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本发明涉及晶圆技术领域，具体是一种晶圆再生用传输设备及其传输方法，包括传送带，还包括拆装机构、定位机构和移位机构，所述拆装机构固定安装在传送带外壁两侧，所述拆装机构顶部固定安装有上料机构，所述上料机构内壁两侧设置有防护减震机构，本发明中通过...
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