一种变换角度的提升装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种变换角度的提升装置，包括：滑动载台，沿滑动载台作线性运动的第一滑块与第二滑块，第一滑块位于第二滑块的上方，以及两个分别安装于滑动载台两侧的支架，支架接近滑动载台的一侧形成滑动轨道。第一滑块上固定设置第一握持部，第二滑块上活动铰接第二握持部，第二握持部的两侧分别固定设置用于在滑动轨道内滚动的滚轮。其中，滑动轨道包括与滑动载台平行的平行轨道以及用于改变滚轮的运动方向的变角轨道。通过本申请，实现将收容晶圆的花篮以一定角度初始放置，并在提升后变换角度将花篮竖直放置。后变换角度将花篮竖直放置。后变换角度将花篮竖直放置。

【技术实现步骤摘要】
一种变换角度的提升装置


[0001]本技术涉及提升装置领域，更具体涉及一种变换角度的提升装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，经常会遇见需要将工件从一个工序搬运至另一工序的情况。例如在晶圆干燥设备中，需要将清洗后的晶圆从清洗池中提升至干燥室内进行干燥，以干燥清洗后留存于晶圆表面的清洗液，来避免晶圆的表面留有水渍而影响晶圆的质量。在清洗池内清洗晶圆时，为了促进晶圆表面的清洁，需要将收容晶圆的花篮以一定角度倾斜放置。然而，在干燥室内干燥晶圆时，需要将花篮竖直放置以便将晶圆顶入干燥室内。由此需要提供提升装置，将收容晶圆的花篮以一定角度初始放置，并在提升后变换角度得以将花篮竖直放置。
[0003]有鉴于此，有必要对现有技术中的提升装置予以改进，以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于公开一种变换角度的提升装置，得以解决
技术介绍
中需要提供一种提升装置，将收容晶圆的花篮以一定角度初始放置，并在提升后变换角度得以将花篮竖直放置的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种变换角度的提升装置，包括：
[0006]滑动载台，沿所述滑动载台作线性运动的第一滑块与第二滑块，所述第一滑块位于第二滑块的上方，以及两个分别安装于所述滑动载台两侧的支架，所述支架接近所述滑动载台的一侧形成滑动轨道；
[0007]所述第一滑块上固定设置第一握持部，所述第二滑块上活动铰接第二握持部，所述第二握持部的两侧分别固定设置用于在所述滑动轨道内滚动的滚轮；
[0008]其中，所述滑动轨道包括与所述滑动载台平行的平行轨道以及用于改变所述滚轮的运动方向的变角轨道。
[0009]作为本技术的进一步改进，还包括用于向上托持并固定所述滑动载台的安装座，所述安装座包括底板，所述底板自上而下包括托持面以及安装面；
[0010]其中，所述托持面用于托持所述滑动载台，所述安装面与水平面齐平，所述托持面与所述安装面形成夹角α。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述支架接近所述滑动载台的一侧凹陷形成沿滑动载台方向延伸且宽度相等的滑槽，所述滑槽的侧壁贴合设置引导块，所述引导块包括与所述滑槽的延伸方向平行且宽度相等的第一分段以及向与所述滑槽的贴合一侧逐渐收缩的第二分段，所述引导块与所述支架配合形成用于引导所述滚轮滚动方向的滑动轨道；
[0012]其中，所述第一分段与所述支架配合形成所述平行轨道，所述第二分段与所述支架配合形成所述变角轨道。
[0013]作为本技术的进一步改进，所述第一分段的宽度与所述滚轮直径之和等于所
述滑槽的宽度，所述第二分段的收缩端形成夹角β，所述夹角β与所述夹角α相等。
[0014]作为本技术的进一步改进，所述支架包括平行于所述滑动载台的平行段以及自所述平行段的顶端向远离于所述滑动载台方向偏离的倾斜段，所述支架对应于所述滑动载台的一侧凹陷形成与所述支架延伸方向一致且宽度恒定的滑动轨道。
[0015]作为本技术的进一步改进，所述滑动轨道的宽度等于所述滚轮的直径，所述倾斜段偏离于所述平行段形成夹角γ，所述夹角γ与所述夹角α相等。
[0016]作为本技术的进一步改进，所述滑动载台包括用于供所述第一滑块及所述第二滑块滑行的导轨以及第一驱动单元与第二驱动单元，所述第一驱动单元用于驱动第一滑块，所述第二驱动单元用于驱动第二滑块。
[0017]作为本技术的进一步改进所述第一驱动单元包括第一丝杠以及第一电机，所述第一电机与第一丝杠连接，所述第一丝杠连接于第一滑块用于驱动第一滑块沿所述导轨滑行；所述第二驱动单元包括第二电机以及第二丝杠，所述第二电机与第二丝杠连接，所述第二丝杠连接于第二滑块用于驱动第二滑块沿所述导轨滑行。
