下载一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法的技术资料

文档序号:33045905

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本发明公开了一种测量真空设备内激光的原位能量测量装置及测量方法,包括:能量计,安装在外部工作台上;导光壳,安装在真空壳体的入射口上;驱动部,驱动部的外部连接至导光壳上,驱动部的移动端设置有反光镜,可以帮助使用者得到真实的激光能量密度,帮助使...
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