一种石墨舟制造技术

本申请公开了一种石墨舟，包括若石墨舟片和连接杆组，石墨舟片间隔排布且相互平行，石墨舟片开设有若干个承载位，承载位沿石墨舟片长度方向布置；连接杆组沿石墨舟片长度方向布置，一个承载位与多个连接杆组对应设置；承载位位于石墨舟片长度方向中间位置对应的连接杆组数量多于承载位位于石墨舟片长度方向其余位置对应的连接杆组数量，或者，连接杆组包括第一连接杆和第二连接杆，承载位位于石墨舟片长度方向中间位置对应的连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量多于承载位位于石墨舟片长度方向的其余位置对应的连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量。本申请增加石墨舟片中间位置的连接杆数量，提高石墨舟片刚度和平稳性，避免硅片翘曲。避免硅片翘曲。避免硅片翘曲。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟


[0001]本技术一般涉及光伏电池生产制造
，具体涉及一种石墨舟。

技术介绍

[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学的气相沉积)作为太阳能电池制备中的重要一环，决定着电池表面钝化质量、少子寿命及电池片的膜色分样等。PECVD有管式和板式两种常见设备。
[0003]石墨舟为管式设备。随着硅片尺寸增大，与硅片对应的镂空部分也越大，串联石墨舟片的连接杆之间的间距也增大，使得石墨舟片存在翘曲问题，进而硅片翘曲。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种石墨舟。
[0005]本申请提供一种石墨舟，包括：
[0006]若干个石墨舟片，所述石墨舟片间隔排布且相互平行，所述石墨舟片开设有若干个承载位，所述承载位沿所述石墨舟片长度方向布置；
[0007]若干个连接杆组，所述连接杆组沿所述石墨舟片长度方向布置，一个所述承载位与多个所述连接杆组对应设置，所述连接杆组位于所述承载位两侧；
[0008]其特征在于，所述承载位位于所述石墨舟片长度方向中间位置对应的连接杆组数量多于所述承载位位于所述石墨舟片长度方向其余位置对应的连接杆组数量，或者，
[0009]所述连接杆组包括设置于所述石墨舟片上部的第一连接杆和设置于所述石墨舟片下部的第二连接杆，所述承载位位于所述石墨舟片长度方向中间位置对应的每个连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量多于所述承载位位于所述石墨舟片长度方向的其余位置对应的每个连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量。
[0010]作为可选的方案，所述第一连接杆直径小于所述第二连接杆直径。
[0011]作为可选的方案，所述第一连接杆和所述第二连接杆的数量相同。
[0012]作为可选的方案，所述第一连接杆直径为6～7mm，所述第二连接杆直径为6～8mm。
[0013]作为可选的方案，还包括第三连接杆，所述第三连接杆与所述石墨舟片长度方向中间位置的所述承载位对应设置。
[0014]作为可选的方案，所述第三连接杆的数量与所述第一连接杆或所述第二连接杆数量相同。
[0015]作为可选的方案，所述第三连接杆位于所述石墨舟片上部至下部的中间位置。
[0016]作为可选的方案，所述连接杆组与所述石墨舟片串联配合，所述石墨舟片等间距间隔布置。
[0017]作为可选的方案，所述连接杆组的两端通过紧固组件固定于最外侧的两个所述石墨舟片上，所述紧固组件包括弹垫、平垫及螺母。
[0018]作为可选的方案，在所述承载位的边缘还开设有用于固定硅片的多个卡点，所述
多个卡点分布在所述承载位的三个不同的边缘。
[0019]本申请通过增加石墨舟片长度方向中间位置的连接杆数量，提高石墨舟片的刚度和平稳性，有利于整个石墨舟的刚度和平稳性提高，进而避免硅片的翘曲。
附图说明
[0020]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0021]图1为本技术实施例提供的一种石墨舟的结构示意图一；
[0022]图2为本技术实施例提供的一种石墨舟的结构示意图二；
[0023]图3为图2的局部放大图；
[0024]图4为本技术实施例提供的第一石墨舟的石墨舟片10的结构示意图；
[0025]图5为本技术实施例提供的第二石墨舟的石墨舟片10的结构示意图；
