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具有多顶侧接触的垂直腔面发射激光器制造技术

技术编号:3317496 阅读:169 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种具有未掺杂镜的VCSEL。在衬底上形成基本上未掺杂的底部DBR镜。在该底部DBR镜上形成周期性掺杂的第一传导层区。在光电场为约最小值处重度掺杂该第一传导层区。在第一传导层区上为包括量子阱的活性层。周期性掺杂的第二传导层区连接到该活性层。在光电场为最小值处重度掺杂该第二传导层区。在位于量子阱上方的外延结构中形成孔径。顶部镜连接到该周期性掺杂的第二传导层区。该顶部镜基本上未掺杂并且形成为台地结构。在该台地结构周围形成氧化物以在湿氧化工艺期间保护该顶部镜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术通常涉及激光器,更具体地,本专利技术涉及垂直腔面发射激光器(VCSEL)。
技术介绍
近来,激光器广泛使用于多种部件中。目前最常见的一种使用是在数据网 络中使用激光器。激光器用于许多光纤通信系统以在网络上传输数字数据。在 一示例性结构中,可以通过数字数据调制激光器以产生光学信号,其包括代表 二进制数据流的亮输出和暗输出的周期。在实际应用中,激光器输出代表二进 制高的高光学输出以及代表二进制低的低功率光学输出。为了获得快速的反应 时间,该激光器一直处于接通状态,但是会从高光学输出到较低光学输出发生 变化。与诸如基于铜布线的其它类型网络相比,光学网络具有各种优点。例如, 许多现存的铜布线网络对于铜布线技术来说以几乎最大可能的数据传输速率 和最大可能的距离工作。另一方面,无论在数据传输速率方面还是在距离方面, 许多现存的光学网络都超过了铜布线网络可能的最大值。即,与铜布线网络可 能的情况相比,光学网络能够以较高的速率在更远的距离上可靠地传输数据。光学数据传输中使用的一种类型激光器为垂直腔面发射激光器 (VCSEL)。正如其名称所暗示的,该VCSEL具有夹在两个镜堆栈之间并且 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包括衬底和外延结构的垂直腔面发射激光器,其中该外延结构包括: 设置在该衬底上的底部分布式布拉格反射器镜,其中该底部镜通常未掺杂; 第一传导类型的周期性掺杂的第一传导层区,该掺杂的第一传导层区与所述底部分布式布拉格反射器镜相连接,并且在光电场为约最小值处重度掺杂该掺杂的第一传导层区; 设置在该周期性掺杂的第一传导层区上并且包括量子阱的活性层; 第二传导类型的周期性掺杂的第二传导区,该掺杂的第二传导区与所述活性层相连接,并且在光电场为约最小值处重度掺杂该掺杂的第二传导层区; 形成在该外延结构中的位于量子阱上方并且位于第二传导层区下方的孔径; 与周期性掺杂的第二传导层区相连接的顶部镜,其中该顶部...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:拉尔夫H约翰逊斯科特R彭纳罗伯特詹姆斯比亚德科尔比菲茨杰拉德
申请(专利权)人:菲尼萨公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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