一种高温反应器与显微镜联用系统技术方案

本发明专利技术提供一种高温反应器与显微镜联用系统，属于高温反应设备领域。该联用系统包括高温反应器和显微镜；高温反应器包括反应腔体和位于反应腔体内部的高温加热台；反应腔体由自下而上分布的腔底、腔身和腔盖组成；腔盖中央位置镶嵌有视窗盖板；显微镜位于视窗盖板的上方；高温加热台固定于腔底，位于视窗盖板正下方；反应腔体上分布有进气口、出气口和抽气口；高温加热台的受热方式为电阻加热或涡流加热或激光加热；高温加热台的测温采用热电偶或红外测温器实现。本发明专利技术具有体积小、能耗低、温区多和可视化的特点，尤其能增设电场或磁场条件，并通过显微镜对样品形貌进行实时原位观察。察。察。

【技术实现步骤摘要】
一种高温反应器与显微镜联用系统


[0001]本专利技术提供一种高温反应器与显微镜联用系统，属于高温反应设备领域。

技术介绍

[0002]压力和气氛可控的高温反应器主要分为两类，一类是热壁反应器（如马弗炉），另一类是冷壁反应器（如分子束外延设备）。热壁反应器是属于包裹型加热，即首先对工作区域周围的材料进行加热，再通过热传导、热对流和热辐射的形式将热量传递给工作区域。因此该类型反应器的体积和功率一般较大，且很难实现原位观察。冷壁反应器的加热装置体积和功率较小，主要通过电子束或激光对目标物质直接加热。但该类型的设备主要应用在超高真空环境，特别是分子束外延领域，但加热台只有一个。同时其为了在腔体上开孔加装具有标准接口的蒸发源(分子束蒸发源、金属蒸发源、碱金属蒸发源)、晶振仪、X射线光电子能谱分析仪（XPS）、角分辨光电子能谱（ARPES）、低能电子衍射（LEED）等原位监测装置，其腔体尺寸普遍较大，且呈球形或类球形。
[0003]专利（申请号：201920775701.0）设计了一种“冷壁化学气相沉积装置”。该装置中集中了1个“化学沉积反应区”本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高温反应器与显微镜联用系统，其特征在于：该联用系统包括高温反应器和显微镜(1)；高温反应器包括反应腔体和位于反应腔体内部的高温加热台；反应腔体由自下而上分布的腔底(10)、腔身(7)和腔盖(2)组成；腔盖(2)中央位置镶嵌有视窗盖板(3)；显微镜(1)位于视窗盖板(3)的上方；高温加热台固定于腔底(10)，位于视窗盖板(3)正下方；反应腔体上分布有进气口(11)、出气口(8)和抽气口(9)；高温加热台的受热方式为电阻加热或涡流加热或激光加热；高温加热台的测温采用热电偶或红外测温器实现。2.根据权利要求1所述高温反应器与显微镜联用系统，其特征在于：高温反应器的工作温度为室温~2000℃。3.根据权利要求1所述高温反应器与显微镜联用系统，其特征在于：视窗盖板(3)的透光度为0
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100 %。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶乾旭，伍亮，蔡金明，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：发明
国别省市：