【技术实现步骤摘要】
本专利技术与激光光束整形有关,特别是一种将矩形激光光束与线状激光光束相应转换的光束整形装置。本专利技术的技术解决方案如下一种激光光束整形装置,其特征在于它由n块结构相同的棱镜构成,每块棱镜具有相互垂直的入射面和出射面,两个反射面中,其中一个反射面与入射面)的夹角为45°,另一反射面与出射面的夹角为45°,每块棱镜的厚度b等于入射光斑宽度的1/n,棱镜的宽度a等于入射光斑的高度,该n块棱镜在X轴方向按棱镜宽度a依次排列,在Y轴方向按棱镜厚度b依次错位排列。所述棱镜的入射面和出射面镀有所用激光波长的增透膜,其两个反射面镀有所用激光波长的高反射膜。所述棱镜是由透紫外的石英制成。本专利技术的技术效果或优点是本专利技术装置可将矩形光束整形成线状光束,也可将线状光束变成矩形光束,从而保证了在X方向上光束的均匀性。只要保证光束在Y方向上均匀移动,就可以改善整个激光处理表面的光强均匀性;本专利技术的光束整形装置适用于光斑为矩形的各类激光器,对于不同光斑尺寸及不同波长的激光器只要设计加工不同尺寸的特殊棱镜;本专利技术装置结构紧凑,成本较低。所述棱镜i的入射面i1和出射面i2镀有所用激光波长的增透膜,其反射面i3和i4镀有所用激光波长的高反射膜。所述棱镜i是由透紫外的石英制成的。附图说明图1中n=5,该五块棱镜在X方向上按棱镜宽度a依次排列。在Y方向上按棱镜厚度b错位排列,各棱镜的排列起点如下棱镜1,Y=0;棱镜2,Y=b;棱镜3,Y=2b;棱镜n,Y=(n-1)b。当经过准直以后的入射光束8(其光斑宽度为nb,高度为a)入射到棱镜堆以后,它为n个棱镜分成n个子光束,图 ...
【技术保护点】
一种激光光束整形装置,其特征在于它由n块结构相同的棱镜构成,每块棱镜(i)具有相互垂直的入射面(i↓[1])和出射面(i↓[2]),两个反射面(i↓[3])和(i↓[4]),反射面(i↓[3])与入射面(i↓[1])的夹角为45°,反射面(i↓[4])与出射面(i↓[2])的夹角为45°,每块棱镜(i)的厚度b等于入射光斑宽度的1/n,棱镜(i)的宽度a等于入射光斑的高度,该n块棱镜(i)在X轴方向按棱镜宽度a依次排列,在Y轴方向按棱镜厚度b依次错位排列。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:楼祺洪,
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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