一种陶瓷靶材的绑定模具及绑定方法技术

本发明专利技术涉及一种陶瓷靶材的绑定模具及绑定方法，所述模具包括：模具本体，所述模具本体设有第一槽以及在所述第一槽的底部开设的第二槽，所述第二槽用于放置靶坯，所述第一槽用于在焊料加入到所述靶坯上时形成焊料阻碍区；以及至少两个定位卡件，所述定位卡件可移动地设在所述模具本体上，且可移动到所述第二槽内，以定位所述靶坯。以定位所述靶坯。以定位所述靶坯。

【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷靶材的绑定模具及绑定方法


[0001]本专利技术涉及绑定方法的
，特别是涉及一种陶瓷靶材的绑定模具及绑定方法。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜过程中，常用的一种物料为靶材，靶材由靶坯和背板组成，通常使用一定厚度的焊料将靶坯和背板焊接在一起形成靶材；现有的靶材绑定方法在靶坯和背板进行焊接的过程中，容易出现焊料的流出，导致靶材的绑定率较低，影响到靶材溅射，严重时还会造成靶材脱焊的风险。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本专利技术的目的是提供一种陶瓷靶材的绑定模具及绑定方法，用于解决了在靶坯和背板进行焊接的过程中，容易出现焊料的流出，导致靶材的绑定率较低的技术问题。
[0004]本专利技术的实施例采用了如下技术方案：
[0005]本专利技术的实施例提供了一种陶瓷靶材的绑定模具所述模具包括：
[0006]模具本体，所述模具本体设有第一槽以及在所述第一槽的底部开设的第二槽，所述第二槽用于放置靶坯，所述第一槽用于在焊料加入到所述靶坯上时形成焊料阻碍区；以及至少两个定位卡件，所述定位卡件可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷靶材的绑定模具，其特征在于，所述模具包括：模具本体，所述模具本体设有第一槽以及在所述第一槽的底部开设的第二槽，所述第二槽用于放置靶坯，所述第一槽用于在焊料加入到所述靶坯上时形成焊料阻碍区；以及至少两个定位卡件，所述定位卡件可移动地设在所述模具本体上，且可移动到所述第二槽内，以定位所述靶坯。2.根据权利要求1所述的陶瓷靶材的绑定模具，其特征在于，所述模具本体为石墨盘。3.根据权利要求1所述的陶瓷靶材的绑定模具，其特征在于，所述模具本体上设有至少两个沿径向设置的第三槽，各所述定位卡件设于对应的所述第三槽上，且可沿对应的所述第三槽移动。4.根据权利要求1所述的陶瓷靶材的绑定模具，其特征在于，所述定位卡件以所述第二槽的底部的中心为圆心，等角度的均布在所述模具本体上。5.一种陶瓷靶材的绑定方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：将靶坯放置在模具本体的第二槽上，移动定位卡件定位固定所述靶坯，并对模具本体进行加热至210～230℃；将背板加热至170～190℃；将焊料加热至160～180℃后，将熔化的所述焊料加入到所述靶坯的绑定...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈文兴，白平平，童培云，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：