一种准分子激光器及其线宽压窄模块制造技术

本发明专利技术涉及激光线宽调节技术领域，公开了一种准分子激光器及其线宽压窄模块，其中线宽压窄模块包括：壳体，壳体内部形成有容纳腔，壳体上开设有通光孔用以光线进入容纳腔；棱镜，棱镜设置于容纳腔且正对于通光孔设置；光栅，光栅也设置于容纳腔中，通光孔、棱镜和光栅在光线的入射方向上依次设置；吹扫机构，吹扫机构包括设置于棱镜和光栅的一侧的多个气体匀流装置，气体匀流装置朝向棱镜和光栅进行吹扫。可有效的隔绝水分子等导致光学元器件劣化因素，延长光学元器件寿命；通过对流散热将大量热量带走，使其通光面散热更好，更加不容易出现热失稳的现象，更容易保证准分子激光波长筛选的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光线宽调节，特别是涉及一种准分子激光器及其线宽压窄模块。

技术介绍

1、准分子激光（excimer laser）是指受到电子束激发的惰性气体和卤素气体结合的混合气体形成的分子向其基态跃迁时发射所产生的激光。由于准分子激光是紫外波段，具有单光子能量大、单脉冲能量大、高功率、光斑均匀、光束质量好、单脉冲可协调等特点，被广泛的应用在半导体光刻、面板退火、医疗以及科研等众多领域。为了使准分子激光器产生的激光线宽满足半导体光刻的需求，需要对其光谱进行选择，即进行线宽压窄，线宽压窄模块被单独封装在一个密封的腔体内，准分子激光从线宽压窄模块入光口进入后，分别依次通过棱镜、棱镜、棱镜、棱镜将其光斑进行扩束、准直，然后，照射到一块利特罗结构光栅上，光栅通过衍射效应对准分子激光的光谱进行选择即线宽压窄，被选择的光谱入射的光路原路返回到准分子激光器放电腔内。

2、准分子激光由于波长很短处于紫外波段，属于冷激光，无热效应，是方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光。由于准分子激光波长短单光子光子能量大，且通常材料对高能量光子具有强吸收性，因此准分子激本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种线宽压窄模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的线宽压窄模块，其特征在于：所述吹扫机构还包括由壳体外部延伸至容纳腔内的供气管路，多个所述气体匀流装置均固定于所述供气管路上。

3.根据权利要求1或2所述的线宽压窄模块，其特征在于：所述棱镜和所述光栅背向所述吹扫机构的另一侧设置有导流风道，所述导流风道包括对应多个所述气体匀流装置开设的导流孔，多个所述导流孔还连接有导流风道。

4.根据权利要求3所述的线宽压窄模块，其特征在于：所述导流孔靠近所述光栅或棱镜的一侧端面与所述光栅或所述棱镜的通光面相错设置。

5.根据权利要求3所述的线...

【技术特征摘要】

1.一种线宽压窄模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的线宽压窄模块，其特征在于：所述吹扫机构还包括由壳体外部延伸至容纳腔内的供气管路，多个所述气体匀流装置均固定于所述供气管路上。

3.根据权利要求1或2所述的线宽压窄模块，其特征在于：所述棱镜和所述光栅背向所述吹扫机构的另一侧设置有导流风道，所述导流风道包括对应多个所述气体匀流装置开设的导流孔，多个所述导流孔还连接有导流风道。

4.根据权利要求3所述的线宽压窄模块，其特征在于：所述导流孔靠近所述光栅或棱镜的一侧端面与所述光栅或所述棱镜的通光面相错设置。

5.根据权利要求3所述的线宽压窄模块，其特征在于：所述壳体上开设有出气孔，所述导流风道的末端连接所述出气孔，所述出气孔内设置有单向阀。

6.根据权利要求1所述的线宽压窄模块，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝桂鹏，杨军红，孙涛，
申请(专利权)人：广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院，
类型：发明
国别省市：