【技术实现步骤摘要】
一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备
[0001]本技术涉及光学显微镜领域，具体是一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备。
技术介绍
[0002]伴随着光学薄膜近年来在空间遥感、精密光学等领域的不断深入，以及光学薄膜具备成本低，质量轻且光学性质稳定的特点，能够设计并批量制造出高精度，高性能光学薄膜已成为众多研究机构与光学企业的共同追求，对于在工作波段的光学薄膜来说，其本身厚度是制约薄膜光学性能的一项重要因素，因此在光学薄膜研制过程中，如何能够快速准确测量其实际各膜层的厚度，对于优惠膜系结构以及改进制备工艺都产生着极为重要的作用，这时就需要一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备。
[0003]现有的可实现局部测量的光学显微膜厚设备不方便对镜臂的高度进行调节，且方便对检测物品进行固定，如中国专利公开了“一种可实现局部测量的光学显微膜厚仪”(专利号：201911373049.0)，该专利能够对物品具体的某一点的特性进行测量，提高的仪器的精准度，但是该专利不能对测量对象进行固定，不利于人们使用，因此，本领域技术人员提供了一种可实...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有支撑柱(2)，所述底板(1)的顶部设置有反光镜(3)，所述支撑柱(2)的表面固定连接有载物台(4)，所述载物台(4)的内部开设有聚光孔(5)，所述载物台(4)的一侧设置有膜厚仪(6)，所述载物台(4)的顶部设置有固定机构(7)，所述支撑柱(2)的内部活动连接有转杆(8)，所述转杆(8)的一端延伸至支撑柱(2)的外部并固定连接有转盘(9)，所述转杆(8)的另一端延伸至支撑柱(2)的内部并通过轴承与支撑柱(2)内腔的一侧活动连接，所述转杆(8)的表面固定连接有第一锥形齿轮(10)，所述第一锥形齿轮(10)的表面啮合有第二锥形齿轮(11)，所述第二锥形齿轮(11)的内部固定连接有第一螺纹杆(12)，所述第一螺纹杆(12)的一端通过轴承与支撑柱(2)内腔的底部活动连接，所述第一螺纹杆(12)的表面螺纹连接有卡块(13)，所述卡块(13)的一侧固定连接有镜臂本体(14)，所述镜臂本体(14)的顶部固定连接有底座(15)，所述底座(15)的顶部固定连接有目镜(16)，所述镜臂本体(14)的底部固定连接有安装板(17)，所述安装板(17)的底部固定连接有转换座(18)，所述转换座(18)的底部固定连接有物镜(19)。2.根据权利要求1所述的一种可实现局部测量的光学显微膜厚设备，其特征在于：所述固定机构(7)包括壳体(71)、第二螺纹杆(72)、转板(73)和卡板(74)，所述壳体(71)的底部与载物台(4)的顶部固定连接，所述壳体(71)的内部与第二螺纹杆(72)的表面螺纹连接，所述第二螺纹杆(72)的一端延伸至壳体(71)的外部并与转板(73)的底部固定连接，所述第二螺纹杆(72)的底端延伸至壳体(71)的内部并通过轴承与...
【专利技术属性】
技术研发人员：李万新，
申请(专利权)人：上海仁晶测量技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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