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本实用新型提供的飞秒深紫外五倍频激光器，包括基频飞秒激光器(1)、二倍频模块(2)、第一双色镜(3)、第二双色镜(4)、四倍频模块(5)、五倍频模块(6)、第一反射镜(7)及第二反射镜(8)，本实用新型提供的飞秒深紫外五倍频激光器，二倍频后...该专利属于广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院授权不得商用。
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