一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法，包括：能量计，安装在外部工作台上；导光壳，安装在真空壳体的入射口上；驱动部，驱动部的外部连接至导光壳上，驱动部的移动端设置有反光镜，可以帮助使用者得到真实的激光能量密度，帮助使用者保证不同批次生长的样品具有同样的激光能量密度，从而极大的帮助使用者提高样品的制备重复性和薄膜的质量。和薄膜的质量。和薄膜的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法


[0001]本专利技术涉及激光测量
，具体而言，涉及一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法。

技术介绍

[0002]当代许多电子器件、传感器、探测器以及光学元件等都需要用到真空镀膜技术，尤其是电子学元器件，绝大多数都以薄膜材料为载体，因此高质量的薄膜生长非常关键，脉冲激光沉积是其中一种比较普遍使用的真空镀膜技术，它采用高能量脉冲激光轰击特定材料制定的靶材，产生包含靶材中各类元素组成的原子、离子和分子团等组成的等离子体羽辉。羽辉扩散到正对着靶材的基片上重新结晶成晶体，从而成膜。一个好的制备过程需要优化激光的能量、生长温度、真空背景的气体(通常为氧)的分压以及靶和基片的距离等等；
[0003]一般激光都是通过一个透明的视窗法兰进入真空腔体并到达靶材。由于目前的许多商业高能激光能量计都只能在大气下使用，所以激光的能量测量都是在激光进入到真空腔体之前进行测试，在实际使用时，如制备样品的过程中，也会有等离子羽辉扩散到激光视窗法兰，并沉积在视窗内侧，从而降低视窗的激光透过率，造成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置，其特征在于，包括：能量计(1)，安装在外部工作台上；导光壳(2)，安装在真空壳体(5)的入射口上；驱动部(3)，所述驱动部(3)的外部连接至所述导光壳(2)上，所述驱动部(3)的移动端设置有反光镜(4)；其中，所述导光壳(2)上设置有至少两个导出口(201)，所述导出口(201)分别对应所述能量计(1)和所述真空壳体(5)的入射口，所述反光镜(4)设置在所述导光壳(2)内部，且用于改变所述导光壳(2)内部的光路。2.根据权利要求1所述的一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置，其特征在于，所述驱动部(3)包括：线性位移台(301)，设置在所述导光壳(2)上，所述线性位移台(301)的移动端与所述反光镜(4)相连接；真空法兰(302)，固定在所述线性位移台(301)和所述导光壳(2)之间。3.根据权利要求1所述的一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置，其特征在于，所述导光壳(2)上开设有导入口(202)，所述导入口(202)与任意的所述导出口(201)同轴设置，至少两个所述导出口(201)的轴线相互不平行。4.根据权利要求1所述的一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置，其特征在于，所述导出口(201)上安装有视窗法兰(203)，所述导光壳(2)通过所述视窗法兰(203)与所述真空壳体(5)的入射口固定装配，且经过所述视窗法兰(203)向外导通所述光路。5.根据权利要求1所述的一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置，其特征在于，所述导光壳(2)还包括：真空阀门(204...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖昭亮，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：