【技术实现步骤摘要】
一种含有苯环交联剂的制备方法
[0001]本专利技术属于化学
,尤其涉及一种含有苯环交联剂的制备方法。
技术介绍
[0002]随着集成电路尺寸不断变小,在光刻过程中对光刻胶的分辨率要求也不断提高。这就促进人们不断对以KrF、ArF或F2准分子激光等短波长光源为主的光刻胶材料进行深入研究,持续开发出线宽更小、分辨率更高、线条粗糙度越小的光刻胶材料。交联剂能够和很多聚合物交联而固化,在涂料上面有很好的作用,用途较为广泛。经研究发现,交联剂由于其独特的性能在光刻胶上面具有很好的应用,尤其是含有苯环结构的交联剂由于其独特的吸光性能,让其利用率大大提升。现有技术中,含有苯环交联剂的制备途径有多种,大多反应条件苛刻,转化率和收率都比较低,而且反应时间长,副产物多,后处理复杂繁琐,对环境的污染较大,不适合于工业化大生产。
技术实现思路
[0003]本专利技术实施例提供一种含有苯环交联剂的制备方法,旨在解决现有的制备方法中反应条件苛刻,转化率和收率都比较低,而且反应时间长,副产物多,后处理复杂繁琐,对环境的污染较大,不 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种含有苯环交联剂的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)将四甲氧甲基甘脲、醇溶液以及催化剂混合,边搅拌边加热升温至四甲氧甲基甘脲溶解,接真空,加热反应6
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7小时,得到反应液;所述四甲氧甲基甘脲与所述醇溶液的摩尔比为1:(4
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5);每0.1摩尔四甲氧甲基甘脲加入催化剂5
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10克;(2)在氮气保护下,往步骤(1)的反应液中加入有机溶剂,搅拌至溶解后过滤,浓缩,得到含有苯环交联剂;所述含有苯环交联剂为1,3,4,6
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四苯甲氧甲基甘脲。2.根据权利要求1所述的含有苯环交联剂的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述醇溶液为苯甲醇。3.根据权利要求1所述的含有苯环交联剂的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述催化剂为离子交换树脂。4.根据权利要求1所述的含有苯环交联剂的制备方法,...
【专利技术属性】
技术研发人员:许东升,周浩杰,许鹏,祝晓岚,施军民,顾大公,马潇,许从应,毛智彪,
申请(专利权)人:宁波南大光电材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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