辅助安装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的辅助安装装置包括：相互平行的多个连接柱；均呈平面状的第一按压部和第二按压部，第一按压部和第二按压部沿连接柱的轴向依次排布，连接柱垂直安装于第二按压部上，第一按压部用于与底盘贴靠，第二按压部用于与外电极贴靠；与连接柱一一对应的多个锁紧件，锁紧件沿连接柱的轴向延伸，锁紧件沿连接柱的轴向可移动地穿过第一按压部并穿入对应的连接柱中，锁紧件穿入连接柱中以限制自身的轴向移动从而限制第一按压部和第二按压部之间的垂向距离，进而压合底盘和外电极。如此配置，本实用新型专利技术告别现有的双人配合方式，可以简化底盘和外电极的安装方式，提高安装精度，使安装过程标准化、正确化、简易化。简易化。简易化。

【技术实现步骤摘要】
辅助安装装置


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种辅助安装装置。

技术介绍

[0002]如图1
‑
图3所示，图1是现有技术中底盘的示意图，图2是现有技术中外电极的示意图，图3是现有技术中底盘和外电极安装的示意图，底盘01和外电极02均呈环状，在安装外电极02和底盘01时，通常将射频屏蔽接地圈03先压入底盘01的槽内，铝垫片04放入外电极02的槽内，然后将底盘01设有射频屏蔽接地圈03的一面与外电极02设有铝垫片04的一面相贴合，人为对准铝垫片04，且人为将底盘01上的螺纹孔与外电极02上的螺纹孔相对准，一位操作人员将底盘01和外电极02用力压合在一起，另一位操作人员用力扭扳手十字交叉以星形方式锁紧螺丝05，从而将底盘01和外电极02安装在一起。
[0003]基于此可知，现有技术中关于底盘01和外电极02安装的方式比较复杂，需要双人配合工作方可完成，比较费时费力。此外，现有的安装方式中，铝垫片 04以及两个螺纹孔人为难以对准，或者对准精度较低，底盘01和外电极02安装的精度较低，安装位置误差较大。另外，外电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种辅助安装装置，用于安装半导体设备的外电极和底盘，其特征在于，所述辅助安装装置包括：相互平行的多个连接柱；均呈平面状的第一按压部和第二按压部，所述第一按压部和所述第二按压部沿所述连接柱的轴向依次排布，所述连接柱垂直安装于所述第二按压部上，所述第一按压部用于与所述底盘贴靠，所述第二按压部用于与所述外电极贴靠；与所述连接柱一一对应的多个锁紧件，所述锁紧件沿所述连接柱的轴向延伸，所述锁紧件沿所述连接柱的轴向可移动地穿过所述第一按压部并穿入对应的所述连接柱中，所述锁紧件穿入所述连接柱中以限制自身的轴向移动从而限制所述第一按压部和所述第二按压部之间的垂向距离，进而压合所述底盘和所述外电极。2.根据权利要求1所述的辅助安装装置，其特征在于，所述辅助安装装置还包括多个定位销，所述定位销沿所述连接柱的轴向延伸，所述定位销用于螺纹固定在所述外电极中。3.根据权利要求2所述的辅助安装装置，其特征在于，多个所述定位销按照圆周的方向依次间隔排布。4.根据权利要求1所述的辅助安装装置，其特征在于，所述锁紧件螺纹穿设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马晓，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：