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本发明提出了一种用于液氮环境的显微镜的防雾装置，包括：套筒、加热构件和平板玻璃，其中，套筒与显微镜的物镜下端可拆卸连接并具有罩设物镜的防雾腔，加热构件可拆卸的固定于套筒且用于加热所述防雾腔，平板玻璃设于套筒内靠近下端的位置。根据本发明提供的...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。