本实用新型专利技术公开了一种乙硅烷中金属离子取样装置，其技术方案要点是：包括取样瓶，所述取样瓶的右侧设置有第一过滤瓶，所述第一过滤瓶的右侧设置有第二过滤瓶，所述第二过滤瓶的右侧设置有燃烧塔，所述燃烧塔的右侧设置有第三过滤瓶；四个密封盖，四个所述密封盖分别连接在所述取样瓶、所述第一过滤瓶、所述第二过滤瓶和所述第三过滤瓶的内部，所述密封盖的顶端开设有进气孔，所述密封盖的顶端开设有出气孔，通过设置质量流量计，由于质量流量计连接在检测管的一端，从而使进入检测管内部的乙硅烷样品可以通过质量流量计进行计量，从而便于工作人员后期控制乙硅烷样品流量，便于后期对乙硅烷样品进行取样，减少了取样等待时间。减少了取样等待时间。减少了取样等待时间。
【技术实现步骤摘要】
一种乙硅烷中金属离子取样装置
[0001]本技术涉及乙硅烷取样
，具体涉及一种乙硅烷中金属离子取样装置。
技术介绍
[0002]乙硅烷主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等领域。
[0003]但目前大部分的乙硅烷中金属在进行取样时，无法准确计量乙硅烷气体通过量，或超压、超流量连锁，大大延长了取样等待时间，为解决上述问题，为此我们提出了一种乙硅烷中金属离子取样装置。
技术实现思路
[0004]针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的是提供一种乙硅烷中金属离子取样装置，以解决
技术介绍
中提到的问题。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0006]一种乙硅烷中金属离子取样装置，包括：取样瓶，所述取样瓶的右侧设置有第一过滤瓶，所述第一过滤瓶的右侧设置有第二过滤瓶，所述第二过滤瓶的右侧设置有燃烧塔，所述燃烧塔的右侧设置有第三过滤瓶；四个密封盖，四个所述密封盖分别连接在所述取样瓶、所述第一过滤瓶、所述第二过滤瓶和所述第三过滤瓶的内部，所述密封盖的顶端开设有进气孔，所述密封盖的顶端开设有出气孔，所述取样瓶与所述第一过滤瓶、所述第一过滤瓶与所述第二过滤瓶、所述第二过滤瓶与所述燃烧塔和所述燃烧塔与所述第三过滤瓶之间均设置有转换管；计量组件，所述计量组件设置在所述取样瓶的左侧，用于计量乙硅烷样品。
[0007]通过采用上述技术方案，通过设置计量组件，计量组件可以对乙硅烷样品进行计量。
[0008]较佳的，所述计量组件包括：第一进气管，所述第一进气管设置在所述取样瓶的左侧，所述第一进气管的一端连接有第一气动隔膜阀，所述第一气动隔膜阀的顶端连接有连接管；第二进气管，所述第二进气管设置在所述取样瓶的外圆壁面，所述第二进气管的底端连接有第二气动隔膜阀，所述第二气动隔膜阀远离所述第二进气管的一端连接有检测管；质量流量计，所述质量流量计连接在所述检测管靠近所述第一进气管的一端；连接件，所述连接件设置在所述第一进气管的一端，用于将所述第一进气管与所述质量流量计连接。
[0009]通过采用上述技术方案，通过设置连接件，连接件可以将第一进气管与质量流量计连接在一起，从而便于后期统计乙硅烷流量。
[0010]较佳的，所述连接件包括：调节阀，所述调节阀连接在所述第一进气管靠近所述检测管的一端；连通管，所述连通管连接在所述调节阀远离所述第一进气管的一端，所述连通管远离所述调节阀的一端与所述质量流量计的一端连接在一起。
[0011]通过采用上述技术方案，通过设置调节阀，由于调节阀连接在第一进气管的一端，从而使调节阀可以调节乙硅烷样品流入检测管的内部的速度。
[0012]较佳的，所述检测管的外圆壁面开设有固定孔，所述检测管的外圆壁面设置有压力传感器，所述压力传感器底端与所述固定孔固定套设，所述压力传感器的底端穿过所述固定孔延伸至所述检测管的内部。
[0013]通过采用上述技术方案，通过设置连接管，当工作人员将乙硅烷样品送入连接管的内部后，此时工作人员在打开连接管，此时连接管内部的乙硅烷样品可通过第一进气管流入检测管的内部。
[0014]较佳的，所述第一进气管的外圆壁面开设有三个连通孔，所述连通孔的内部连接有固定管，所述固定管的顶端连接有第三气动隔膜阀，所述第三气动隔膜阀的顶端连接有顶管。
[0015]通过采用上述技术方案，通过设置第二气动隔膜阀，当第二气动隔膜阀在开启后，此时检测管内部的乙硅烷样品再通过第二进气管可进入取样瓶的内部。
[0016]较佳的，位于所述第三过滤瓶内部密封盖的顶端设置有排气管，排气管与出气孔固定套设。
[0017]通过采用上述技术方案，通过设置排气管，由于排气管与出气孔固定套设，从而使第三过滤瓶内部的气体通过排气管可排出。
[0018]综上所述，本技术主要具有以下有益效果：
