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具有多顶侧接触的垂直腔面发射激光器制造技术
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文档序号:3317496
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本发明公开了一种具有未掺杂镜的VCSEL。在衬底上形成基本上未掺杂的底部DBR镜。在该底部DBR镜上形成周期性掺杂的第一传导层区。在光电场为约最小值处重度掺杂该第一传导层区。在第一传导层区上为包括量子阱的活性层。周期性掺杂的第二传导层区连接...
该专利属于菲尼萨公司所有,仅供学习研究参考,未经过菲尼萨公司授权不得商用。
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