激光束扩束用的系统和方法技术方案

一种激光束扩束用的系统，包括： 一水平反射的多路复用器，和一垂直反射的的多路复用器；其中所述水平反射的多路复用器沿着第一尺寸复制一输入光束，从而形成第一多路复用光束；且所述垂直反射的多路复用器沿着第二尺寸复制所述第一多路复用光束，从而形成第二多路复用光束。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉参考本申请要求享受Augustyn等人于2001年10月18日递交的美国临时申请NO.60/329,757的优先权，在此以其全文引入作为参考。本申请涉及一份由Kremer等于2002年7月31日提交的共同拥有的共同未决非临时美国专利申请10/208,046，该申请是其题目为“没有扩展空间相干性的激光束扩束用的系统和方法”。在此引入其全文以供参考。与联邦支持的研发有关的报告书不适用参考缩微胶片附录/顺序列表/表格/电脑程序附录(在一张光盘上提交并在该光盘上引入有参考材料)不适用。一种传统的激光束扩束方法包括使用折射元件，例如透镜或棱镜结构。遗憾的是，用这些折射元件扩束会增加激光器的空间相干单元(coherence cell)的尺寸，并且在最终的像中引入了斑点问题。为了解决激光器的空间相干单元尺寸的增加和带宽问题，一种包括不同长度的复合透镜的结构被用来扩束激光束。然而这种结构用来扩束把带宽减小到包含几百或几千个空间单元的激光束，是很贵的和不切实际的。因此，需要一种对带宽减小的激光束扩束用的改进的系统和方法。按照本专利技术的进一步的特征，该照明系统进一步包括一光学子系统，其再成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：詹姆斯·特萨考耶尼斯，沃尔特·奥古斯汀，
申请(专利权)人：ASML美国公司，
类型：发明
国别省市：