[0026]图6为图4或图5的局部放大图；
[0027]图7为图1的局部放大图A。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0029]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0030]本技术使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。在本技术和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
[0031]参考图1至图3所示，本申请的实施例提供了一种石墨舟，其用于承载硅片，硅片为矩形。石墨舟大致呈长方体，其包括若干个石墨舟片10和若干个连接杆组20。连接杆组20包括若干个连接杆，石墨舟片10与连接杆组20串联配合，即连接杆串联石墨舟片10。
[0032]若干个石墨舟片10等间隔排布且相互对齐。石墨舟片10大致为长条片状，在石墨舟片10上开设有若干个承载位11，承载位11沿石墨舟片10的长度方向等间隔布置。承载位11形状与硅片形状大致相同，承载位11为矩形孔。承载位11与硅片对应设置，即硅片设置于承载位11位置。
[0033]连接杆组20沿石墨舟片10长度方向布置，一个承载位11与多个连接杆组20对应设置，连接杆组20位于承载位11两侧。在具体实施例中，连接杆组20位于承载位11的左右两侧，承载位11的左侧可以设置1个连接杆组20、2个连接杆组20或3个连接杆组20等；承载位11的右侧可以设置1个连接杆组20、2个连接杆组20或3个连接杆组20等。连接杆组20包括若干个连接杆。
[0034]在相关技术中，随着硅片尺寸增大，与硅片对应的镂空部分(承载位11)越大，连接杆之间的间距也增大，进而石墨舟片10长度尺寸增大。然而，上述结构的石墨舟使得石墨舟
片10存在翘曲问题，进而导致硅片翘曲。
[0035]基于此，在本申请的一实施例中，承载位11位于石墨舟片10长度方向中间位置对应的连接杆组20数量多于承载位11位于石墨舟片10长度方向其余位置对应的连接杆组20数量。通过增加石墨舟片10长度方向中间位置的承载位11对应的连接杆组20，提高石墨舟片10的刚度和稳定性，有利于整个石墨舟的刚度和平稳性提高，进而避免硅片的翘曲。
[0036]在具体实施例中，如图4至图6所示，石墨舟片10设有8个承载位11，石墨舟片10长度方向中间位置承载位11为2个，该2个承载位11对应的连接杆组20为3组；其余6个承载位11对应的连接杆组20数量为2组，前者的连接杆组20比后者的连接杆组20多1组。中间位置的承载位11一侧设有1组连接杆组20，另一侧设有2组连接杆组20，其中，相邻两连接杆组20之间的间隙为D1，D1尺寸与硅片尺寸相匹配，以使硅片能够插入承载位11；另外相邻两连接杆组20之间的间隙为D2，D2尺寸远远小于D1尺寸。其余位置的承载位11一侧设有1组连接杆组20，另一侧设有1组连接杆组20，其中，两个连接杆组20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟，包括：若干个石墨舟片，所述石墨舟片间隔排布且相互平行，所述石墨舟片开设有若干个承载位，所述承载位沿所述石墨舟片长度方向布置；若干个连接杆组，所述连接杆组沿所述石墨舟片长度方向布置，一个所述承载位与多个所述连接杆组对应设置，所述连接杆组位于所述承载位两侧；其特征在于，所述连接杆组包括设置于所述石墨舟片上部的第一连接杆和设置于所述石墨舟片下部的第二连接杆，所述承载位位于所述石墨舟片长度方向中间位置对应的每个连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量多于所述承载位位于所述石墨舟片长度方向的其余位置对应的每个连接杆组的第一连接杆或第二连接杆数量。2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一连接杆直径小于所述第二连接杆直径。3.根据权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，所述第一连接杆直径为6～7mm，所述第二连接杆直径为6～8mm。4.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亚栋，
申请(专利权)人：陕西隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：