【技术实现步骤摘要】
一种用于高纯氟气中杂质的分析装置
[0001]本技术属于高纯氟中微量无机杂质分析
，具体涉及一种用于高纯氟气中杂质的分析装置。
技术介绍
[0002]高纯氟气是一种性质非常活泼的气体，具有强氧化性，能与大多数无机物或有机物在室温或低于室温下反应，释放较多的热量，常导致燃烧和爆炸。高纯氟气是精细化工领域的重要原料，广泛应用于电子、激光技术、医药塑料等领域；由于它的强氧化性，可以用于玻璃浸蚀，金属材料、管道的表面钝化处理，在国防上用于制取火箭推进剂；高纯氟气还用于电子、医药、卫生、科研等领域；氟气与硫、碳反应生成的六氟化硫和四氟化碳是良好的电气绝缘和灭弧材料。众多学者提出利用F2作为CVD反应腔室的清洗剂，与NF3相比，F2具有更强的反应活性且不会造成温室效应，在半导体领域极具市场潜力。氟气和氯气合成的三氟化氯，可用作强烈的纵火剂，也可作为火箭推进剂，还可用于制造航空汽油的催化剂。
[0003]随着半导体的发展，对氟气的纯度要求越来越高。然而我国尚未制定高纯氟气的相关标准，现有氟气检测方法，最低检测浓度各组分浓度只有 10ppm，对于更低浓度杂质由于检测方法的缺失，造成氟气的质量不稳定，无法满足要求。因此，设计出一种能够实现氟气中杂质全分析的装置意义重大。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种用于高纯氟气中杂质的分析装置，该装置能够准确分析出高纯氟气中的杂质，同时采用高灵敏度的脉冲氦离子化检测器，检测精度更高。
[0005]为解决上述技术...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于高纯氟气中杂质的分析装置，其特征在于，包括进样单元、吸附单元、阀切换单元、色谱柱、检测器和载气，所述阀切换单元包括第一切换阀(101)、第二切换阀(201)、第三切换阀(301)、第四切换阀(401)、第五切换阀(501)和第六切换阀(601)，所述第一切换阀(101)、第二切换阀(201)和第三切换阀(301)均设有10个连接口，所述第四切换阀(401)和第五切换阀(501)均设有8个连接口，所述第六切换阀(601)设有6个连接口，所述10个连接口分别标为
①
号口、
②
号口、
③
号口、
④
号口、
⑤
号口、
⑥
号口、
⑦
号口、
⑧
号口、
⑨
号口和
⑩
号口，所述8个连接口分别标为
①
号口、
②
号口
‑⑧
号口，所述6个连接口分别标为
①
号口、
②
号口
‑⑥
号口；所述吸附单元包括第一吸附柱(202)、第二吸附柱(203)、第三吸附柱(302)和第四吸附柱(303)，所述第二切换阀(201)的
②
号口和
⑨
号口之间连接有第一吸附柱(202)，所述第二切换阀(201)
④
号口和
⑦
号口之间连接有第二吸附柱(203)，所述第三切换阀(301)的
⑩
号口和
③
号口之间连接有所述第三吸附柱(302)，所述第三切换阀(301)的
⑧
号口和
⑤
号口之间连接有所述第四吸附柱(303)；所述色谱柱包括第一色谱柱(403)、第二色谱柱(402)、第三色谱柱(502)和第四色谱柱(503)，所述第四切换阀(401)的
④
号口和
⑦
号口之间连接有所述第一色谱柱(403)，所述第四切换阀(401)的
③
号口与所述第六切换阀(601)的
⑥
号口通过所述第二色谱柱(402)连接，所述第五切换阀(501)的
④
号口和
⑦
号口之间连接有所述第三色谱柱(502)，所述第五切换阀(501)的
③
号口与所述第六切换阀(601)的
②
号口通过所述第四色谱柱(503)连接；所述第六切换阀(601)上设有所述检测器，所述第一切换阀(101)、第二切换阀(201)、第三切换阀(301)、第四切换阀(401)和第五切换阀(501)均通入载气；所述进样单元包括样品入口(104)，所述第一切换阀(101)上设有样品入口(104)。2.根据权利要求1所述的一种用于高纯氟气中杂质的分析装置，其特征在于，所述检测器为脉冲氦离子化检测器(702)，所述第一切换阀(101)上还连接有样品出口(105)。3.根据权利要求2所述的一种用于高纯氟气中杂质的分析装置，其特征在于，所述载气包括第一载气(801)、第二载气(802)、第三载气(803)、第四载气(804)、第五载气(805)、第六载气(806)、第七载气(807)、第九载气(809)和第十载气(810)。4.根据权利要求3所述的一种用于高纯氟气中...
【专利技术属性】
技术研发人员：李帅楠，郑秋艳，倪珊珊，殷越玲，苏子杰，魏晓娟，滕莹，袁攀攀，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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