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本发明公开了一种微柱面透镜阵列的检测装置和方法,该装置包括微柱面透镜阵列(101),工装(102),绕Z轴的旋转台(201),沿X轴和Y轴的二维平移台(202),Z轴方向高度接触测量设备(203)和计算机(204)。通过工装(102)特征的...该专利属于成都同力精密光电仪器制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都同力精密光电仪器制造有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种微柱面透镜阵列的检测装置和方法,该装置包括微柱面透镜阵列(101),工装(102),绕Z轴的旋转台(201),沿X轴和Y轴的二维平移台(202),Z轴方向高度接触测量设备(203)和计算机(204)。通过工装(102)特征的...