一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备及镀厚金属层工艺制造技术

本发明专利技术涉及薄膜镀金技术领域，尤其涉及一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备及镀厚金属层工艺。其技术方案包括：底柜、磁控溅射机与真空槽，底柜的内部两侧安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端安装有升降板，升降板的底部安装有磁控溅射机，底柜的内部的顶部安装有真空槽，真空槽的内部安装有清理组件，清理组件内安装有双向丝杆，双向丝杆的外侧通过螺纹安装有丝套刮板。本发明专利技术通过清理组件中的双向丝杆转动带动两组丝套刮板进行相对移动，从而可以对真空槽内部残留的金属涂料进行及时的刮除清理，减少工作人员手动清理的工作量，同时也便于对真空槽内部残留的金属涂料进行收集，方便对留的金属涂料进行回收利用，增加装置节能环保性能。环保性能。环保性能。

【技术实现步骤摘要】
一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备及镀厚金属层工艺


[0001]本专利技术涉及薄膜镀金
，尤其涉及一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备及镀厚金属层工艺。

技术介绍

[0002]超薄膜在镀金时，需要通过磁控溅射的方式进行镀金，磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤，射频磁控溅射制备薄膜是一种很成熟的技术，通俗地讲就是在真空的状态下，将要溅射的元件等离子化，然后把这种等离子的类气体涂在薄膜上，也可以把坚硬的物资涂到柔性物体上去，这时需要一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备。
[0003]经检索，专利公告号为CN103898462A公开一种磁控溅射镀膜装置，其包括一反应室、位于反应室中央的一转架及可拆卸地设置于反应室腔壁与转架之间的至少一靶材，该磁控溅射镀膜装置还包括与反应室连通的二气体气路，每一气体气路设置有出气孔，且其中一气体气路的出气孔靠近靶材设置，另一气体气路的出气孔设置于转架的周围。
[0004]现有的磁控溅射镀膜装置的设备存在的缺陷是：
[0005]1、无法及时地对超薄膜镀金残留的金属涂料进行清理，从而导致金属涂料残留在装置内部固化，不仅增加了工作人员后期清理量，也增加清理难度，同时也不便于对金属涂料进行收集，从而影响金属涂料回收利用率，降低了装置的节能环保性；
[0006]2、在进行抽吸真空时，无法对抽出的气体进行过滤，导致抽出气体直接排放在空气中，而抽出气体中携带大量的金属等离子，金属等离子进入真空抽吸装置内部会破坏内部结构，同时携带金属等离子的气体排放在空气中会污染工作环境，进而危害工作人员的身体健康。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题，提出一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备。
[0008]本专利技术的技术方案：一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，包括底柜、磁控溅射机与真空槽，所述底柜的内部两侧安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端安装有升降板，所述升降板的底部安装有磁控溅射机，所述底柜的内部的顶部安装有真空槽，所述真空槽的内部安装有清理组件，所述清理组件内安装有双向丝杆，所述双向丝杆的外侧通过螺纹安装有丝套刮板，所述真空槽的底部通过电磁阀管安装有收集箱，所述真空槽的底部一侧通过管道安装有真空组件，所述真空组件内安装有真空抽吸泵，所述真空抽吸泵的顶部安装有过滤筒，且过滤筒的内部安装有滤芯，所述底柜内部的底部安装有氩气罐。
[0009]优选的，所述底柜的正面通过合页安装有检修门，且底柜的正面一侧安装有控制器。
[0010]优选的，所述磁控溅射机的底部安装有平面矩形靶，且平面矩形靶底部安装有限位辊架。
[0011]优选的，所述双向丝杆的一端安装有延伸至底柜内部的伺服电机，且丝套刮板的底部与真空槽底部内壁接触连接。
[0012]优选的，所述氩气罐的顶部通过管道安装有输气泵，且输气泵的输出端通过管道与真空槽的底部连接。
[0013]优选的，所述收集箱的内部活动安装有收集抽屉，且收集抽屉的正面安装有把手。
[0014]一种用于超薄膜上镀厚金属层的工艺，基于上述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其工艺是，将超薄膜固定在限位辊架顶部，在通过电动伸缩杆通电运行带动升降板进行向下移动，从而带动磁控溅射机向下一端至与真空槽密闭连接，通过真空抽吸泵通电产生负压吸力，从而抽取真空槽内部的空气，使真空槽内部呈一定真空度，且真空槽内部的空气通过过滤筒内部的通过滤芯进行过滤，避免金属等离子进入真空抽吸泵内部，磁控溅射机通电产生等离子气体，等离子气体通过平面矩形靶均匀涂在限位辊架顶部的超薄膜上，在平面矩形靶均匀涂布时，通过输气泵通电运行将氩气罐内部的氩气输送至真空槽内部，通过惰性气体氩气将金属等离子均匀涂布在限位辊架顶部的超薄膜上，通过清理组件中的双向丝杆转动带动两组丝套刮板进行相对移动，从而对真空槽内部残留的金属涂料进行及时的刮除清理，清理的金属涂料通过电磁阀管输送至收集箱。
