一种石墨舟制造技术

本申请公开了一种石墨舟，包括若石墨舟片和连接杆组，石墨舟片间隔排布且相互平行，石墨舟片开设有若干个承载位，承载位沿石墨舟片长度方向布置；连接杆组沿石墨舟片长度方向布置，一个承载位与多个连接杆组对应设置；承载位位于石墨舟片长度方向中间位置对应的连接杆组数量多于承载位位于石墨舟片长度方向其余位置对应的连接杆组数量，或者，连接杆组包括第一连接杆和第二连接杆，承载位位于石墨舟片长度方向中间位置对应的连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量多于承载位位于石墨舟片长度方向的其余位置对应的连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量。本申请增加石墨舟片中间位置的连接杆数量，提高石墨舟片刚度和平稳性，避免硅片翘曲。避免硅片翘曲。避免硅片翘曲。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟


[0001]本技术一般涉及光伏电池生产制造
，具体涉及一种石墨舟。

技术介绍

[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学的气相沉积)作为太阳能电池制备中的重要一环，决定着电池表面钝化质量、少子寿命及电池片的膜色分样等。PECVD有管式和板式两种常见设备。
[0003]石墨舟为管式设备。随着硅片尺寸增大，与硅片对应的镂空部分也越大，串联石墨舟片的连接杆之间的间距也增大，使得石墨舟片存在翘曲问题，进而硅片翘曲。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种石墨舟。
[0005]本申请提供一种石墨舟，包括：
[0006]若干个石墨舟片，所述石墨舟片间隔排布且相互平行，所述石墨舟片开设有若干个承载位，所述承载位沿所述石墨舟片长度方向布置；
[0007]若干个连接杆组，所述连接杆组沿所述石墨舟片长度方向布置，一个所述承载位与多个所述连接杆组对应设置，所述连接杆组位于所述承载位两侧；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟，包括：若干个石墨舟片，所述石墨舟片间隔排布且相互平行，所述石墨舟片开设有若干个承载位，所述承载位沿所述石墨舟片长度方向布置；若干个连接杆组，所述连接杆组沿所述石墨舟片长度方向布置，一个所述承载位与多个所述连接杆组对应设置，所述连接杆组位于所述承载位两侧；其特征在于，所述连接杆组包括设置于所述石墨舟片上部的第一连接杆和设置于所述石墨舟片下部的第二连接杆，所述承载位位于所述石墨舟片长度方向中间位置对应的每个连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量多于所述承载位位于所述石墨舟片长度方向的其余位置对应的每个连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量。2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一连接杆直径小于所述第二连接杆直径。3.根据权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，所述第一连接杆直径为6～7mm，所述第二连接杆直径为6～8mm。4.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亚栋，
申请(专利权)人：陕西隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：