下载一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台的技术资料

文档序号:32906124

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本实用新型公开了一种真空镀膜设备用可旋转倾斜样品台,不锈钢壳体内设置有样品台、旋转轴和电机,用于装载样品的样品台设置在旋转轴的上端,旋转轴的下端与电机的转轴相连接;不锈钢壳体的外侧壁上还设置有倾斜转轴,倾斜转轴的一端伸入不锈钢壳体内部,电机...
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