一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，该用于扫描电子显微镜中的样品载物台，包括基台和样品托，基台上设有多个支柱孔和紧固沉头螺丝孔。该用于扫描电子显微镜中的样品载物台具有可靠性强、固定牢固、装夹拔插非常方便的样品台结构，同时基台1结构可最大程度的增加样品托数量，并且基台和样品托尺寸和形状可根据扫描电镜的腔体尺寸任意更改，不受螺纹孔深度限制，样品托的样品托支柱插在支柱孔内，样品托支柱的侧面通过波珠螺丝11压紧固定在支柱孔内，这样一次性可观测的样品数量大大提升。该用于扫描电子显微镜中的样品载物台结构新颖，简单高效，样品托固定方便快捷，大大提高了扫描电镜的工作效率。大大提高了扫描电镜的工作效率。大大提高了扫描电镜的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台


[0001]本技术涉及到扫描电镜
，特别涉及一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台。

技术介绍

[0002]扫描电镜是一种电子光学显像仪器，采用钨丝发射极细高能电子束，再经过电磁聚焦来扫描样品表面，光束与样品之间相互作用，激发各种物理信息，对这些信息收集，放大再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
[0003]随着扫描电镜技术的发展，电镜的功能越来越多样化，可用扫描电镜观测的样品种类也来越丰富，更复杂的五轴运动平台的出现，可以使得样品在观测是有一个适当的倾斜角度，使形状不规则的样品表面二次电子的产率增加，探测器收集效率大大提升，从而大幅的提升了样品成像质量。
[0004]一般制样时样品会通过导电胶固定在标准凹槽钉型样品托（例如蔡司型号为AGG301的样品托）上，再将样品托插入样品台圆孔内进行观测，普通样品台倾斜角度时，样品托易从中滑落或位置变动，使得观测到的样品图像模糊，不真实。
[0005]一般普通样品台为圆形，并且再侧面打螺纹孔来拧螺丝固定样品台，每次安装样品托时，需要逐个拧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电子显微镜中的样品载物台，包括基台（1）和样品托（2），其特征在于：所述基台（1）上设有多个支柱孔（4）和紧固沉头螺丝孔（12），所述基台（1）的底面设有多个长条放置槽（6），所述长条放置槽（6）内放置有短款长条（7）和长款长条（8），所述短款长条（7）和长款长条（8）通过紧固沉头螺丝（9）固定在基台（1）上，所述短款长条（7）和长款长条（8）的侧面对应支柱孔（4）设有波珠螺丝孔（10），所述波珠螺丝孔（10）内固定有波珠螺丝（11），所述样品托（2）的底部固定有样品托支柱（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭云飞，戴晓鹏，赫松龄，贺羽，张伟，
申请(专利权)人：无锡量子感知技术有限公司，
类型：新型
国别省市：