一种用于更换磨轮的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于更换磨轮的装置，所述装置包括保护壳、金属套筒、金属杆、锁紧旋钮、滑块、轨道和支撑架等。所述保护壳外形呈筒状并具有喷淋气体或液体的喷淋孔，其尺寸与磨轮严格匹配，可在磨轮安装与拆卸地过程中充分保护磨轮。本实用新型专利技术提供的装置能够充分、准确、高效地实现对磨轮的保护，降低人工操作难度，保证晶圆的品质。保证晶圆的品质。保证晶圆的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种用于更换磨轮的装置


[0001]本技术涉及晶圆研磨领域，尤其涉及一种用于更换磨轮的装置。

技术介绍

[0002]半导体硅材料是集成电路产业的主体功能材料，硅片的加工技术已逐步成为电子信息产业发展的重要驱动力。随着硅片直径越来越大的同时集成电路特征尺寸越来越小，对晶圆表面平坦度以及去除速率产生了更高的需求，双面研磨加工是加快晶圆表面去除速率、提升晶圆表面平坦度最有效的技术手段之一。对于双面研磨工艺，磨轮能起到决定性的作用，定期检查磨轮状态，修整磨轮对控制晶圆品质至关重要。磨轮价格昂贵，磨粒排布紧密，韧性较差，且双面研磨加工设备内的磨轮沿竖直方向安装，检查更换安装时稍有不慎便会造成磨粒破碎脱落，严重影响晶圆的品质，若磨粒连续脱落3粒或脱落总和达5粒及以上，则磨轮直接进行报废处理，造成高昂的成本浪费。
[0003]目前在拆卸或者安装磨轮时，基本无保护措施，对操作者的熟练程度及工作状态均有较大考验，直接依靠人工手动操作，增大了更换过程中意外损坏的风险，加之磨轮本身价格昂贵，磨粒排列紧密且韧性较差，稍有不慎便会引起磨粒脱落，甚至直接造成磨轮报废，对操作人员的熟练程度及操作时的状态均有较大考验。同时，当设备不加工时，降尘及加工时产生的硅渣会不断附着沉积在磨粒上，严重影响磨粒的使用状态。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术实施例期望提供一种用于更换磨轮的装置，在磨轮安装与拆卸地过程中能够实现充分、准确、高效地保护磨轮，最大限度地减少对磨粒的人为伤害，极大地降低人工操作难度，节约了耗材成本，节省了更换安装时间，改善了磨轮的使用状态，延长了磨轮寿命，保证了晶圆的品质，进一步提升了产能。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种用于更换磨轮的装置，所述装置包括：
[0007]用于容置磨轮的保护壳；
[0008]连接至所述保护壳的竖直延伸的金属套筒；
[0009]插入在所述金属套筒中以引导所述金属套筒移动和转动的金属杆；
[0010]与形成在所述金属套筒中的螺纹孔配合并且在旋紧时将所述金属套筒锁定至所述金属杆的锁紧旋钮；
[0011]通过固定螺丝可拆卸地连接至所述金属杆的顶部的滑块；
[0012]用于引导所述滑块移动的轨道；
[0013]用于以水平方式支承并固定所述轨道的支撑架。
[0014]优选的，所述支撑架的数量为两个，并且两个所述支撑架分别对所述轨道的两个端部进行支承和固定。
[0015]优选的，所述锁紧旋钮端部具有摩擦垫，所述金属套筒锁定至所述金属杆时，所述
摩擦垫抵接所述金属杆外壁。
[0016]优选的，所述磨轮包括环状的基部和从所述基部轴向延伸的磨齿，所述保护壳具有筒状的外壁、与所述外壁一起限定出环形空间的筒状的内壁和连接所述外壁和所述内壁的侧壁，所述外壁的轴向长度度大于所述磨轮的轴向长度，所述内壁的轴向长度大于所述磨齿的长度，所述磨轮以所述磨齿插入所述环形空间的方式容置在所述保护壳中。
[0017]优选的，所述外壁和所述侧壁上均匀布置有用于喷淋气体或液体的喷淋孔，所述内壁上均匀布置有用于将所述气体或所述液体排出的排出口。
[0018]优选的，所述内壁上均匀布置有三个激光定位器。
[0019]优选的，所述保护壳还具有安全弹性皮带和挂钩，所述挂钩安装在所述保护壳的顶部，所述安全弹性皮带一端固定连接在所述保护壳底部，所述安全弹性皮带的另一端可拆卸地连接于所述挂钩。
[0020]优选的，所述轨道的两个端部具有通孔，两个所述支撑架各自具有用于插入到所述通孔中的竖直凸起，以对相关联的端部进行支承和固定。
