一种晶圆固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆固定装置，包括载板和设于载板上的夹具机构；载板设有用于容纳晶圆的圆槽，夹具机构设于圆槽外侧；夹具机构包括条形夹片、弹性件、支杆和限位件；载板上设有导向槽，支杆底端与导向槽形成导向连接，顶端通过转轴与条形夹片两端之间的一中部连接，限位件与支杆和导向槽配合以调节条形夹片中部和载板之间的距离；条形夹片一端为按压端，弹性件抵接于按压端与载板之间，条形夹片另一端向下弯折形成接触端，可通过操作按压端来实现接触端对晶圆的固定，高效快速的取放晶圆，操作方便，并可调节对晶圆压力的大小，普适性强。性强。性强。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆固定装置


[0001]本技术涉及半导体制造的
，尤其涉及一种晶圆固定装置。

技术介绍

[0002]随着半导体产业的发展，晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，通过对晶圆进行加工可以制作成各种各样的芯片，满足不同消费者的需求。因此，晶圆的加工制造一直是研究的核心领域。半导体生产过程涉及的蒸镀工艺，是将晶圆置于蒸镀机圆盘上旋转蒸镀，由于旋转时离心力的存在，晶圆会有甩出圆盘的风险。为避免该风险，通常会设有晶圆的固定装置。现有的固定装置，是采用弹片结构，弹片一端连接于圆盘载板上，另一端弯折起伏后下压实现对晶圆的固定，这种结构具有以下缺点：1)需抓取拉扯弹片靠近晶圆的起伏部分来进行晶圆的取放，操作不方便且容易刮伤晶圆表面；2)对不同厚度的晶圆的压力难以调节，普适性差，尤其对于例如GaAs等质地较脆的晶圆，同样容易划伤晶圆表面，甚至因压力过大而导致晶圆破裂等问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术存在的不足，提供一种晶圆固定装置。
[0004]为了实现以上目的，本技术的技术方案为：
[0005]一种晶圆固定装置，包括载板和设于载板上的夹具机构；所述载板设有用于容纳晶圆的圆槽，所述夹具机构设于圆槽外侧；所述夹具机构包括条形夹片、弹性件、支杆和限位件；所述载板上设有导向槽，所述支杆底端设于导向槽中并形成导向连接，顶端通过转轴与条形夹片两端之间的一中部连接，所述限位件与支杆和导向槽配合以调节条形夹片中部和载板之间的距离；所述条形夹片一端为按压端，所述弹性件抵接于按压端与载板之间，条形夹片另一端向下弯折形成接触端。
[0006]可选的，所述支杆的至少部分区域设有螺纹，所述限位件为与支杆螺纹连接的两个螺母，所述两个螺母分别位于所述载板的上方和下方且宽度均大于所述导向槽。
[0007]可选的，所述导向槽是弧形槽，且弧形槽的圆心点对应位于所述弹性件下方；所述条形夹片的接触端由所述支杆沿导向槽移动带动进入或离开所述圆槽的上方。
[0008]可选的，还包括一支撑轴，所述条形夹片的按压端可转动的套接于所述支撑轴上；所述弹性件为弹簧，套设于所述支撑轴外。
[0009]可选的，所述载板上还设有凸起部，所述凸起部设有与所述支撑轴配合的凹槽，所述弹簧抵接于所述条形夹片的下表面与所述凸起部的顶面之间。
[0010]可选的，还包括一操作压片，所述操作压片设于所述条形夹片的按压端上，与条形夹片平行设置且一端弯折与条形夹片固定，另一端延伸至条形夹片的按压端之外。
[0011]可选的，所述条形夹片具有按序设置的平直区、向下弯折区以及向上弯曲区，所述按压端和中部位于所述平直区，所述接触端位于所述向上弯曲区。
[0012]可选的，所述向上弯曲区和与向上弯曲区相连的部分向下弯折区具有平行设置的
若干镂空图形。
[0013]可选的，沿所述圆槽外周等间隔设有三个所述夹具机构。
[0014]可选的，所述圆槽具有环形台阶。
[0015]本技术的有益效果为：
[0016](1)可有效固定晶圆，避免晶圆在旋转蒸镀等操作时因离心力而甩飞的风险；
[0017](2)可以高效快速的取放晶圆，结构稳定，操作方便；
[0018](3)可调节对晶圆的压力大小，适用于固定不同厚度及不同材质的晶圆，普适性强。
附图说明
[0019]图1为一实施例的晶圆固定装置的整体结构正面示意图；
[0020]图2为一实施例的晶圆固定装置的整体结构背面示意图；
[0021]图3为夹具机构的整体结构示意图；
[0022]图4为夹具机构的分解结构示意图；
[0023]图5为另一实施例的夹具机构的结构示意图。
具体实施方式
[0024]以下结合附图和具体实施例对本技术做进一步解释。
