一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备制造技术

本实用新型专利技术公开了光学显微镜领域的一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备，包括底板，底板的顶部固定连接有支撑柱，底板的顶部设置有反光镜，支撑柱的表面固定连接有载物台，载物台的内部开设有聚光孔，载物台的一侧设置有膜厚仪，载物台的顶部设置有固定机构，支撑柱的内部活动连接有转杆，转杆的一端延伸至支撑柱的外部并固定连接有转盘，转杆的另一端延伸至支撑柱的内部并通过轴承与支撑柱内腔的一侧活动连接，转杆的表面固定连接有第一锥形齿轮，第一锥形齿轮的表面啮合有第二锥形齿轮，第二锥形齿轮的内部固定连接有第一螺纹杆。本实用新型专利技术解决了不方便对镜臂的高度进行调节，且方便对检测物品进行固定的问题。且方便对检测物品进行固定的问题。且方便对检测物品进行固定的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备


[0001]本技术涉及光学显微镜领域，具体是一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备。

技术介绍

[0002]伴随着光学薄膜近年来在空间遥感、精密光学等领域的不断深入，以及光学薄膜具备成本低，质量轻且光学性质稳定的特点，能够设计并批量制造出高精度，高性能光学薄膜已成为众多研究机构与光学企业的共同追求，对于在工作波段的光学薄膜来说，其本身厚度是制约薄膜光学性能的一项重要因素，因此在光学薄膜研制过程中，如何能够快速准确测量其实际各膜层的厚度，对于优惠膜系结构以及改进制备工艺都产生着极为重要的作用，这时就需要一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备。
[0003]现有的可实现局部测量的光学显微膜厚设备不方便对镜臂的高度进行调节，且方便对检测物品进行固定，如中国专利公开了“一种可实现局部测量的光学显微膜厚仪”(专利号：201911373049.0)，该专利能够对物品具体的某一点的特性进行测量，提高的仪器的精准度，但是该专利不能对测量对象进行固定，不利于人们使用，因此，本领域技术人员提供了一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备，包括底板，所述底板的顶部固定连接有支撑柱，所述底板的顶部设置有反光镜，所述支撑柱的表面固定连接有载物台，所述载物台的内部开设有聚光孔，所述载物台的一侧设置有膜厚仪，所述载物台的顶部设置有固定机构，所述支撑柱的内部活动连接有转杆，所述转杆的一端延伸至支撑柱的外部并固定连接有转盘，所述转杆的另一端延伸至支撑柱的内部并通过轴承与支撑柱内腔的一侧活动连接，所述转杆的表面固定连接有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的表面啮合有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的内部固定连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的一端通过轴承与支撑柱内腔的底部活动连接，所述第一螺纹杆的表面螺纹连接有卡块，所述卡块的一侧固定连接有镜臂本体，所述镜臂本体的顶部固定连接有底座，所述底座的顶部固定连接有目镜，所述镜臂本体的底部固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有转换座，所述转换座的底部固定连接有物镜。
[0007]作为本技术进一步的方案：所述固定机构包括壳体、第二螺纹杆、转板和卡板，所述壳体的底部与载物台的顶部固定连接，所述壳体的内部与第二螺纹杆的表面螺纹连接，所述第二螺纹杆的一端延伸至壳体的外部并与转板的底部固定连接，所述第二螺纹杆的底端延伸至壳体的内部并通过轴承与壳体内腔的底部活动连接，所述第二螺纹杆的表
面与卡板的内部螺纹连接，所述卡板的一侧延伸至壳体的外部。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述壳体的内壁开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内部固定连接有第一固定杆，所述第一固定杆的表面活动连接有第一滑块，所述第一滑块的一侧与卡板的一侧固定连接。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述膜厚仪的两侧均固定连接有夹片，所述夹片的内部螺纹连接有固定栓，所述固定栓的表面与载物台的内部螺纹连接。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述底板的顶部设置有显示器，所述显示器的底部通过固定件与底板的顶部固定连接。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述底板的内部开设有圆形槽，所述圆形槽的内部活动连接有圆球，所述圆球的顶部与反光镜的底部固定连接。
