【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种单一高次谐波紫外单色光源，包括800nm强场偏振激光、光束整形器、光能量调控器、光相位调制器、汇聚透镜、长程相互作用气体盒、金属铝膜、真空腔体等组成。本专利技术能产生单一高次谐波。这种高单色高相干的紫外辐射可用于微纳结构的高精度加工和探测，以及高精度的全息相干成像等领域，应用广泛。【专利说明】单一高次谐波紫外单色光源
本专利技术涉及紫外单色光源，特别是一种单一高次谐波紫外单色光源。
技术介绍
目前，单色性和相干性最好的光源便是激光，一般由工作介质的受激辐射产生，或者再通过晶体倍频或差频来进行频率转换，使用这种方法产生的激光多为可见光波段和红外光波段，在紫外光波段很难采用上述方法产生。这是因为晶体的相位匹配无法得到满足以及工作介质的自身吸收造成的，然而，紫外单色光源在现代科技和生产中却有着极重要的应用。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种单一高次谐波的紫外单色光源，以获得单色性好、相干度和对比度都高的紫外辐射。本专利技术的技术解决方案如下:一种单一高次谐波紫外单色光源，特点在于其构成包括SOOnm强场偏振激光，沿该800nm强场偏振激光...
【技术保护点】
一种单一高次谐波紫外单色光源，特征在于其构成是：包括800nm强场偏振激光（1），沿该800nm强场偏振激光（1）的输出方向依次是同光轴的光束整形器（2）、光能量调控器（3）、汇聚透镜（4）、光相位调制器（5）、长程相互作用气体盒（6）和金属铝膜（7），所述的光束整形器（2）是一个带圆形毛边的通孔光阑，其通孔直径略小于激光光束的直径；所述的光能量调控器（3）由半波片（11）和检偏器（12）组成，所述的半波片（11）具有电控旋转机构，所述的光相位调制器（5）由依次的倍频晶体（13）、延时晶体（14）与和频晶体（15）组成，所述的延时晶体（14）具有电控转动机构；所述的长程相互...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：尉鹏飞，曾志男，苗境，姜甲明，葛晓春，李闯，李儒新，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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