四次谐波固体激光产生方法技术

一种四次谐波固体激光产生方法，用高功率密度基波作用到二倍频非线性晶体上产生二次谐波，二次谐波射入四倍频非线性晶体上，采用二次谐波腔内－腔外多次反射方法，使二次谐波构成闭路多次全反射，产生多次累积的四次谐波固体激光输出，未被转换为四次谐波的二次谐波多次通过非线性晶体进行倍频，达到高转换效率。采用非聚焦光束的方法避免高功率密度的二次谐波入射到四倍频非线性晶体上破坏其表面膜层，延长非线性晶体使用寿命。另外，不需移动非线性晶体，避免逐点扫描引起非线性晶体因温度不匹配造成激光功率瞬间产生突变，保证了输出的激光的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
近几年来，国际上激光精细加工发展极为迅速，其市场产值超过激光标记，已成为仅次于激光切割与焊接的主要激光产业，而短波长高功率紫外激光由于具有高分辨率和高吸收的特点，是激光精细加工的重要发展方向。美国Coherent公司研发了激光平均功率为1～3wNd:YAG调Q四倍频激光器，主要用于激光打标和TFT切割；研发了激光功率200mw连续四倍频激光器，主要用于半导体硅园片的质量检验和微光刻。美国Spectra-Physics公司研发了激光平均功率1～2w调Q Nd:YVO4和1w连续四倍频激光器，可用于晶园片切割、宝石基片划片、鑚微孔、FBG制造和DVD光碟刻制。为了产生高功率四次谐波激光通常采用在激光谐振腔外把谐波聚焦到四倍频非线性晶体上，获得足够的二次谐波功率密度来提高倍频效率，如sony公司美国专利第US 6249371号和Acuhighr公司美国专利第US 6741620 B2号所示，这种方法简单稳定，适用于产生中小功率，但对高功率激光易导致非线性介质破坏。另外，未被转换为四次谐波的二次谐波将透过非线性晶体被浪费掉，因此，四次谐波激光的转换效率也受本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种四次谐波固体激光产生方法，其特征是：用高功率密度的基波作用到二倍频非线性晶体上产生二次谐波，二次谐波射入四倍频非线性晶体上，采用腔内－腔外多次反射和非聚焦光束的方法产生多次累积的四次谐波固体激光输出，基波和二次谐波偏振光小角度折叠光路形成低损耗的偏振耦合，红外基波谐振腔设计为与激光介质热透镜平衡高功率密度稳定腔结构，并用多次小角度的内全反射折叠光路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周复正，马淑贞，陈莉英，高云峰，
申请(专利权)人：深圳市大族激光科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]