本申请公开了半导体表面清洁处理装置，属于半导体清理的领域，其包括底座、设置于所述底座上的清理筒，所述清理筒外侧壁的上端设置有用于容纳清洁液的进液箱，所述进液箱与所述清理筒相连通，所述底座上设置有循环箱，所述循环箱远离所述进液箱的端部与所述清理筒之间连通有出水管，所述循环箱内安装有过滤板，所述过滤板靠近所述进液箱的侧面设置有水泵，所述水泵上连通有输水管，所述输水管穿出所述循环箱并与所述进液箱相连通，所述循环箱靠近所述出水管的内底面连通有排放管，所述排放管上安装有电磁阀；所述清理筒内设置有用于固定半导体器件的固定组件。本申请具有提高半导体器件清洗效果的效果。器件清洗效果的效果。器件清洗效果的效果。
【技术实现步骤摘要】
半导体表面清洁处理装置
[0001]本申请涉及半导体清理的
，尤其是涉及半导体表面清洁处理装置。
技术介绍
[0002]在半导体产业链中，清洗工序可谓贯穿全程，在所有芯片制造工序步骤中，清洗步骤占比约在30%以上。随着半导体器件集成度不断提高、晶圆尺寸不断扩大、芯片工艺节点不断缩小和半导体结构越来越复杂化等，产业链对清洗步骤的需求正在快速增加。
[0003]但是部分厂家的清洗技术依旧十分传统，相关技术中，操作人员利用大体积的容器盛放清洁液，接着操作人员将半导体器件放入容器内，使得半导体器件表面与清洁液接触，清洁液有利于清除半导体器件表面的微粒，当半导体器件清洗完成后，操作人员取出半导体器件并进行风干，最后半导体器件进入下一道工序。
[0004]针对上述相关技术，专利技术人认为当半导体器件完成清洗后，半导体器件的微粒脱落之后仍旧残留在清洁液中，利用存在杂质的清洁液继续对半导体器件进行清洗，半导体器件的清洗效果较差。
技术实现思路
[0005]为了提高半导体器件清洗效率，本申请提供半导体表面清洁处理装置。
[0006]本申请提供的半导体表面清洁处理装置采用如下的技术方案：半导体表面清洁处理装置，包括底座、设置于所述底座上的清理筒，所述清理筒外侧壁的上端设置有用于容纳清洁液的进液箱，所述进液箱与所述清理筒相连通，所述底座上设置有循环箱，所述循环箱远离所述进液箱的端部与所述清理筒之间连通有出水管，所述循环箱内安装有过滤板，所述过滤板靠近所述进液箱的侧面设置有水泵，所述水泵上连通有输水管，所述输水管穿出所述循环箱并与所述进液箱相连通，所述循环箱靠近所述出水管的内底面连通有排放管，所述排放管上安装有电磁阀；所述清理筒内设置有用于固定半导体器件的固定组件。
[0007]通过采用上述技术方案，操作人员先利用固定组件将半导体器件固定，接着操作人员将清洁液倒入进液箱内，进液箱内的清洁液进入清理筒内，清理筒的清洁液对半导体器件进行清洗，当操作人员启动水泵后，清理筒内混有杂质的清洁液进入循环箱内，过滤板的设置有利于过滤清洁液中的杂质，干净的清洁液经过输水管再次进入进液箱内，从而实现清洁液的循环流动，有利于带走半导体器件上的微粒，提高半导体器件的清洗效果。
[0008]优选的，所述固定组件包括基座、对称安装于所述基座上的两个第一支撑柱以及滑动安装于所述基座上的第二支撑柱，所述半导体器件设置于所述第一支撑柱与所述第二支撑柱之间，所述第一支撑柱与所述第二支撑柱上均开设有多个用于与所述半导体器件抵接的环形槽，所述基座上设置有用于移动所述第二支撑柱的调节组件，所述清理筒内设置有用于驱动所述基座在竖直方向上移动的升降组件。
[0009]通过采用上述技术方案，升降组件的设置方便操作人员控制基座、第一支撑柱以
及第二支撑柱的位置，进而方便操作人员控制半导体器件的位置，当操作人员利用升降组件将半导体器件移动至清理筒内时，操作人员利用调节组件移动第二支撑柱的位置，第一支撑柱、第二支撑柱的配合方便操作人员固定半导体器件，进而提高半导体器件在清洁液中的稳定性，当操作人员利用升降组件将半导体器件移动至脱离清理筒时，操作人员利用调节组件使得第二支撑柱远离半导体器件，进而方便操作人员取下已经清洗完成的半导体器件并换上新的待处理的半导体器件。
[0010]优选的，所述底座上设置有支架，所述升降组件包括竖直设置的丝杆、螺纹连接于所述丝杆上的安装板以及安装于所述支架上的升降电机，所述丝杆底部与所述清理筒的内底面转动连接，所述升降电机的输出轴上固定套设有第一锥齿轮，所述丝杆上固定套设有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述第二锥齿轮相互啮合，所述安装板与所述基座固定连接，所述清理筒内竖直设置有导向杆，所述导向杆穿过所述安装板，所述导向杆与所述安装板滑动连接。
[0011]通过采用上述技术方案，导向杆的设置为安装板的移动提供导向作用，防止安装板转动，操作人员启动升降电机，升降电机的输出轴转动带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮转动带动第二锥齿轮转动，第二锥齿轮转动带动丝杆转动，丝杆转动带动安装板沿丝杆的长度方向移动，安装板移动带动基座移动，基座移动最终使得半导体器件移动。
[0012]优选的，所述基座上滑动设置有燕尾块，所述基座上开设有用于与所述燕尾块滑移配合的燕尾槽，所述调节组件包括设置于所述燕尾块上的铁块以及设置于所述燕尾槽内侧壁上的电磁铁，所述燕尾块与所述第二支撑柱之间设置有连接板。
