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本发明涉及激光线宽调节技术领域，公开了一种准分子激光器及其线宽压窄模块，其中线宽压窄模块包括：壳体，壳体内部形成有容纳腔，壳体上开设有通光孔用以光线进入容纳腔；棱镜，棱镜设置于容纳腔且正对于通光孔设置；光栅，光栅也设置于容纳腔中，通光孔、棱...
该专利属于广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院授权不得商用。

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