一种光刻机掩膜版的智能存取方法技术

本发明专利技术公开了一种光刻机掩膜版的智能存取方法，包括以下步骤：S1、提供一个智能存取装置；S2、将各种规格的掩膜版放置在对应的掩膜版盒中；S3、将各掩膜版盒放入到对应的收纳盒中，其对应关系通过操作面板进行存储；S4、抽气风机启动；S5、从操作面板中输入所要取出掩膜版的规格；S6、电控柜驱动顶推机构移动到收纳盒的后方；S7、顶推机构动作将该收纳盒推出；S8、取出该收纳盒中的掩膜版盒并关闭收纳盒。该智能存取方法能够更好更迅速的存取掩膜版，避免灰尘的附着，避免掩膜版放错。避免掩膜版放错。避免掩膜版放错。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机掩膜版的智能存取方法


[0001]本专利技术涉及一种智能存取方法，用于智能存取光刻机掩膜版。

技术介绍

[0002]光刻机是一种半导体生产设备，在光刻的过程中会利用到掩膜版，而由于晶圆进行光刻的图案有非常多种，因此就需要使用非常多的掩膜版，这样就导致掩膜版的规格也非常多，而目前的掩膜版的储存方式是放置在一个掩膜版盒内，掩膜版盒堆放在一个区域，当需要使用对应的掩膜版时需要人工翻动掩膜版盒，找到对应的掩膜版盒后取出掩膜版使用，这种储存方式存在以下弊端：1、这种存放方式在寻找对应规格的掩膜版时是比较繁琐的，寻找时间长；2、目前的掩膜版虽然放置在掩膜版盒内，但是掩膜版盒是放置在工作空间内，空间中可能有灰尘会进入到掩膜版盒内，从而附着在掩膜版上，这样就会影响光刻的精度和光刻质量；3、目前的这种储存方式可以在存放掩膜版时可以弄错，由于有非常多的掩膜版盒堆放在一起，当使用完掩膜版时需要放回时，工人可能因为拿错掩膜版盒，这样掩膜版盒和掩膜版就没有一一对应，这样下次使用时难以寻找或者直接使用错的掩膜版，这样就会造成大量的晶圆在光刻时图形出错，造成非常大的经济损失。