[0025]参考图1至图4，一种晶圆固定装置，包括载板1和设于载板1上的夹具机构2。载板设有用于容纳晶圆的圆槽11，夹具机构2设于圆槽11外侧。夹具机构2包括条形夹片21、弹性件22、支杆23和限位件24。载板1上设有导向槽12，支杆23底端设于导向槽12中并形成导向连接，顶端通过转轴25与条形夹片21两端之间的一中部连接，限位件24与支杆23和导向槽12配合以调节条形夹片21中部和载板1之间的距离。条形夹片21一端为按压端21a，弹性件22抵接于按压端21a与载板1之间，条形夹片21另一端向下延伸形成接触端21b。从而，条形夹片21两端以支杆23为支点上下摆动，通过向按压端21a施力压缩弹性件22使接触端21b翘起，通过支杆23沿导向槽12滑移带动接触端21b进入圆槽11上方，松开对按压端21a的施力，弹性件22释放弹力使接触端21b下压即可达到固定晶圆的目的。
[0026]具体，支杆23的至少部分区域设有螺纹23a，限位件24为与支杆23螺纹连接的两个螺母，支杆23底部穿过导向槽12，两个螺母(限位件24)分别位于载板1的上方和下方且宽度均大于导向槽12，从而从上下卡住载板1实现垂直方向上支杆23和载板1的固定，通过调节两个螺母与支杆23的连接即可调节支杆23位于载板1上方的长度，从而调整条形夹片21与载板1的距离以调节弹性件22的弹力，最终达到调节接触端21b下压晶圆的接触力的大小，以适用于不同厚度和不同材质的晶圆。
[0027]导向槽12是弧形槽，且弧形槽的圆心点对应位于弹性件22下方，即，条形夹片21以按压端21a为圆点实现水平旋转，条形夹片的接触端21b由支杆23沿导向槽12内移动而水平旋转，进入或离开圆槽11的上方。通过弧形槽的设置，条形夹片可实现路径稳定的水平转动，便于对接触端21b的位置进行控制。
[0028]弹性件22优选为弹簧，套设于一支撑轴26上，条形夹片21的按压端21a可转动的套接于支撑轴26顶端，并通过一螺帽27与支撑轴26旋接限制条形夹片21脱离支撑轴26。载板1
上还设有凸起部13，凸起部13设有与支撑轴26配合的凹槽131，弹性件22抵接于条形夹片21的下表面与凸起部13的顶面之间，随着弹性件22压缩和扩张，支撑轴26底端伸入或离开凹槽131，从而使弹性件22具有稳定的伸缩路线，且和条形夹片之间形成良好配合，避免发生不必要的移动和抖动。
[0029]此外，按压端21a还可设置一操作压片28，操作压片28与条形夹片21平行设置且一端弯折与条形夹片21固定，另一端延伸至条形夹片21的按压端之外。操作压片28作为把手可实现更方便快捷的操作。
[0030]条形夹片21具有按序设置的平直区211、向下弯折区212以及向上弯曲区213，按压端21a和中部位于平直区211，所述接触端21b位于向上弯曲区213，向上弯曲区213在固定晶圆时与晶圆表面接触，给与晶圆一个向下的压力，以限制晶圆上下移动。条形夹片21与支杆23通过转轴25的转动连接方式可以是例如条形夹片21中部底面设有连接部214，连接部214可插入支杆23顶端，转轴25穿过连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆固定装置，其特征在于：包括载板和设于载板上的夹具机构；所述载板设有用于容纳晶圆的圆槽，所述夹具机构设于圆槽外侧；所述夹具机构包括条形夹片、弹性件、支杆和限位件；所述载板上设有导向槽，所述支杆底端设于导向槽中并形成导向连接，顶端通过转轴与条形夹片两端之间的一中部连接，所述限位件与支杆和导向槽配合以调节条形夹片中部和载板之间的距离；所述条形夹片一端为按压端，所述弹性件抵接于按压端与载板之间，条形夹片另一端向下弯折形成接触端。2.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述支杆的至少部分区域设有螺纹，所述限位件为与支杆螺纹连接的两个螺母，所述两个螺母分别位于所述载板的上方和下方且宽度均大于所述导向槽。3.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述导向槽是弧形槽，且弧形槽的圆心点对应位于所述弹性件下方；所述条形夹片的接触端由所述支杆沿导向槽移动带动进入或离开所述圆槽的上方。4.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于：还包括一支撑轴，所述条形夹片的按压端可转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵廷刚，林志东，陈家诚，
申请(专利权)人：泉州市三安集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：