一种真空腔体翻转结构制造技术

本发明专利技术属于真空镀膜设备技术领域，具体公开了一种真空腔体翻转结构，包括真空腔体，所述真空腔体底端设有支撑底座，所述支撑底座内部设有固定槽，所述固定槽一端向支撑底座一侧延伸，所述固定槽底端设有液压缸，所述液压缸上设有液压杆，所述真空腔体顶端设有盖板，所述盖板一端设有旋转臂，所述旋转臂设置在靠近固定槽的一侧，所述旋转臂末端通过铰链轴设置在液压杆末端，所述旋转臂与液压杆转动连接，本发明专利技术通过设置的自动翻转结构可以使盖板进行95

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体翻转结构


[0001]本专利技术涉及一种真空腔体翻转结构，属于真空镀膜设备


技术介绍

[0002]真空镀膜腔体是真空镀膜设备的核心部件，各种真空镀膜工艺都必须在真空腔体中进行。在真空腔体中安装不同的功能部件，真空腔体就能实现不同的镀膜工艺及功能。
[0003]镀膜腔体的结构设计应便于加工制造和内部构件的组装，工作时应便于操作，且应具有良好的刚度稳定性。
[0004]所述的真空腔体是盒型真空腔体结构，主要有真空腔体和真空盖板组成完整的真空腔体，真空盖板主要用来在对真空腔体内部零配件进行装配、维护时，将真空盖板打开进行工作；真空盖板的开启成了主要工作，对于一般的生产企业车间行吊一般为5T，吊装5T以下的盖板可以，但对于大型真空镀膜设备中真空腔体的盖板重达20T以上，成了生产企业的一大难题，安装20T以上的行吊成本造价极高，对真空设备的维护及其不方便，效率低。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种真空腔体翻转结构，解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种真空腔体翻转结构，包括真空腔体，所述真空腔体底端设有支撑底座，所述支撑底座内部设有固定槽，所述固定槽一端向支撑底座一侧延伸，所述固定槽底端设有液压缸，所述液压缸上设有液压杆，所述真空腔体顶端设有盖板，所述盖板一端设有旋转臂，所述旋转臂设置在靠近固定槽的一侧，所述旋转臂末端通过铰链轴设置在液压杆末端，所述旋转臂与液压杆转动连接。
[0007]优选的，所述盖板底端靠近旋转臂的一侧设有固定轴，所述盖板通过旋转轴与真空腔体转动连接。
[0008]优选的，所述液压缸末端设有固定支座，所述固定支座设置在固定槽末端，所述固定支座与支撑底座固定连接，所述液压缸与固定支座转动连接。
[0009]优选的，所述旋转臂侧面设有限位孔，所述限位孔内设有安全销，所述安全销与旋转臂活动连接。
[0010]优选的，所述真空腔体顶端边缘设有缓冲垫，所述缓冲垫底端穿过真空腔体设置在真空腔体内部。
[0011]优选的，所述缓冲垫底端通过缓冲弹簧设有移动支撑板，所述缓冲弹簧两端分别与缓冲垫和移动支撑板固定连接。
[0012]优选的，所述缓冲垫和移动支撑板均与真空腔体之间滑动连接。
[0013]优选的，所述支撑底座内部设有第一连接轴和第二连接轴，所述第一连接轴和第二连接轴分别通过限位轴设置在支撑底座上。
[0014]优选的，所述第一连接轴和第二连接轴均设置在固定槽上方，所述第二连接轴通
过限位轴与支撑底座转动连接。
[0015]优选的，所述第一连接轴两端分别与液压杆和第二连接轴转动连接，所述第二连接轴末端设置在移动板底端。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0017]本专利技术属于真空镀膜设备
，具体公开了一种真空腔体翻转结构，本专利技术通过设置的自动翻转结构可以使盖板进行95
°
倾斜，无需行吊将盖板吊起，方面了对真空腔体内部机构的安装、维护，又同时减少了使用单位对行吊的资金投入，提高了使用效率，降低生产成本，翻转机构采用铰链、连杆、杠杆等原理实现其功能，使其结构简单、实用，制造容易，生产成本低，通过设置的安全销可以当翻转机构翻转到指定位置后，将用安全销使其固定，防止液压机构失灵，避免安全事故。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的主视图；
