一种硬脆材料的刷洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硬脆材料的刷洗装置，包括：刷洗部，所述刷洗部包括至少一根滚筒刷和至少一根喷淋管；传动部，所述传动部包括端部齿轮组件和一根水平布置的从动轮轴，所述端部齿轮组件包括至少两个相啮合的正齿轮，从动轮轴与端部齿轮组件的其中一个正齿轮连接传动，端部齿轮组件的其余正齿轮与滚筒刷连接传动；驱动部，所述驱动部与从动轮轴连接，用于驱动所述从动轮轴转动。本装置利用喷淋管湿润硬脆材料，以滚筒刷刷洗硬脆材料，使得附着在硬脆材料表面的粉末和颗粒可以被清洁掉。避免真空会把这些粉末和颗粒通过硬脆材料和研磨盘面的缝隙里吸入到硬脆性材料的吸附面上。盘面的缝隙里吸入到硬脆性材料的吸附面上。盘面的缝隙里吸入到硬脆性材料的吸附面上。

【技术实现步骤摘要】
一种硬脆材料的刷洗装置


[0001]本技术涉及硬脆材料的抛光技术，具体涉及一种硬脆材料的刷洗装置。

技术介绍

[0002]由于实现大规模集成电路立体化结构的要求，半导体制造行业面对大直径硬脆材料运用过程中，直径不断增大和特征线宽不断减小的趋势，因此对硬脆材料的表面平整度的要求日趋严格。在半导体加工行业所运用的众多平整化技术中，化学机械抛光能获得全局平面化效果。为满足越来越高的平整度要求，通常在化学机械抛光前进行减薄加工，提高抛光前的抛光参数。
[0003]减薄加工通常的做法是，将硬脆材料吸附在研磨盘上旋转，砂轮以较高的转速向下运动，对硬脆材料进行减薄。为避免减薄后硬脆材料的边缘塌边或凸起，通常会将减薄设备的研磨盘中间设为真空吸附区域，边缘的一圈设为真空隔离带。通过砂轮在硬脆材料表面机械摩擦实现硬脆材料减薄的工艺中，不可避免会有加工产生材料粉末和碎屑。加工过程中，部分颗粒粉末会渗透到研磨盘的边缘，真空会把这些粉末通过硬脆材料和研磨盘面的缝隙里吸入到硬脆性材料的吸附面，或停留在真空区和真空隔离带的中间，导致加工完成的硬脆性材料全局平整度不佳。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中现有的因硬脆材料粉末进入吸附面而导致硬脆材料全局平整度不佳的问题，提供一种硬脆材料的刷洗装置。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的解决方案是：
[0006]一种硬脆材料的刷洗装置，包括：
[0007]刷洗部，所述刷洗部包括至少一根滚筒刷和至少一根喷淋管；
[0008]传动部，所述传动部包括端部齿轮组件和一根水平布置的从动轮轴，所述端部齿轮组件包括至少两个相啮合的正齿轮，从动轮轴与端部齿轮组件的其中一个正齿轮连接传动，端部齿轮组件的其余正齿轮与滚筒刷连接传动；
[0009]驱动部，所述驱动部与从动轮轴连接，用于驱动所述从动轮轴转动。
[0010]作为一种改进，所述滚筒刷和喷淋管交替间隔分布。
[0011]作为一种改进，所述刷洗部还包括水平安装板，所述水平安装板两侧平行设有竖向安装板；所述滚筒刷和从动轮轴通过轴承安装在两个竖向安装板之间；所述喷淋管固定安装在竖向安装板上。
[0012]作为一种改进，所述端部齿轮组件安装在竖向安装板的外侧，所述端部齿轮组件包括依次啮合的多个正齿轮，所述滚筒刷和从动轮轴的同侧端部分别嵌套安装一个正齿轮。
[0013]作为一种改进，所述滚筒刷设有两根，这两根滚筒刷平行排布；所述端部齿轮组件包括相互啮合的第一正齿轮、第二正齿轮、第三正齿轮和第四正齿轮，第一正齿轮嵌套安装
在从动轮轴的端部，第二正齿轮和第四正齿轮分别嵌套安装在两根滚筒刷的端部，第一正齿轮与第二正齿轮相互啮合，第三正齿轮作为传动齿轮，分别与第二正齿轮、第四正齿轮啮合。
[0014]作为一种改进，所述驱动部包括斜齿轮组和驱动机构，所述斜齿轮组包括相互啮合的第一斜齿轮和第二斜齿轮，第二斜齿轮固定设于从动轮轴上，第一斜齿轮由驱动机构驱动。
[0015]作为一种改进，所述驱动机构包括齿轮轴、传动轴、联轴器和电机；电机的输出轴通过联轴器与所述传动轴的底端相连，传动轴的上端与齿轮轴的一端部相连，所述第一斜齿轮设于齿轮轴另一端部，第一斜齿与第二斜齿轮相互啮合；第二斜齿轮通过固定环固定在从动轮轴上。
[0016]作为一种改进，所述驱动部还包括支撑架，支撑架内设有中空的安装座；竖向的传动轴通过轴承安装在安装座中；安装座的底部设有电机安装板，电机固设于电机安装板上。
[0017]作为一种改进，在滚筒刷的滚筒上布设多圈刷毛，在喷淋管的端部设有管接头。
[0018]作为一种改进，所述驱动部的外部还罩设有防水罩。
[0019]作为一种改进，所述驱动部通过链条、或皮带驱动从动轮轴转动。
[0020]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0021]1、本装置利用喷淋管湿润硬脆材料，以滚筒刷刷洗硬脆材料，使得附着在硬脆材料表面的粉末和颗粒可以被清洁掉。避免真空会把这些粉末和颗粒通过硬脆材料和研磨盘面的缝隙里吸入到硬脆性材料的吸附面上。
[0022]2、通过多个滚筒刷平行排布构成一个刷洗工作面，能够提高刷洗效率。
[0023]3、所述滚筒刷和喷淋管交替间隔分布，能够有效保障刷洗过程中硬脆材料保持湿润，避免出现干刷损伤材料表面。选择合适位置的喷淋管改以充入高压气体，利用高速气流辅助冲击材料表面，可以强化冲洗洁净度。
[0024]4、采用斜齿轮组能够最大程度利用电机驱动力，保持滚筒刷的高速运行和平稳运行时长。
附图说明
[0025]图1是刷洗装置的正面视图；
[0026]图2是刷洗装置的侧面视图；
[0027]图3是刷洗装置的刷洗部的侧面视图；
[0028]图4是刷洗装置的刷洗部的正面视图；
[0029]图5是刷洗装置的驱动部的剖面视图。
[0030]图中：1
