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一种激光束扩束用的系统，包括： 一水平反射的多路复用器，和一垂直反射的的多路复用器；其中所述水平反射的多路复用器沿着第一尺寸复制一输入光束，从而形成第一多路复用光束；且所述垂直反射的多路复用器沿着第二尺寸复制所述第一多路复用光束，从而...
该专利属于ASML美国公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML美国公司授权不得商用。

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