[0019]图2为本专利技术的左视图；
[0020]图3为本专利技术的俯视图一；
[0021]图4为本专利技术的截面示意图；
[0022]图5为本专利技术的俯视图二；
[0023]图中：1、真空腔体；2、支撑底座；3、液压缸；4、液压杆；5、盖板；6、旋转臂；7、铰链轴；8、固定轴；9、固定支座；10、安全销；11、缓冲垫；12、缓冲弹簧；13、移动支撑板；14、第一连接轴；15、第二连接轴。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0026]在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0027]请参阅图1
‑
5，本专利技术提供一种技术方案：一种真空腔体翻转结构，包括真空腔体1，所述真空腔体1底端设有支撑底座2，所述支撑底座2内部设有固定槽，所述固定槽一端向支撑底座2一侧延伸，所述固定槽底端设有液压缸3，所述液压缸3上设有液压杆4，所述真空腔体1顶端设有盖板5，所述盖板5一端设有旋转臂6，所述旋转臂6设置在靠近固定槽的一
侧，所述旋转臂6末端通过铰链轴7设置在液压杆4末端，所述旋转臂6与液压杆4转动连接。
[0028]进一步的，所述盖板5底端靠近旋转臂6的一侧设有固定轴8，所述盖板5通过旋转轴与真空腔体1转动连接。
[0029]进一步的，所述液压缸3末端设有固定支座9，所述固定支座9设置在固定槽末端，所述固定支座9与支撑底座2固定连接，所述液压缸3与固定支座9转动连接。
[0030]进一步的，所述旋转臂6侧面设有限位孔，所述限位孔内设有安全销10，所述安全销10与旋转臂6活动连接。
[0031]进一步的，所述真空腔体1顶端边缘设有缓冲垫11，所述缓冲垫11底端穿过真空腔体1设置在真空腔体1内部。
[0032]进一步的，所述缓冲垫11底端通过缓冲弹簧12设有移动支撑板13，所述缓冲弹簧12两端分别与缓冲垫11和移动支撑板13固定连接。
[0033]进一步的，所述缓冲垫11和移动支撑板13均与真空腔体1之间滑动连接。
[0034]进一步的，所述支撑底座2内部设有第一连接轴14和第二连接轴15，所述第一连接轴14和第二连接轴15分别通过限位轴设置在支撑底座2上。
[0035]进一步的，所述第一连接轴14和第二连接轴15均设置在固定槽上方，所述第二连接轴15通过限位轴与支撑底座2转动连接。
[0036]进一步的，所述第一连接轴14两端分别与液压杆4和第二连接轴15转动连接，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体翻转结构，其特征在于：包括真空腔体(1)，所述真空腔体(1)底端设有支撑底座(2)，所述支撑底座(2)内部设有固定槽，所述固定槽一端向支撑底座(2)一侧延伸，所述固定槽底端设有液压缸(3)，所述液压缸(3)上设有液压杆(4)，所述真空腔体(1)顶端设有盖板(5)，所述盖板(5)一端设有旋转臂(6)，所述旋转臂(6)设置在靠近固定槽的一侧，所述旋转臂(6)末端通过铰链轴(7)设置在液压杆(4)末端，所述旋转臂(6)与液压杆(4)转动连接。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体翻转结构，其特征在于：所述盖板(5)底端靠近旋转臂(6)的一侧设有固定轴(8)，所述盖板(5)通过旋转轴与真空腔体(1)转动连接。3.根据权利要求1所述的一种真空腔体翻转结构，其特征在于：所述液压缸(3)末端设有固定支座(9)，所述固定支座(9)设置在固定槽末端，所述固定支座(9)与支撑底座(2)固定连接，所述液压缸(3)与固定支座(9)转动连接。4.根据权利要求1所述的一种真空腔体翻转结构，其特征在于：所述旋转臂(6)侧面设有限位孔，所述限位孔内设有安全销(10)，所述安全销(10)与旋转臂(6)活动连接。5.根据权利要求1所述的一种真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊峰，赵子东，许春立，魏庆瑄，
申请(专利权)人：上海子创镀膜技术有限公司，
类型：发明
国别省市：