【技术实现步骤摘要】
一种微柱面透镜阵列的检测装置和方法
[0001]本专利技术属于光学元件检测领域，具体涉及一种微柱面透镜阵列的检测装置和方法。
技术介绍
[0002]微透镜柱面阵列是指直径为几十到几百微米的子柱面镜在基板上整齐排列组成。微透镜柱面阵列由于单元尺寸小、集成度高等特点，被广泛用于激光阵列扫描、光束匀化、光束整形中等系统中。
[0003]微透镜柱面阵列由于单元尺寸小，常规的用于曲率半径和面形检测的干涉仪不能适用。白光轮廓仪可检测的范围较小，速度慢，且不能检测NA较大的透镜阵列。
技术实现思路
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术提出了一种微柱面透镜阵列的检测装置和方法，实现了对微透镜阵列的检测。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提出了一种微柱面透镜阵列的检测装置，该装置包括：微柱面透镜阵列101，工装102，绕Z轴的旋转台201，沿X轴和Y轴的二维平移台202，Z轴方向高度接触测量设备203，计算机204。其中，XYZ坐标系为绕Z轴的旋转台201，沿X轴和Y轴的二维平移台202和Z轴方...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微柱面透镜阵列的检测装置，其特征在于：该装置包括微柱面透镜阵列(101)，工装(102)，绕Z轴的旋转台(201)，沿X轴和Y轴的二维平移台(202)，Z轴方向高度接触测量设备(203)和计算机(204)，其中，绕Z轴的旋转台(201)放在沿X轴和Y轴的二维平移台(202)上，工装(102)放在绕Z轴的旋转台(201)上，微柱面透镜阵列(101)放在工装(102)上，微柱面透镜阵列(101)位于Z轴方向高度接触测量设备(203)下方；其中，Z轴方向高度接触测量设备(203)能沿Z轴运动，并精确测量高度信息；其中，微柱面透镜阵列(101)的柱面母线与两端面垂直；计算机(204)与绕Z轴的旋转台(201)、沿X轴和Y轴的二维平移台(202)和Z轴方向高度接触测量设备(203)相连，用于发出控制信号及获取Z轴方向高度信息。2.根据权利要求1所述的一种微柱面透镜阵列的检测装置，其特征在于，工装(102)的结构为平台上有一楔角α的楔形柱，形成两个楔形台阶；楔形柱上楔角为α对着的侧面与与工装(102)的平台上表面垂直；楔形柱的三个侧面与两端面垂直，楔形柱的母线长度为f。3.一种微柱面透镜阵列的检测方法，使用权利要求1所述的微柱面透镜阵列的检测装置，其特征在于，方法如下：步骤(1)、安装微柱面透镜阵列(101)，将微柱面透镜阵列(101)放在工装(102)上，工装102的楔角α对着的侧面紧靠微柱面透镜阵列(101)的端面；步骤(2)、安放工装(102)，将工装(102)放置在绕Z轴的旋转台(201)，工装(102)与微柱面透镜阵列接触的侧面与二维平移台(202)的X轴大致垂直；步骤(3)、测试工装(102)的位置，并精调使得二维平移台(202)的X轴与工装(102)上的楔形柱的母线方向平行；步骤(4)、调整微柱面透镜阵列(101)的位置，并测试；计算机(204)控制二维平移台(202)沿着Y轴移动，让微柱面透镜阵列(101)在Z轴方向高度接触测量设备(203)的下方；然后计算机(204)控制二维平移台(202)沿着X轴移动，同时控制Z轴方向高度接触测量设备(203)测试途径微柱面透镜的与母线垂直的方向上的高度变化曲线z0(x)；步骤(5)、分析计算高度变化曲线，得出高度变化曲线的周期、各柱面单元的曲率半径和面形误差。4.根据权利要求3所示的微柱面透镜阵列检测方法，其特征在于：所述步骤(3)中，测试工装(102)的位置，使得二维平移台(202)的X轴与工装(102)上的楔形柱的母线方向平行时，采用的方法如下：步骤(31)、计算机(204)控制二维平移台(202)沿着X轴移动，同时控制Z轴方向高度接触测量设备(203)测试途径工装(102)上两个楔形台阶的高度变化；由于工装(102)上的楔形柱的母线...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐富超，李云，林妩媚，谢强，
申请(专利权)人：成都同力精密光电仪器制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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