[0021]优选的，所述保护壳外层由PVC发泡材料制成，所述保护壳内层由聚四氟乙烯制成。
[0022]本技术实施例提供了一种用于更换磨轮的装置，所述装置包括保护壳、金属套筒、金属杆、锁紧旋钮、滑块、轨道和支撑架等。保护壳外层由PVC发泡材料制成，耐酸耐碱耐腐蚀，防震性能优异，可有效缓解外部冲击；内层由聚四氟乙烯制成，化学性能稳定，质地坚硬，可有效保护磨粒。保护壳外形呈筒状并具有喷淋气体或液体的喷淋孔，其尺寸与磨轮严格匹配，可充分保护磨轮。本技术提供的装置能够充分、准确、高效地实现对磨轮的保护。
附图说明
[0023]图1为使用根据本技术的用于更换磨轮的装置的双面研磨机的示意图；
[0024]图2为现有技术中双面研磨机的示意图；
[0025]图3为本技术的用于更换磨轮的装置的示意图；
[0026]图4为本技术的用于更换磨轮的装置的另一实施例的示意图；
[0027]图5为本技术的用于更换磨轮的装置中保护壳的示意图；
[0028]图6为现有技术中磨轮的示意图；
[0029]图7为本技术的用于更换磨轮的装置中支撑架的示意图；
[0030]图8为本技术的用于更换磨轮的装置中导轨的示意图。
具体实施方式
[0031]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]现有技术中双面研磨工艺所使用的研磨设备如附图2中示出的双面研磨机10，该
双面研磨机10包括能够翻转以密封研磨室R的盖板11、在研磨室R中对称布置的两个磨轮12以及用以驱动磨轮12靠近位于研磨室R正中央的工件(未示出)的气动轴13，其中所述磨轮12的旋转轴线位于水平方向上，其研磨平面沿竖直方向布置。在加工过程中，气动轴13驱动磨轮12朝向工件运动，抵达加工位置；在加工结束后，气动轴13驱动磨轮12远离工件，回复至初始位置。双面研磨机10中两个磨轮12的工作过程一致。在双面研磨机10的使用过程中，有必要检查磨轮12的状态以保证晶圆的加工质量，在磨轮12位于初始位置时，可以将磨轮12卸下进行维护、更换或保养。
[0033]目前在拆卸或者安装磨轮时，直接通过人工手动操作，对磨轮的安全性保护较差，稍有不慎便会造成磨粒破碎脱落，因此本技术提供一种用于更换磨轮的装置20，参见附图3
‑
4，该装置包括：
[0034]用于容置磨轮12的保护壳21；
[0035]连接至所述保护壳21的竖直延伸的金属套筒22；
[0036]插入在所述金属套筒22中以引导所述金属套筒22移动和转动的金属杆23；
[0037]与形成在所述金属套筒22中的螺纹孔(未示出)配合并且在旋紧时将所述金属套筒22锁定至所述金属杆23的锁紧旋钮24；
[0038]通过固定螺丝T可拆卸地连接至所述金属杆23的顶部的滑块25；
[0039本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于更换磨轮的装置，其特征在于，所述装置包括：用于容置磨轮的保护壳；连接至所述保护壳的竖直延伸的金属套筒；插入在所述金属套筒中以引导所述金属套筒移动和转动的金属杆；与形成在所述金属套筒中的螺纹孔配合并且在旋紧时将所述金属套筒锁定至所述金属杆的锁紧旋钮；通过固定螺丝可拆卸地连接至所述金属杆的顶部的滑块；用于引导所述滑块移动的轨道；用于以水平方式支承并固定所述轨道的支撑架。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑架的数量为两个，并且两个所述支撑架分别对所述轨道的两个端部进行支承和固定。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述锁紧旋钮端部具有摩擦垫，所述金属套筒锁定至所述金属杆时，所述摩擦垫抵接所述金属杆外壁。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述磨轮包括环状的基部和从所述基部轴向延伸的磨齿，所述保护壳具有筒状的外壁、与所述外壁一起限定出环形空间的筒状的内壁和连接所述外壁和所述内壁的侧壁，所述外壁的轴向长度...

【专利技术属性】
技术研发人员：张舸，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：