[0013]通过采用上述技术方案，当操作人员为电磁铁供电时，电磁铁吸附铁块，铁块移动带动燕尾块移动，燕尾块移动带动连接板移动，连接板移动带动第二支撑柱移动，从而方便操作人员控制第二支撑柱的位置。
[0014]优选的，所述导向杆上设置有辅助组件，所述辅助组件包括铰接于所述导向杆顶端的固定套筒、穿设于所述固定套筒内并与所述固定套筒滑移配合的移动柱以及固定连接于所述移动柱上的弹簧，所述弹簧远离所述移动柱的端部与所述固定套筒的内侧壁固定连接，所述移动柱远离所述固定套筒的端部与所述连接板铰接。
[0015]通过采用上述技术方案，当操作人员利用升降组件将半导体器件移动至脱离清理筒时，此时弹簧处于拉伸状态，接着操作人员停止为电磁铁供电，电磁铁不再吸引铁块，移动柱在弹簧的弹力作用下移动，移动柱移动带动燕尾块移动，燕尾块移动通过连接板带动第二支撑柱移动，进而方便操作人员取出半导体器件以及更换新的半导体器件。
[0016]优选的，所述第一支撑柱与所述基座转动连接，所述第二支撑柱与所述连接板转动连接，所述第一支撑柱与第二支撑柱远离所述基座的端部上均设置有螺旋桨，所述螺旋桨的轴线与所述第一支撑柱的轴线相互平行。
[0017]通过采用上述技术方案，循环流动的清洁液带动螺旋桨转动，螺旋桨转动使得第一支撑柱、第二支撑柱移动，第一支撑柱与第二支撑柱移动带动半导体器件转动，从而进一步提高的半导体器件表表面的清洗效果。
[0018]优选的，所述安装板包括用于与所述丝杆螺纹配合的竖向板以及与所述竖向板固定连接的横向板，所述基座靠近所述竖向板的侧面上固定连接有卡条，所述竖向板上开设有用于与所述卡条滑移配合的卡槽，所述横向板上固定连接有限位板，所述限位板上穿设
有用于与所述基座螺纹配合的限位螺栓。
[0019]通过采用上述技术方案，卡条与卡槽的设置有利于加强基座与竖向板之间的连接，限位板与限位螺栓的设置有利于防止基座脱离安装板，安装板与基座可拆卸连接方便操作人员更换清洗基座。
[0020]优选的，所述支架的上表面固定连接有排风管，所述支架上安装有用于制造干燥气体的干燥气体生产机构，所述干燥气体生产机构与所述排风管之间连通有排气管。
[0021]通过采用上述技术方案，当经过清洁液清洗的半导体器件上升至脱离清理筒时，操作人员启动干燥气体生产机构，干燥气体依次经过排气管和排风管吹至半导体器件上，从而干燥半导体器件。
[0022]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：先利用固定组件将半导体器件固本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体表面清洁处理装置，包括底座(1)、设置于所述底座(1)上的清理筒(2)，其特征在于：所述清理筒(2)外侧壁的上端设置有用于容纳清洁液的进液箱(3)，所述进液箱(3)与所述清理筒(2)相连通，所述底座(1)上设置有循环箱(12)，所述循环箱(12)远离所述进液箱(3)的端部与所述清理筒(2)之间连通有出水管(124)，所述循环箱(12)内安装有过滤板(121)，所述过滤板(121)靠近所述进液箱(3)的侧面设置有水泵(122)，所述水泵(122)上连通有输水管(123)，所述输水管(123)穿出所述循环箱(12)并与所述进液箱(3)相连通，所述循环箱(12)靠近所述出水管(124)的内底面连通有排放管(125)，所述排放管(125)上安装有电磁阀(126)；所述清理筒(2)内设置有用于固定半导体器件(9)的固定组件(5)。2.根据权利要求1所述的半导体表面清洁处理装置，其特征在于：所述固定组件(5)包括基座(51)、对称安装于所述基座(51)上的两个第一支撑柱(52)以及滑动安装于所述基座(51)上的第二支撑柱(53)，所述半导体器件(9)设置于所述第一支撑柱(52)与所述第二支撑柱(53)之间，所述第一支撑柱(52)与所述第二支撑柱(53)上均开设有多个用于与所述半导体器件(9)抵接的环形槽(521)，所述基座(51)上设置有用于移动所述第二支撑柱(53)的调节组件(6)，所述清理筒(2)内设置有用于驱动所述基座(51)在竖直方向上移动的升降组件(4)。3.根据权利要求2所述的半导体表面清洁处理装置，其特征在于：所述底座(1)上设置有支架(13)，所述升降组件(4)包括竖直设置的丝杆(41)、螺纹连接于所述丝杆(41)上的安装板(42)以及安装于所述支架(13)上的升降电机(43)，所述丝杆(41)底部与所述清理筒(2)的内底面转动连接，所述升降电机(43)的输出轴上固定套设有第一锥齿轮(431)，所述丝杆(41)上固定套设有第二锥齿轮(411)，所述第一锥齿轮(431)与所述第二锥齿轮(411)相互啮合，所述安装板(42)与所述基座(51)固定连接，所述清理筒(2)内竖直设置有导向杆(21)，所述导向杆(21)穿过所述安装板(42)，所述导向杆(21)与所述安装板(4...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱峰，熊志红，胡超，
申请(专利权)人：广州仕上科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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