一种同轴取压压力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种同轴取压压力传感器，包括引压模块，该引压模块的下方设有用于与外部压力源连接的安装部，该引压模块的上方用于安装信号处理模块，引压模块内开设有两个引压通道和两个取压腔，取压腔为水平薄层空腔，两个薄层空腔上下分布并相互平行，引压通道的两端分别为引压入口和引压出口，其中两个引压入口与两个取压腔一一对应，引压入口朝向相应的取压腔，两个引压入口分别密封覆盖有隔离膜片，以将取压腔与引压入口分隔，引压模块上开设有两个用于将外部压力源引入的外压通道，两个外压通道的内端分别与两个取压腔连通。与现有常规的左右引压结构相比，本发明专利技术的引压模块结构紧凑，有利于缩小整个传感器的尺寸。有利于缩小整个传感器的尺寸。有利于缩小整个传感器的尺寸。

【技术实现步骤摘要】
一种同轴取压压力传感器


[0001]本专利技术涉及一种压力测量装置，具体涉及一种同轴取压压力传感器。

技术介绍

[0002]压力传感器广泛用于流体压力测量，其依靠压力敏感元件感应外部压力，压力敏感元件再将压力信号转化为电信号，电信号传给信号处理单元以得到压力值。现有的压力传感器根据压力敏感元件的不同可划分为多种类型，常见地有电阻式压力传感器、压电石英晶体型压力传感器、电容式压力传感器等。其中，电容式压力传感器的核心检测元件是膜片式差压传感器。膜片式差压传感器包括两个圆盘状的膜座，两个膜座之间设有测量膜片，两个膜座对焊连接，将测量膜片夹紧。测量膜片与两个膜座之间分别设有用于容纳硅油的感应腔，两个感应腔分别连接有引压管，引压管将外部待测压力引入测量膜片两侧。由于两侧压强不同，测量膜片向压强较小侧变形，变形量的大小反映为电容信号的变化。由于涉及与外部压力源的连接以及静压传导，现有的电容式压力传感器结构相对复杂。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术提供了一种同轴取压压力传感器。
[0004]其技术方案如下：
[0005]一种同轴取压压力传感器，包括引压模块，其关键在于，该引压模块的下方设有用于与外部压力源连接的安装部，该引压模块的上方用于安装信号处理模块；
[0006]所述引压模块内开设有两个引压通道和两个取压腔，所述取压腔为水平薄层空腔，两个所述薄层空腔上下分布并相互平行；
[0007]所述引压通道的两端分别为引压入口和引压出口，其中两个所述引压入口与两个所述取压腔一一对应，所述引压入口朝向相应的所述取压腔；
[0008]两个所述引压入口分别密封覆盖有隔离膜片，以将所述取压腔与所述引压入口分隔；
[0009]所述引压模块上开设有两个用于将外部压力源引入的外压通道，两个所述外压通道的内端分别与两个所述取压腔连通。
[0010]作为优选技术方案，两个所述取压腔分别为第一薄层空腔和第二薄层空腔；
[0011]所述引压模块包括圆柱状的引压座，该引压座底面上开设有安装盲孔，所述安装盲孔内固定设置有测量引压块，该测量引压块与所述安装盲孔孔底之间密封围成所述第一薄层空腔；
[0012]所述引压座的底面上扣盖有下端盖，该下端盖与所述测量引压块下表面之间密封围成所述第二薄层空腔。
[0013]作为优选技术方案，上述安装盲孔为多级台阶孔，所述测量引压块呈圆柱状，所述测量引压块的侧壁与所述安装盲孔台阶配合，所述测量引压块的外壁圆周面与所述安装盲孔的内壁圆周面密封焊接。
[0014]作为优选技术方案，两个所述引压通道分别为大气引压通道和测量引压通道，其中所述大气引压通道对应的取压腔为大气取压腔，所述测量引压通道对应的取压腔为测量取压腔；
[0015]两个所述引压通道的引压入口分别连接有喇叭口，两个所述喇叭口的开口朝向相应的所述取压腔，两个所述喇叭口上分别密封覆盖有所述隔离膜片；
[0016]其中，所述安装盲孔的孔底上开设有一个所述喇叭口，该喇叭口与所述大气引压通道的引压入口连通；
[0017]所述测量引压块下表面上开设有另一个所述喇叭口，该喇叭口与所述测量引压通道的引压入口连通。
[0018]作为优选技术方案，上述测量引压块上端面开设有第一扩容槽，该第一扩容槽正对所述大气引压通道引压入口处的所述隔离膜片，该第一扩容槽与所述大气取压腔连通；
[0019]所述下端盖内壁开设有第二扩容槽，该第二扩容槽正对所述测量引压通道引压入口处的所述隔离膜片，该第二扩容槽与所述测量取压腔连通。
[0020]作为优选技术方案，两个所述外压通道分别为取压通道和大气通道；
[0021]所述大气取压腔侧壁对应的所述引压座上径向开设有所述大气通道；
[0022]所述下端盖下表面中心一体成型有柱状的取压接头，所述取压接头与所述下端盖中心贯穿有所述取压通道。
[0023]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：与现有常规的左右引压结构相比，本专利技术的引压模块结构紧凑，有利于缩小整个传感器的尺寸。
