一种飞秒深紫外五倍频激光器制造技术

本实用新型专利技术提供的飞秒深紫外五倍频激光器，包括基频飞秒激光器(1)、二倍频模块(2)、第一双色镜(3)、第二双色镜(4)、四倍频模块(5)、五倍频模块(6)、第一反射镜(7)及第二反射镜(8)，本实用新型专利技术提供的飞秒深紫外五倍频激光器，二倍频后使用高度可靠、损耗低、成本低的分色镜将二倍频激光与基频激光分离，产生合适的延迟线再合束来补偿后续四倍频、五倍频产生的时间走离，由于采用的是基频与二倍频的分束、合束，所使用的器件高度可靠、损耗低、成本低，可以避免四倍频分光镜的使用，同时可以有效补偿基频光和四倍频光的时间走离，这样飞秒深紫外五倍频激光器可靠性高、成本低、损耗低、倍频效率高。效率高。效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种飞秒深紫外五倍频激光器


[0001]本技术涉及激光
，特别涉及一种飞秒深紫外五倍频激光器。

技术介绍

[0002]飞秒激光具有高精度、高质量的加工效果，已被广泛应用于各个领域。短波长的深紫外飞秒激光具有高单光子能量并且允许聚焦到更小的光斑，对实际应用有重要意义。目前，由于增益介质的限制，获得深紫外的技术手段通常是采用非线性频率变换，如倍频、和频等技术。
[0003]相对于纳秒和皮秒的三倍频产生紫外激光输出的过程，在飞秒的五倍频过程中，由于飞秒激光脉冲的脉冲宽度短、光谱宽，因此，由于色散造成的时空走离和宽光谱造成的相位失配等因素会严重影响五倍频的效率。其中，基频光和倍频光的时空走离是影响五倍频效率重要的因素。
[0004]现有获得五倍频飞秒激光的方式是在四倍频之后，采用分色镜将四倍频光与基频光分离，其中基频光经过延迟线和双色镜之后与四倍频光再次合束，利用延迟线补偿基频光与四倍频光的时间走离，进而实现五倍频深紫外激光输出。
[0005]飞秒五倍频“1+4”方案中，通常是在四倍频之后将四倍频的激光与基频光进行分离，但本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种飞秒深紫外五倍频激光器，其特征在于，包括基频飞秒激光器(1)、二倍频模块(2)、第一双色镜(3)、第二双色镜(4)、四倍频模块(5)、五倍频模块(6)、第一反射镜(7)及第二反射镜(8)，其中：所述基频飞秒激光器(1)提供基频脉冲激光信号，所述基频脉冲激光信号入射进入所述二倍频模块(2)，所述二倍频模块(2)将所述基频脉冲激光信号通过光学非线性效应转化为二倍频激光，所述第一双色镜(3)透射所述二倍频激光并反射所述基频脉冲激光信号；所述第一反射镜(7)将经所述第一双色镜(3)反射的所述基频脉冲激光信号反射到所述第二反射镜(8)上，所述第二反射镜(8)再将所述基频脉冲激光信号反射到所述第二双色镜(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王家赞，陈旭光，杨军红，
申请(专利权)人：广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院，
类型：新型
国别省市：