用于液氮环境的显微镜的防雾装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种用于液氮环境的显微镜的防雾装置，包括：套筒、加热构件和平板玻璃，其中，套筒与显微镜的物镜下端可拆卸连接并具有罩设物镜的防雾腔，加热构件可拆卸的固定于套筒且用于加热所述防雾腔，平板玻璃设于套筒内靠近下端的位置。根据本发明专利技术提供的用于液氮环境的显微镜的防雾装置，通过加热物镜镜头与平板玻璃之间的空气，对在低温环境下工作的显微镜物镜镜头去雾处理，效果持续性强，使用平板玻璃使得光线穿透率高，对显微镜成像效果影响很小。本发明专利技术提供的防雾装置加工方便，造价低廉，易于操作，便于维修。便于维修。便于维修。

【技术实现步骤摘要】
用于液氮环境的显微镜的防雾装置及方法


[0001]本专利技术涉及加热装置
，尤其涉及一种用于液氮环境的显微镜的防雾装置及方法。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的快速发展，所生产的芯片应用于各行各业，在特殊行业下，所需芯片应在耐低温的同时不影响其自身性能。现有耐低温测试使用的绝大部分为
‑
20℃～
‑
50℃温度区间，且为人为制造的低温环境。在需要更低温度时，一般将液氮作为低温测试环境，液氮具有化学性质稳定、造价低廉、环保等优点。在液氮环境中使用显微镜进行观察时，由于观察环境温度低，在液氮容器周围会出现白霜，同时显微镜镜头底端会出现水雾，影响观察效果，同时还会影响显微镜寿命。在现有技术中，普遍使用防雾剂或防雾薄膜，还未出现可以用于液氮环境的显微镜的防雾装置。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是如何在保证显微镜的观察效果的前提下，对显微镜的物镜进行防雾处理，提供一种用于液氮环境的显微镜的防雾装置及方法。
[0004]根据本专利技术提出的用于液氮环境的显微镜的防本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于液氮环境的显微镜的防雾装置，其特征在于，包括：套筒，与所述显微镜的物镜下端可拆卸连接，所述套筒具有罩设所述物镜的防雾腔；加热构件，可拆卸的固定于所述套筒，用于加热所述防雾腔；平板玻璃，设于所述套筒内靠近下端的位置。2.根据权利要求1所述的用于液氮环境的显微镜的防雾装置，其特征在于，所述加热构件设于所述套筒的外表面或内表面。3.根据权利要求1所述的用于液氮环境的显微镜的防雾装置，其特征在于，所述套筒在设有加热构件的表面设有卡扣，所述加热构件通过所述卡扣固定。4.根据权利要求1所述的用于液氮环境的显微镜的防雾装置，其特征在于，所述加热构件包括加热带。5.根据权利要求1所述的用于液氮环境的显微镜的防雾装置，其特征在于，所述套筒内壁下端设有压母，所述平板玻璃通过所述压母固定。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王河，刘路宽，周豪，宗俊吉，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：