一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台，不锈钢壳体内设置有样品台、旋转轴和电机，用于装载样品的样品台设置在旋转轴的上端，旋转轴的下端与电机的转轴相连接；不锈钢壳体的外侧壁上还设置有倾斜转轴，倾斜转轴的一端伸入不锈钢壳体内部，电机安装在不锈钢壳体内部的倾斜转轴上；由于将装载样品的样品台设置在可倾斜的旋转轴上，利用其与溅射头形成一定角度的倾斜，再配合旋转轴自身的旋转，使得凹凸不平的非导电样品上的任何地方都可以镀上一层均匀的导电膜，且膜层厚度一致，克服了现有的真空镀膜设备及其配套装置仍然的局限性，不仅适合真空镀膜上表面平整的非导电样品，而且更加适合真空镀膜上表面凹凸不平的非导电样品。平的非导电样品。平的非导电样品。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台


[0001]本技术涉及真空镀膜仪的配套装置领域，尤其涉及的是一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台。

技术介绍

[0002]目前的真空镀膜设备一般配备的都是固定样品台，仅适合真空镀膜上表面平整的非导电样品，平整表面上的导电膜膜层厚度均匀一致。
[0003]但是，对于上表面凹凸不平的非导电样品，若还是使用固定样品台进行真空镀膜之后，在扫描电子显微镜（SEM）下观测样品表面形貌时，凹凸的斜面难以镀膜，膜层厚薄不均甚至断裂，镀膜后的样品仍然无法导电，可见现有的真空镀膜设备及其配套装置仍然具有一定的局限性。
[0004]所以，现有技术中的真空镀膜设备及其配套装置需要改进。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，适合真空镀膜上表面凹凸不平的非导电样品。
[0006]本技术的技术方案如下：一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台，包括不锈钢壳体和样品台；样品台位于不锈钢壳体中，用于装载样品；不锈钢壳体的上端面用于与真空镀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台，包括不锈钢壳体（110）和样品台（120）；样品台（120）位于不锈钢壳体（110）中，用于装载样品；不锈钢壳体（110）的上端面用于与真空镀膜仪的溅射头相连接，不锈钢壳体（110）的下端面用于连接在真空镀膜仪的底座上；其特征在于：不锈钢壳体（110）内设置有旋转轴（130）和电机（140），样品台（120）设置在旋转轴（130）的上端，用于随旋转轴（130）一同旋转，旋转轴（130）的下端与电机（140）的转轴相连接，用于通过电机（140）驱动旋转轴（130）转动；不锈钢壳体（110）的外侧壁上还设置有倾斜转轴（150），倾斜转轴（150）的一端伸入不锈钢壳体（110）内部，电机（140）安装在不锈钢壳体（110）内部的倾斜转轴（150）上，用于通过手动转动不锈钢壳体（110）外侧的倾斜转轴（150），带动电机（140）和旋转轴（130）绕倾斜转轴（150）的轴心线转动所设定的角度。2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台，其特征在于：所述电机（140）设置在电机密封壳（141）的内部，电机密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈秋平，岳霞，胡孙林，谭晓辉，莫玉叶，杜思昊，梁剑航，卢雯惠，
申请(专利权)人：广州竞赢科学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：