[0012]作为本技术再进一步的方案：所述转盘的一侧设置有转球，所述转球的一侧通过固定件与转盘的一侧固定连接。
[0013]作为本技术再进一步的方案：所述支撑柱的内壁开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内部固定连接有第二固定杆，所述第二固定杆的表面活动连接有第二滑块，所述第二滑块的一侧与卡块的一侧固定连接。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0015]1、本技术中，通过工作人员带动转盘和转杆转动，转杆带动第一锥形齿轮转动，第一锥形齿轮带动第二锥形齿轮和第一螺纹杆转动，第一螺纹杆带动卡块和镜臂本体移动，能够对镜臂本体的高度进行调节，通过固定机构，能够对测量对象进行固定，解决了不方便对镜臂的高度进行调节，且方便对检测物品进行固定的问题。
[0016]2、本技术中，通过壳体与载物台的固定，工作人员带动转板进行转动，转板带动第二螺纹杆进行转动，第二螺纹杆带动卡板进行移动，能够对测量对象进行固定，在卡板进行移动时，卡板带动第一滑块进行移动，通过第一滑槽和第一固定杆，能够使卡板在移动时起到稳定作用，在对膜厚仪进行固定时，通过夹片和固定栓，能够更好的对膜厚仪进行固定，在膜厚仪对测量对象进行测量时，通过显示器，能够方便工作人员进行查看，在对反光镜进行移动时，反光镜带动圆球进行移动，通过圆形槽，能够更好的使反光镜进行移动，工作人员带动转球进行转动，转球带动转盘进行转动，能够方便工作人员进行使用，在卡块进行移动时，卡块带动第二滑块进行移动，通过第二滑槽和第二固定杆，能够使卡块在移动时起到稳定作用。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图；
[0018]图2为本技术结构剖视图；
[0019]图3为本技术结构载物台正视图；
[0020]图4为本技术结构图2中A的结构放大图。
[0021]图中：1、底板；2、支撑柱；3、反光镜；4、载物台；5、聚光孔；6、膜厚仪；7、固定机构；71、壳体；72、第二螺纹杆；73、转板；74、卡板；8、转杆；9、转盘；10、第一锥形齿轮；11、第二锥形齿轮；12、第一螺纹杆；13、卡块；14、镜臂本体；15、底座；16、目镜；17、安装板；18、转换座；19、物镜；20、第一滑槽；21、第一固定杆；22、第一滑块；23、夹片；24、固定栓；25、显示器；26、
圆形槽；27、圆球；28、转球；29、第二滑槽；30、第二固定杆；31、第二滑块。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1～4，本技术实施例中，一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备，包括底板1，底板1的顶部固定连接有支撑柱2，底板1的顶部设置有反光镜3，支撑柱2的表面固定连接有载物台4，载物台4的内部开设有聚光孔5，载物台4的一侧设置有膜厚仪6，载物台4的顶部设置有固定机构7，支撑柱2的内部活动连接有转杆8，转杆8的一端延伸至支撑柱2的外部并固定连接有转盘9，转杆8的另一端延伸至支撑柱2的内部并通过轴承与支撑柱2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有支撑柱(2)，所述底板(1)的顶部设置有反光镜(3)，所述支撑柱(2)的表面固定连接有载物台(4)，所述载物台(4)的内部开设有聚光孔(5)，所述载物台(4)的一侧设置有膜厚仪(6)，所述载物台(4)的顶部设置有固定机构(7)，所述支撑柱(2)的内部活动连接有转杆(8)，所述转杆(8)的一端延伸至支撑柱(2)的外部并固定连接有转盘(9)，所述转杆(8)的另一端延伸至支撑柱(2)的内部并通过轴承与支撑柱(2)内腔的一侧活动连接，所述转杆(8)的表面固定连接有第一锥形齿轮(10)，所述第一锥形齿轮(10)的表面啮合有第二锥形齿轮(11)，所述第二锥形齿轮(11)的内部固定连接有第一螺纹杆(12)，所述第一螺纹杆(12)的一端通过轴承与支撑柱(2)内腔的底部活动连接，所述第一螺纹杆(12)的表面螺纹连接有卡块(13)，所述卡块(13)的一侧固定连接有镜臂本体(14)，所述镜臂本体(14)的顶部固定连接有底座(15)，所述底座(15)的顶部固定连接有目镜(16)，所述镜臂本体(14)的底部固定连接有安装板(17)，所述安装板(17)的底部固定连接有转换座(18)，所述转换座(18)的底部固定连接有物镜(19)。2.根据权利要求1所述的一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备，其特征在于：所述固定机构(7)包括壳体(71)、第二螺纹杆(72)、转板(73)和卡板(74)，所述壳体(71)的底部与载物台(4)的顶部固定连接，所述壳体(71)的内部与第二螺纹杆(72)的表面螺纹连接，所述第二螺纹杆(72)的一端延伸至壳体(71)的外部并与转板(73)的底部固定连接，所述第二螺纹杆(72)的底端延伸至壳体(71)的内部并通过轴承与...

【专利技术属性】
技术研发人员：李万新，
申请(专利权)人：上海仁晶测量技术有限公司，
类型：新型
国别省市：