激光元件及其制造方法,以及使用该激光元件的激光模块技术

技术编号:3314794 阅读:144 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
将氮化物半导体激光棒牢固地固定在Cu散热器上,得到激光元件。在由表面上依次蒸镀上Ni(0.1μm)和Pt(0.2μm)的Cu形成的散热器11上,配置3μm-50μm厚颗粒状由AuSn形成的焊剂材料14,并在其上配置氮化物系半导体激光棒13。用具有与激光棒同等从向长度的平坦焊接筒套,对该激光棒一边挤压,一边加热AuSn焊剂材料14(Au∶Sn=80%∶20%、熔点280℃),熔融后固化,并固定住氮化物半导体激光棒。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于将由一块基板内具有多个发光点的氮化物半导体形成的激光棒固定在散热器上,形成激光元件的制造方法和具有该激光元件的激光模块。
技术介绍
为了提高激光器的输出,提出了一种具有多条激光束、光纤、和由使上述多条激光束对光纤进行合波的准直透镜和聚光透镜形成光学系统的激光模块(例如,参照专利文献1)。作为多个激光束光源,可以使用将具有一个发光点的二极管设置在散热器等中的组件,或者使用在一块基板上形成半导体层层叠而成的具有多个发光点的半导体激光棒。然而,在同一块基板上通过成长结晶形成多个发光点的半导体激光棒中,存在的问题是发光点以并行方向,产生叫作笑颜的翘曲,一部分激光束从并行的位置向上方或向下方偏移(例如,参照非专利文献1)。将这样的半导体激光棒连接在固定面平坦的散热器上时,以前,使用圆柱状筒夹(collet),一边通过将半导体激光棒的发光点并行方向挤压靠近中心处,矫正翘曲,一边连接。在上述激光模块的光学系统内,放大率,例如,约10倍时,若半导体激光棒中发光点的变位量为2μm的活,聚焦点在射入纤维端处,就会形成2μm×10=20μm的移动。这就意味着聚焦点从50μm纤维(半径2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光元件,其特征在于,是将一块基板内具有3个以上发光点的氮化物半导体激光棒,用具有与散热器上固定半导体激光棒的表面形状相对应形状的部件,挤压在由Cu或含Cu合金形成的散热器上,并用由Au和Sn或Si形成的焊剂材料固定而成的。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:山中英生蔵町照彦
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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