【技术实现步骤摘要】
一种六氟环丙烷制备八氟丙烷的装置及方法
[0001]本专利技术属于气体制备的
，具体涉及一种六氟环丙烷制备八氟丙烷的装置及方法。
技术介绍
[0002]八氟丙烷，分子式为C3F8，是有毒、难溶于水的无色气体，在半导体工业中，八氟丙烷与氧气的混合气可用作等离子蚀刻材料，可选择性地与硅片的金属基质作用，同时可用于器件表面清洗。
[0003]八氟丙烷的合成方法主要有以下两种：一种是由六氟丙烷催化加成制备，需要加入催化剂来制备八氟丙烷；另一种是由六氟丙烯副产物萃取分离制备，产量收到六氟丙烯装置产能的限制，产量相对较小。因此，开发出一种安全且产能高的八氟丙烷制备方法及装置尤为重要。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种六氟环丙烷制备八氟丙烷的装置及方法。该方法无需使用催化剂，且工艺流程简单，反应条件温和，操作简单方便。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种六氟环丙烷制备八氟丙烷的装置，其特征在于，包括依次通过管线连接...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种六氟环丙烷制备八氟丙烷的装置，其特征在于，包括依次通过管线连接的反应塔(8)、碱洗塔(18)、除水塔(22)和低温储罐(29)，所述反应塔(8)的上端入口与氟氮混合气钢瓶(12)连接，所述反应塔(8)的下端入口与六氟环丙烷气体钢瓶(1)连接，所述除水塔(22)顶部连接有除水塔出气管线(42)，所述除水塔(22)顶部通过除水塔出气管线(42)与所述低温储罐(29)进口连接，所述除水塔出气管线(42)上依次设置有除尘器(25)和过滤器(26)；所述反应塔(8)内部设置有多层气体折流板(9)，所述气体折流板(9)上均设置有带自动控温装置的加热系统。2.根据权利要求1所述的一种六氟环丙烷制备八氟丙烷的装置，其特征在于，所述六氟环丙烷气体钢瓶(1)外壁包裹自动控制的加热包系统；所述反应塔(8)的上端入口通过氟氮混合气出料管线(13)与氟氮混合气钢瓶(12)连接，所述反应塔(8)的下端入口通过六氟环丙烷进料管线(3)与六氟环丙烷气体钢瓶(1)连接，所述氟氮混合气出料管线(13)上设有氟氮混合气出料阀(14)，所述六氟环丙烷进料管线(3)上依次设有流量计(2)和进料阀门(4)，所述反应塔(8)下端连接有反应塔放净管线(5)，所述反应塔放净管线(5)上设有反应塔放净阀(6)；所述反应塔(8)外壁上设有反应塔温度计(10)和反应塔压力表(11)，所述反应塔(8)内底部设置有反应塔气体分布器(7)。3.根据权利要求1所述的一种六氟环丙烷制备八氟丙烷的装置，其特征在于，所述反应塔(8)通过反应塔出气管线(16)与碱洗塔(18)连接，所述反应塔出气管线(16)上设有反应塔出气阀(15)，所述碱洗塔(18)通过碱洗塔出气管线(20)与除水塔(22)连接，所述碱洗塔出气管线(20)上依次设有碱洗塔出气阀(19)和除水塔进气阀(21)；所述碱洗塔(18)外壁上设置有碱洗塔温度计(17)，所述除水塔(22)外壁上设置有除水塔温度计(23)；所述除水塔出气管线(42)上还设有除水塔出气阀(24)和低温储罐进气阀(27)。4.根据权利要求1所述的一种六氟环丙烷制备八氟丙烷的装置，其特征在于，所述低温储罐(29)顶部设置有低温储罐冷却柱(40)，所述低温储罐(29)外壁设置有低温储罐冷却釜液氮夹套(30)，所述低温储罐冷却柱(40)外壁设置有低温储罐冷却柱液氮夹套(35)，所述低温储罐冷却柱(40)上端连接有低温储罐真空管线(37)和低温储罐高纯惰性气体管线(41)，所述低温储罐真空管线(37)上设有低温储罐真空阀(38)，所述低温储罐高纯惰性气体管线(41)上设有低温储罐高纯惰性气体阀(36)，所述低温储罐冷却柱(40)顶部设置有低温储罐温度计(39)；所述低温储罐(...
【专利技术属性】
技术研发人员：王云飞，李丹丹，张威，王越，郭晓彬，李伟，杨耀武，魏晓娟，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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