【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的是一种可以在投入电源时振荡一定时间后再稳定化的激光头稳 定化电路。
技术介绍
光线在传播过程会逐渐扩散，因此光线强度在远离光源时会逐渐降低，这时 候因为光源上实际发射光线的原子所发射的光线具有不同的波长、相位与方向。 与此相反的是，激光发射的光线具有固定波长且其波动相同，因此被广泛地应用 在各种产业设备上。半导体蚀刻机的类的设备需要载着晶圆移送以进行各种工序，此时为了使移 动距离还加准确而使用激光设备。图1显示了使用激光设备测量距离的原理。发射2个频率的激光(l)通过分光片(2)的一侧进入基准反光镜(3)，通过另 一侧 进入测定反光镜(4),从所述的分光片(2)出来的信号则通过偏光子(5)与光电二极管 (6)进入相位计(7)。因此相位计(7)的一側输入相位差信号，另 一侧输入激光(l)的基准信号差信激光(l)针对2个频率发射信号，经过分离器(2)的第一频率信号(fl)被测定反 光镜(4)反射后输入，经过基准反光镜(3)的第二频率信号(f2)则直接反射后输入。当待测物体移动时，安装在待测物体上的测定反光镜(4)也跟着移动，因此其 移动距离是fl士A...
【技术保护点】
一种激光头稳定化电路，其包括：接受电源供应单元（１５）所供应的电源并通过内部的共振器进行振荡的激光模组（１０）、检测上述激光模组（１０）的温度后判断其是否为预热驱动状态的温度检测器（１９）、以及接受上述温度检测器的输出后驱动并且在预热状态结束时把开关（Ｓ１、Ｓ２）加以切换的状态控制单元（２０），把上述激光模组（１０）的一部分输出光进行反馈并与基准信号进行比较后把激光模组稳定化，其特征为，通过下列单元控制激光模组的输出： 光检测单元（１６），连接到激光模组（１０）的后端，检测出位于上述激光模组（１０）内部并构成共振器的反光镜的泄漏光； 差分放大器（１７），把上述光检测单元（１...
【技术特征摘要】
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