附图说明
[0024]图1为本专利技术的第一个视角的结构示意图；
[0025]图2为本专利技术的第二个视角的结构示意图；
[0026]图3为图2中A
‑
A剖视图；
[0027]图4为差压传感器模块的结构示意图。
具体实施方式
[0028]以下结合实施例和附图对本专利技术作进一步说明。
[0029]如图1～3所示，一种同轴取压压力传感器，包括引压模块，引压模块的下方设有用于与外部压力源连接的安装部，该引压模块的上方用于安装信号处理模块。引压模块的上方设置有差压传感器模块100，所述差压传感器模块100设置有两个引压管160，两个所述引压管160分别与开设在所述引压模块上的两个引压通道连通，所述引压通道的两端分别为引压入口和引压出口，其中两个所述引压出口分别开设于所述引压模块表面，且与两个所述引压管160一一对应并连通，两个所述引压入口均开口于所述引压模块内，所述引压模块内对应两个所述引压入口分别开设有取压腔，两个所述引压入口分别密封覆盖有隔离膜片230，以将所述取压腔与所述引压入口分隔。引压通道内填充液体传压介质如硅油，用于将外部压力传导至差压传感器模块100。
[0030]所述取压腔为水平薄层空腔，两个所述薄层空腔上下分布并相互平行。薄层空腔是指其厚度不超过宽度方向尺寸1/3的腔体。所述引压模块上开设有两个用于将外部压力
源引入的外压通道，两个所述外压通道的内端分别与两个所述取压腔连通。
[0031]本实施例的压力检测传感器用于测量表压，因此两个外压通道分别为取压通道310和大气通道250。所述大气通道250的内端与其中一个所述取压腔连通，外端开口于所述引压模块表面。所述取压通道310的内端与另一所述取压腔连通，所述引压模块上设有取压接头300，所述取压通道310的外端穿出该取压接头300，取压通道310用于将外部流体引入相应的取压腔。
[0032]具体地，如图3所示，所述引压模块包括圆柱状的引压座200，该引压座200上方设置有所述差压传感器模块100，两个所述引压出口分别开设于所述引压座200上表面，引压出口处分别设置引压管插座。引压座200上表面开设安装凹槽，安装凹槽内设置差压传感器模块100，差压传感器模块100的两个引压管160分别密封插设在相应的引压管160插座内。差压传感器模块100与安装凹槽的内壁不接触，仅靠两根引压管160支撑而悬空设置。这样设计的目的在于，差压传感器模块100与引压座200之间无紧固装配关系，可以防止装配应力导致差压传感器模块100变形，从而避免因为装配导致差压传感器模块100内的敏感元件即膜片120变形。引压座200上方还用于安装信号处理模块和表头。
[0033]所述引压座200下端设置有所述取压接头300，所述取压接头300的连接端朝下，沿着所述取压接头300的轴向开设有所述取压通道310，所述取压通道本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种同轴取压压力传感器，包括引压模块，其特征在于：该引压模块的下方设有用于与外部压力源连接的安装部，该引压模块的上方用于安装信号处理模块；所述引压模块内开设有两个引压通道和两个取压腔，所述取压腔为水平薄层空腔，两个所述薄层空腔上下分布并相互平行；所述引压通道的两端分别为引压入口和引压出口，其中两个所述引压入口与两个所述取压腔一一对应，所述引压入口朝向相应的所述取压腔；两个所述引压入口分别密封覆盖有隔离膜片(230)，以将所述取压腔与所述引压入口分隔；所述引压模块上开设有两个用于将外部压力源引入的外压通道，两个所述外压通道的内端分别与两个所述取压腔连通。2.根据权利要求1所述的一种同轴取压压力传感器，其特征在于：两个所述取压腔分别为第一薄层空腔和第二薄层空腔；所述引压模块包括圆柱状的引压座(200)，该引压座(200)底面上开设有安装盲孔，所述安装盲孔内固定设置有测量引压块，该测量引压块与所述安装盲孔孔底之间密封围成所述第一薄层空腔；所述引压座(200)的底面上扣盖有下端盖(301)，该下端盖(301)与所述测量引压块下表面之间密封围成所述第二薄层空腔。3.根据权利要求2所述的一种同轴取压压力传感器，其特征在于：所述安装盲孔为多级台阶孔，所述测量引压块呈圆柱状，所述测量引压块的侧壁与所述安装盲孔台阶配合，所述测量引压块的外壁圆周面与所述安装盲孔的内壁圆周面密封焊接。4.根据权利要求3所述的一种同轴取压压力传感器，其特征在于：两个所述引压通道分别为大气引...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨劲松，刘庆，王小文，朱健，何炳伟，金亮，
申请(专利权)人：重庆市伟岸测器制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：