技术实现思路

[0003]本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种光刻机掩膜版的智能存取方法，该智能存取方法能够更好更迅速的存取掩膜版，避免灰尘的附着，避免掩膜版放错。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种光刻机掩膜版的智能存取方法，包括以下步骤：
[0005]S1、准备工作
[0006]提供一个智能存取装置，智能存取装置包括柜体，所述柜体内安装上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板将所述柜体分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，所述上水平分隔板和下水平分隔板之间安装有竖直分隔板，该竖直分隔板将所述中间腔体分隔为前腔体和后腔体，所述前腔体内抽拉安装有若干个用于放置对应规格掩膜版盒的收纳盒，所述后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有电控柜和抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述前腔体内位于竖直分隔板的前侧安装有顶推机构，所述顶推机构在前腔体内移动顶推任意一个收纳盒，所述柜体的前面板上设置有操作面板；
[0007]S2、将各种规格的掩膜版放置在对应的掩膜版盒中，每个掩膜版盒对应一种规格的掩膜版，对掩膜版盒进行编号；
[0008]S3、将对收纳盒进行编号，将各掩膜版盒一一对应放入到对应的收纳盒中，其对应关系通过操作面板进行存储；
[0009]S4、电控柜控制抽气风机启动，使柜体内的空气洁净；
[0010]S5、当需要取出某一规格的掩膜版时，从操作面板中输入所要取出掩膜版的规格；
[0011]S6、电控柜驱动顶推机构移动到与该规格掩膜版所对应的收纳盒的后方；
[0012]S7、顶推机构动作将该收纳盒推出；
[0013]S8、取出该收纳盒中的掩膜版盒并关闭收纳盒。
[0014]优选的，所述收纳盒利用磁吸组件关闭将收纳盒关闭，并设置了用于检测收纳盒是否关闭到位的位置检测传感器，若工人忘记关闭收纳盒，提示报警，这样保证了收纳盒关闭准确可靠的同时，也能避免意外的发生。
[0015]优选的，所述操作面板上还设置有外置条形码扫码装置，所述掩膜版盒上设置有条形码，该条形码储存了掩膜版盒的编号信息，工人在放回掩膜版盒时，外置条码扫码装置扫码得出该掩膜版盒对应的收纳盒的编号，电控柜控制顶推机构移动到该收纳盒的后方顶推收纳盒，通过外置条形码扫码装置可以更好更快速的存取。
[0016]优选的，每个收纳盒内还安装有用于检测收纳盒内掩膜版盒上条形码的内置条形码扫码装置，当掩膜版盒放入到收纳盒后，内置条形码扫码装置对掩膜版盒的条码进行扫码，并将该扫码得到掩膜版盒编号与收纳盒编号的对应关系进行核对，若出现对应关系错误，发出报警提示，并且顶推机构移动到该收纳盒的后方将该收纳盒推出。利用内置条形码扫码装置可以进行收纳盒内掩膜版盒的识别和反馈，进一步避免放错收纳盒。
[0017]优选的，所述顶推机构与收纳盒的顶推接触为弹性接触。
[0018]采用了上述技术方案后，本专利技术的效果是：该智能存取方法相比目前的对方储存方式具有以下优点：1、每个掩膜版盒都放置在一个收纳盒中，需要取出时，可以自动将对应的收纳盒打开，这样避免了寻找的流程，同时降低了人工寻找出错的几率；2、掩膜版盒整体储存在柜体内，柜体持续进行空气净化，避免了灰尘的附着，尤其是在取掩膜版盒时，前腔体持续保持正压状态，这样避免外部灰尘进入到柜体内；3、该智能存取方法能自动寻址，自动打开收纳盒，减少了人工参与，避免了因工人疏忽而出错的情况。
附图说明
[0019]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0020][0021]图1是本专利技术实施例的立体结构图；
[0022]图2是本专利技术实施例的剖视图；
[0023]图3是本专利技术实施例在A处的放大示意图；
[0024]图4是本专利技术实施例在B处的放大示意图；
[0025]图5是顶推机构的正面示意图；
[0026]附图中：1、柜体；2、收纳盒；3、过滤器；4、温湿度传感器；5、蜂鸣器；6、补光灯；7、操作面板；8、外置条形码扫码装置；9、标签纸；10、上水平分隔板；11、下水平分隔板；12、下腔体；13、前腔体；14、后腔体；15、上腔体；16、竖直分隔板16；17、顶推机构； 171、竖直导轨；172、水平横梁；173、水平滑座；174、顶推动力装置； 175、顶推杆；1751、主杆体；1752、安装盲孔；1753、压缩弹簧；1754、推杆本体；1755、密封帽；1756、限位块；18、安装板；19、贯穿孔； 20、磁吸组件；21、内置条形码扫码装置；22、导轨组件；23、位置检测传感器；24、抽气风机；25、电控柜。
具体实施方式
[0027]下面通过具体实施例对本专利技术作进一步的详细描述。
[0028]如图1至图5所示，一种光刻机掩膜版的智能存取方法，包括以下步骤：
[0029]S1、准备工作
[0030]提供一个智能存取装置，智能存取装置包括柜体1，所述柜体1内安装上水平分隔板10和下水平分隔板11，所述上水平分隔板10和下水平分隔板11将所述柜体1分隔成上腔体15、中间腔体和下腔体12，所述上水平分隔板10和下水平分隔板11之间安装有竖直分隔板16，该竖直分隔板16将所述中间腔体分隔为前腔体13和后腔体14，所述前腔体 13内抽拉安装有若干个用于放置对应规格掩膜版盒的收纳盒2，所述后腔体14内安装有过滤器3，所述后腔体14上设置有进气口，所述下腔体12上设置有电控柜25和抽气风机24，所述抽气风机24的进气口与后腔体14联通，所述抽气风机24的出气口与前腔体13连通，所述前腔体13与上腔体15连通，所述上腔体15上设置有排气口，所述前腔体13内位于竖直分隔板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机掩膜版的智能存取方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、准备工作提供一个智能存取装置，智能存取装置包括柜体，所述柜体内安装上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板将所述柜体分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，所述上水平分隔板和下水平分隔板之间安装有竖直分隔板，该竖直分隔板将所述中间腔体分隔为前腔体和后腔体，所述前腔体内抽拉安装有若干个用于放置对应规格掩膜版盒的收纳盒，所述后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有电控柜和抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述前腔体内位于竖直分隔板的前侧安装有顶推机构，所述顶推机构在前腔体内移动顶推任意一个收纳盒，所述柜体的前面板上设置有操作面板；S2、将各种规格的掩膜版放置在对应的掩膜版盒中，每个掩膜版盒对应一种规格的掩膜版，对掩膜版盒进行编号；S3、将对收纳盒进行编号，将各掩膜版盒一一对应放入到对应的收纳盒中，其对应关系通过操作面板进行存储；S4、电控柜控制抽气风机启动，使柜体内的空气洁净；S5、当需要取出某一规格的掩膜版时，从操作面板中输入所要取出掩膜版的规格；S6、电控柜驱动顶推机...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛立久，张雪奎，刘增增，周一雷，徐金鑫，
申请(专利权)人：山东华楷微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：