[0019]通过设置连接管，当工作人员将乙硅烷样品送入连接管的内部后，此时工作人员在打开连接管，此时连接管内部的乙硅烷样品可通过第一进气管流入检测管的内部，由于调节阀连接在第一进气管的一端，从而使调节阀可以调节乙硅烷样品流入检测管的内部的速度，通过设置质量流量计，由于质量流量计连接在检测管的一端，从而使进入检测管内部的乙硅烷样品可以通过质量流量计进行计量，从而便于工作人员后期控制乙硅烷样品流量，便于后期对乙硅烷样品进行取样，减少了取样等待时间，通过设置第二气动隔膜阀，此时检测管内部的乙硅烷样品再通过第二进气管可进入取样瓶的内部。
附图说明
[0020]图1是本技术的刨视结构示意图；
[0021]图2是本技术的立体结构示意图；
[0022]图3是本技术的第一进气管结构示意图。
[0023]附图标记：1、取样瓶；2、第一过滤瓶；3、第二过滤瓶；4、燃烧塔；5、第三过滤瓶；6、密封盖；7、进气孔；8、出气孔；9、转换管；10、第一进气管；11、第二进气管；12、第一气动隔膜阀；13、连通孔；14、固定管；15、第三气动隔膜阀；16、顶管；17、连接管；18、调节阀；19、连通管；20、质量流量计；21、固定孔；22、压力传感器；23、检测管；24、第二气动隔膜阀；25、排气管。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]参考图1和图2，一种乙硅烷中金属离子取样装置，包括取样瓶1，取样瓶1的右侧设置有第一过滤瓶2，第一过滤瓶2的右侧设置有第二过滤瓶3，第二过滤瓶3的右侧设置有燃烧塔4，燃烧塔4的右侧设置有第三过滤瓶5，取样瓶1、第一过滤瓶2、第二过滤瓶3和第三过滤瓶5的内部均固定连接有密封盖6，密封盖6的顶端开设有进气孔7，密封盖6的顶端开设有出气孔8，取样瓶1与第一过滤瓶2、第一过滤瓶2与第二过滤瓶3、第二过滤瓶3与燃烧塔4和燃烧塔4与第三过滤瓶5之间均设置有转换管9，取样瓶1的左侧设置有计量组件，用于计量乙硅烷样品，第一过滤瓶2的内部设置有一级密闭碱吸收液，第二过滤瓶3内部设置有二级密闭碱吸收液，第三过滤瓶5的内部设置有水溶液。
[0026]参考图2和图3，计量组件包括第一进气管10，第一进气管10设置在取样瓶1的左侧，第一进气管10的一端固定连接有第一气动隔膜阀12，所述第一气动隔膜阀12的顶端固定连接有连接管17，取样瓶1的外圆壁面设置有第二进气管11，第二进气管11的底端固定连接有第二气动隔膜阀24，第二气动隔膜阀24远离第二进气管11的一端固定连接有检测管23，检测管23靠近第一进气本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种乙硅烷中金属离子取样装置，其特征在于，包括：取样瓶（1），所述取样瓶（1）的右侧设置有第一过滤瓶（2），所述第一过滤瓶（2）的右侧设置有第二过滤瓶（3），所述第二过滤瓶（3）的右侧设置有燃烧塔（4），所述燃烧塔（4）的右侧设置有第三过滤瓶（5）；四个密封盖（6），四个所述密封盖（6）分别连接在所述取样瓶（1）、所述第一过滤瓶（2）、所述第二过滤瓶（3）和所述第三过滤瓶（5）的内部，所述密封盖（6）的顶端开设有进气孔（7），所述密封盖（6）的顶端开设有出气孔（8），所述取样瓶（1）与所述第一过滤瓶（2）、所述第一过滤瓶（2）与所述第二过滤瓶（3）、所述第二过滤瓶（3）与所述燃烧塔（4）和所述燃烧塔（4）与所述第三过滤瓶（5）之间均设置有转换管（9）；计量组件，所述计量组件设置在所述取样瓶（1）的左侧，用于计量乙硅烷样品。2.根据权利要求1所述的一种乙硅烷中金属离子取样装置，其特征在于，所述计量组件包括：第一进气管（10），所述第一进气管（10）设置在所述取样瓶（1）的左侧，所述第一进气管（10）的一端连接有第一气动隔膜阀（12），所述第一气动隔膜阀（12）的顶端连接有连接管（17）；第二进气管（11），所述第二进气管（11）设置在所述取样瓶（1）的外圆壁面，所述第二进气管（11）的底端连接有第二气动隔膜阀（24），所述第二气动隔膜阀（24）远离所述第二进气管（11）的一端连接有检测管（23）；质量流量计（20），所述质量流量计（20）连接在所述检测管（2...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏入铎，俞冬雷，刘广登，邹来飞，胡飞，杨金龙，
申请(专利权)人：全椒亚格泰电子新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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