[0015]与现有技术相比，本专利技术具有如下有益的技术效果：
[0016]1、通过清理组件中的双向丝杆转动带动两组丝套刮板进行相对移动，从而可以对真空槽内部残留的金属涂料进行及时的刮除清理，使其不需要工作人员手动清理，减少工作人员手动清理的工作量，同时也便于对真空槽内部残留的金属涂料进行收集，方便对留的金属涂料进行回收利用，增加了装置节能环保性能；
[0017]2、通过过滤筒内部的滤芯可对真空槽内部排出的空气进行过滤，利用滤芯有效过滤空气中的金属等离子，避免金属等离子进入真空抽吸泵内部，有效解决了造成真空槽内部厚镀金层的问题，同时也保证了真空槽内部的散热效果，同时也避免真空抽吸泵排气携带金属等离子排放到空气中，保证了工作环境的安全性。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的立体图；
[0019]图2为本专利技术的剖面结构示意图；
[0020]图3为本专利技术的磁控溅射机局部结构示意图；
[0021]图4为本专利技术的真空组件局部结构示意图。
[0022]附图标记：1、底柜；101、电动伸缩杆；102、升降板；103、检修门；2、磁控溅射机；201、平面矩形靶；202、限位辊架；3、真空槽；4、清理组件；401、伺服电机；402、双向丝杆；403、丝套刮板；5、氩气罐；501、输气泵；6、收集箱；601、收集抽屉；602、电磁阀管；7、真空组件；701、真空抽吸泵；702、过滤筒；703、滤芯。
具体实施方式
[0023]下文结合附图和具体实施例对本专利技术的技术方案做进一步说明。
[0024]实施例一
[0025]如图1
‑
4所示，本专利技术提出的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，包括底柜1、磁控溅射机2与真空槽3，底柜1的内部两侧安装有电动伸缩杆101，电动伸缩杆101的输出端安装有升降板102，升降板102的底部安装有磁控溅射机2，磁控溅射机2的底部安装有平面矩形靶201，且平面矩形靶201底部安装有限位辊架202，底柜1的内部的顶部安装有真空槽3，真空槽3的内部安装有清理组件4，清理组件4内安装有双向丝杆402，双向丝杆402的外侧通过螺纹安装有丝套刮板403，真空槽3的底部通过电磁阀管602安装有收集箱6，真空槽3的底部一侧通过管道安装有真空组件7，真空组件7内安装有真空抽吸泵701，真空抽吸泵701的顶部安装有过滤筒702，且过滤筒702的内部安装有滤芯703，底柜1内部的底部安装有氩气罐5。
[0026]基于实施例1的用于超薄膜上镀厚金属层的设备工作原理是：将超薄膜固定在限位辊架202顶部，电动伸缩杆101通电运行带动升降板102进行向下移动，从而可带动磁控溅射机2向下移动至与真空槽3密闭连接(磁控溅射机2下部与真空槽3形成密封)，通过真空抽吸泵701通电产生负压吸力，从而抽取真空槽3内部的空气，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，包括底柜(1)、磁控溅射机(2)与真空槽(3)，其特征在于：所述底柜(1)的内部两侧安装有电动伸缩杆(101)，所述电动伸缩杆(101)的输出端安装有升降板(102)，所述升降板(102)的底部安装有磁控溅射机(2)，所述底柜(1)的内部的顶部安装有真空槽(3)，所述真空槽(3)的内部安装有清理组件(4)，所述清理组件(4)内安装有双向丝杆(402)，所述双向丝杆(402)的外侧通过螺纹安装有丝套刮板(403)，所述真空槽(3)的底部通过电磁阀管(602)安装有收集箱(6)，所述真空槽(3)的底部一侧通过管道安装有真空组件(7)，所述真空组件(7)内安装有真空抽吸泵(701)，所述真空抽吸泵(701)的顶部安装有过滤筒(702)，且过滤筒(702)的内部安装有滤芯(703)，所述底柜(1)内部的底部安装有氩气罐(5)。2.根据权利要求1所述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其特征在于：所述底柜(1)的正面通过合页安装有检修门(103)，且底柜(1)的正面一侧安装有控制器。3.根据权利要求1所述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其特征在于：所述磁控溅射机(2)的底部安装有平面矩形靶(201)，且平面矩形靶(201)底部安装有限位辊架(202)。4.根据权利要求1所述的一种用于超薄膜上镀厚金属层的设备，其特征在于：所述双向丝杆(402)的一端安装有延伸至底柜(1)内部的伺服电机(401)，且丝套刮板(403)的底部与真空槽(3)底部内壁接触连接。5.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙鹏，邓光华，
申请(专利权)人：东莞市鹏涛新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：