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水平安装板，2
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下部轴承座，3
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第一正齿轮，4
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第二正齿轮，5
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第三正齿轮，6第四正齿轮，7
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固定环，8
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第二斜齿轮，9
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从动轮轴，10
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喷淋管，11
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管接头，12
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第一斜齿轮，13
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齿轮轴，14
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支撑架，15
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安装座，16
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传动轴，17
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联轴器，18
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电机安装板，19
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电机，20
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滚筒刷，21
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竖向安装板。
具体实施方式
[0031]下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细描述：
[0032]在半导体硬脆材料的减薄加工工艺中，本技术的刷洗装置位于研磨盘前端，在每次研磨之前都进行喷淋和刷洗，以清洁硬脆材料的吸附面。
[0033]如图1
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5所示，硬脆材料的刷洗装置，包括刷洗部、传动部和驱动部三部分。
[0034]所述刷洗部包括一块水平安装板1、三根喷淋管10和两根滚筒刷20，在水平安装板1两侧平行相对各设有一块竖向安装板21。三根喷淋管10、两根滚筒刷20安装在两个竖向安装板21之间且彼此平行布置。三根喷淋管10和两根滚筒刷交替间隔分布。其中，滚筒刷20通过轴承安装在竖向安装板21上；喷淋管10直接固定在两竖向安装板21之间，其一侧连接管接头11。
[0035]所述传动部包括端部齿轮组件和一根水平布置的从动轮轴9，所述从动轮轴9通过轴承安装在两竖向安装板21之间，在滚筒刷20和从动轮轴9的同侧端部设置所述端部齿轮组件，端部齿轮组件和管接头11均位于其中一个竖向安装板的外侧。两个滚筒刷20彼此之间平行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硬脆材料的刷洗装置，其特征在于：包括：刷洗部，所述刷洗部包括至少一根滚筒刷和至少一根喷淋管；传动部，所述传动部包括端部齿轮组件和一根水平布置的从动轮轴，所述端部齿轮组件包括至少两个相啮合的正齿轮，从动轮轴与端部齿轮组件的其中一个正齿轮连接传动，端部齿轮组件的其余正齿轮与滚筒刷连接传动；驱动部，所述驱动部与从动轮轴连接，用于驱动所述从动轮轴转动。2.根据权利要求1所述的刷洗装置，其特征在于：所述滚筒刷和喷淋管交替间隔分布。3.根据权利要求2所述的刷洗装置，其特征在于：所述刷洗部还包括水平安装板，所述水平安装板两侧平行设有竖向安装板；所述滚筒刷和从动轮轴通过轴承安装在两个竖向安装板之间；所述喷淋管固定安装在竖向安装板上。4.根据权利要求3所述的刷洗装置，其特征在于：所述端部齿轮组件安装在竖向安装板的外侧，所述端部齿轮组件包括依次啮合的多个正齿轮，所述滚筒刷和从动轮轴的同侧端部分别嵌套安装一个正齿轮。5.根据权利要求4所述的刷洗装置，其特征在于：所述滚筒刷设有两根，这两根滚筒刷平行排布；所述端部齿轮组件包括相互啮合的第一正齿轮、第二正齿轮、第三正齿轮和第四正齿轮，第一正齿轮嵌套安装在从动轮轴的端部，第二正齿轮和第四正齿轮分...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，沈文杰，赵志鹏，魏圳辰，葛彦杰，倪少博，汤承伟，张帅，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：