【技术实现步骤摘要】
一种CVD的激光加工设备及操作方法
[0001]本专利技术涉及激光加工
,尤其涉及一种CVD的激光加工设备及操作方法。
技术介绍
[0002]CVD金刚石是含碳气体和氢气的混合物在高温和低于标准大气压的压力下被激发分解,形成活性炭金刚石碳原子,并在基体上沉淀交互生长成聚晶金刚石,其使用范围比较广,利用其硬度可以用于刀具的制作,或者利用金刚石的化学稳定性制成各类生物传感器件;
[0003]CVD金刚石加工过程通常先对工件进行夹持,然后切割,再打磨处理,现有设备在夹持方便存在适应性低缺陷,很难满足形状各异的工件的有效夹持,且切割后工件会掉落分离,后续加工需要重新定位夹持,极为不便,而在打磨时对其平整度要求比较高,现有的打磨装置不具有检测其平整度的功能,不能确保打磨后CVD金刚石的精度。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中设备适应性差的问题,而提出的一种CVD的激光加工设备及操作方法。
[0005]为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:一种CVD的激光加工 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种CVD的激光加工设备,包括加工台(1),其特征在于,所述加工台(1)的底部固定有两个对称设置的支腿(2),所述加工台(1)的上端固定有台架(3),所述台架(3)的上端通过转移机构连接有激光头(8),所述加工台(1)的上端螺纹连接有定位块(9),所述加工台(1)的上端开设有两个对称设置的夹持槽(10),两个所述夹持槽(10)的内壁均滑动连接有推进块(11),两个所述推进块(11)的底部均固定有螺杆(12),两个所述螺杆(12)的侧壁均螺纹连接有带动块(13),所述加工台(1)的底部固定有夹持电机(16),所述夹持电机(16)的输出轴与两个带动块(13)的侧壁均固定有收缩绳(17),所述推进块(11)的内部设有夹持机构,所述台架(3)的侧壁设有平面度测量机构。2.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备,其特征在于,所述转移机构包括固定于台架(3)上端的横移电机(4),所述横移电机(4)的输出轴固定有丝杆(5),所述丝杆(5)的侧壁螺纹连接有滑块(6),所述滑块(6)的底部固定有升降杆(32),所述升降杆(32)的底部与激光头(8)连接,所述台架(3)的上端贯穿开设有滑槽(7),所述升降杆(32)与滑槽(7)的内壁滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备,其特征在于,所述夹持机构包括与推进块(11)内壁滑动连接的夹持块(18),所述夹持块(18)的内部开设有匹配槽(19)和推进槽(21),所述匹配槽(19)的内壁固定有匹配带(20),所述匹配槽(19)的侧壁贯穿开设有与推进槽(21)内部接通的连接孔(22),所述推进槽(21)的内壁通过复位弹簧(23)连接有压板(24),所述压板(24)的侧壁固定有压杆(25),所述压杆(25)贯穿推进槽(21)的侧壁与推进块(11)相固定,所述匹配槽(19)和推进槽(21)的内部均填充有磁流变液。4.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备,其特征在于,所述带动块(13)的侧壁开设有...
【专利技术属性】
技术研发人员:何良俊,杨将,张海,
申请(专利权)人:武汉劲野科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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