[0018]作为本技术的进一步改进，所述第一握持部固定握持第一执行杆，所述第一执行杆上固定用于向上顶起晶圆的顶块。
[0019]作为本技术的进一步改进，所述第二握持部固定握持第二执行杆，所述第二执行杆上固定用于支撑花篮的支撑座，所述支撑座上设置有若干用于固定花篮的固定块。
[0020]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0021]本申请中，通过设置滑动载台并在滑动载台上设置可沿滑动载台滑动的第一滑块以及第二滑块，同时，滑动载台的两侧设置有形成滑动轨道的支架，第二滑块上活动铰接第二握持部，第二握持部的两侧凸伸设置可在滑动轨道内滚动的滚轮，滑动轨道包括与滑动载台平行的平行轨道以及用于改变滚轮的运动方向的变角轨道，从而可以通过滚轮在滑动轨道内的运动改变第二握持部的倾斜方向且进一步带动通过第二执行杆连接于第二握持部的花篮的布置方向，得以实现将收容晶圆的花篮以一定角度初始放置，并在提升后变换角度将花篮竖直放置。
附图说明
[0022]图1为本技术所揭示的一种变换角度的提升装置在干燥机中实施时的示意图；
[0023]图2为本技术所揭示的一种变换角度的提升装装置搬运晶圆花篮时的示意图；
[0024]图3为本技术所揭示的一种变换角度的提升装置的立体图；
[0025]图4为本技术中安装座的立体图；
[0026]图5为图4所示的安装座的侧视图；
[0027]图6为本技术中滑动载台的示意图；
[0028]图7为本技术中变角轨道以及第二滑块的装配立体图；
[0029]图8为图7所示的变角轨道以及第二滑块的装配主视图；
[0030]图9为图8中B
‑
B方向的剖视图；
[0031]图10为本技术中第二滑块的爆炸图；
[0032]图11为本技术中支架的另一种实施方式的示意图。
具体实施方式
[0033]下面结合附图所示的各实施方式对本技术进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本技术的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本技术的保护范围之内。
[0034]需要理解的是，在本申请中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术方案的限制。
[0035]在详细阐述本技术的一种变换角度的提升装置之前，对涉及的技术概念予以必要说明。本技术所揭示的一种变换角度的提升装置10以图1与图2所示出的装配关系安装于干燥机中，用于托持收容晶圆401的花篮40，并将花篮40自清洗池30提升至干燥室20中。因此，表示方位的术语“上”、“下”、“上方”、“下方”均是相对于图1所示的视角而言的，其中，接近干燥室本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种变换角度的提升装置，其特征在于，包括：滑动载台，沿所述滑动载台作线性运动的第一滑块与第二滑块，所述第一滑块位于第二滑块的上方，以及两个分别安装于所述滑动载台两侧的支架，所述支架接近所述滑动载台的一侧形成滑动轨道；所述第一滑块上固定设置第一握持部，所述第二滑块上活动铰接第二握持部，所述第二握持部的两侧分别固定设置用于在所述滑动轨道内滚动的滚轮；其中，所述滑动轨道包括与所述滑动载台平行的平行轨道以及用于改变所述滚轮的运动方向的变角轨道。2.根据权利要求1所述的变换角度的提升装置，其特征在于，还包括用于向上托持并固定所述滑动载台的安装座，所述安装座包括底板，所述底板自上而下包括托持面以及安装面；其中，所述托持面用于托持所述滑动载台，所述安装面与水平面齐平，所述托持面与所述安装面形成夹角α。3.根据权利要求2所述的变换角度的提升装置，其特征在于，所述支架接近所述滑动载台的一侧凹陷形成沿滑动载台方向延伸且宽度相等的滑槽，所述滑槽的侧壁贴合设置引导块，所述引导块包括与所述滑槽的延伸方向平行且宽度相等的第一分段以及向与所述滑槽的贴合一侧逐渐收缩的第二分段，所述引导块与所述支架配合形成用于引导所述滚轮滚动方向的滑动轨道；其中，所述第一分段与所述支架配合形成所述平行轨道，所述第二分段与所述支架配合形成所述变角轨道。4.根据权利要求3所述的变换角度的提升装置，其特征在于，所述第一分段的宽度与所述滚轮直径之和等于所述滑槽的宽度，所述第二分段的收缩端形成夹角β，所述夹角β与...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘国强，张洋，孙海洋，
申请(专利权)人：智程半导体设备科技昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：