31）、两个分别固定安装在两个电动转盘（31）顶部的第一安装板（32）、两个分别固定安装在两个第一安装板（32）顶部的电动升降套杆（33）、两个分别固定安装在两个电动升降套杆（33）的伸缩端的机械臂（34）和两个分别固定安装在两个机械臂（34）一侧的机械爪（35）。4.根据权利要求3所述的一种晶圆再生用传输设备及其传输方法，其特征在于：所述防护减震机构（4）四个分别固定安装在两个机械爪（35）内侧的连接块（41）、四个分别固定安装在四个连接块（41）一侧的伸缩套（42）、多个分别固定安装在四个伸缩套（42）内部的固定块（43）、...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩五静，昝芳情，
申请(专利权)人：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：