模块化大型载具制造技术

本发明专利技术公开一种模块化大型载具，包含至少两个本体模块、至少一个密封构件及背板，各本体模块的边缘彼此连接且沿深度方向排列，密封构件环绕设置于各本体模块的连接处，背板设置于最后端的本体模块的后侧。本发明专利技术的模块化大型载具克服现有的因射出成形机台而导致的载具尺寸限制，可在深度方向上继续扩展而加大载体的气密储存空间。体的气密储存空间。体的气密储存空间。

【技术实现步骤摘要】
模块化大型载具


[0001]本专利技术涉及一种载具，更特别地涉及一种模块化大型载具。

技术介绍

[0002]市面上现有的大型载具(例如12吋晶圆承载盒)的材料为塑料射出成形。然而射出成形机台有尺寸限制，无法射出一体式介于500
‑
800mm的大型载具。换句话说，载具的尺寸受到制造层面的限制，无法更进一步加大容量。
[0003]另一方面，若载具的尺寸加大，其本身的重量加上载体重量往往动辄超过100kg，载具的底座容易因支撑性、强度不足，易造成底座平面变形弯曲，需要更换。这些原因导致了大型载具的尺寸受限。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于解决现有大型载具的多种问题，提出一种模块化大型载具。
[0005]为达上述目的及其他目的，本专利技术提出一种模块化大型载具，其包含：至少两个本体模块，各该本体模块的边缘彼此连接且沿深度方向排列；至少一个密封构件，环绕设置于各该本体模块的连接处；以及背板，设置于最后端的该本体模块的后侧。
[0006]可选地，该背板与该本体模块一体式连接。
[0007]可选地，该背板为具透光性、部分透光性或完全不透光性三者其中之一。
[0008]可选地，该至少两个本体模块为螺丝锁扣或彼此卡合。
[0009]可选地，该本体模块的两个外侧分别具有沿该深度方向延伸的运送槽道。
[0010]可选地，该运送槽道上设有定位凹口部。
[0011]可选地，该本体模块的两个外侧分别具有垂直扣槽，该垂直扣槽沿垂直于该深度方向的高度方向延伸。
[0012]可选地，还包括：外底板，具有朝外面及朝内面，该朝内面朝向该至少两个本体模块的底面；多个补强槽件，可拆卸地设置于该朝外面，该多个补强槽件各自具有滑槽；以及多个强化件，呈长条状，该多个强化件彼此相隔一定距离地排列于该外底板及该本体模块的底面之间，且该多个强化件的底部及顶部分别顶抵于该外底板及该本体模块的底面。
[0013]可选地，该强化件、该外底板及该本体模块的底面形成H形结构。
[0014]可选地，该补强槽件为金属材料。
[0015]可选地，该强化件为金属材料或碳纤维复合材料。
[0016]借此，本专利技术的模块化大型载具可克服现有的因射出成形机台而导致的载具尺寸限制，可在深度方向上继续扩展而加大载体的气密储存空间。并且进一步加强模块化大型载具的底座的强度，避免因长时间承载而弯曲、变形，节省零件更换时间、有效降低成本，并延长模块化大型载具整体寿命。
[0017]为能够更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关专利技术的详细说明与附图，但是此说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的权利范围作任何的限制。
附图说明
[0018]图1为本专利技术实施例的模块化大型载具构的组装示意图；
[0019]图2为图1沿A
‑
A线段的纵剖面示意图；
[0020]图3为图1沿B
‑
B线段的横剖面示意图；
[0021]图4为本专利技术实施例的模块化大型载具构的外观示意图；
[0022]图5为本专利技术实施例的模块化大型载具构的外底板的朝内面的立体示意图；
[0023]图6为本专利技术实施例的模块化大型载具构的外底板的朝外面的立体示意图；
[0024]图7为本专利技术实施例的模块化大型载具构的外底板的剖面示意图。
[0025]附图标记：
[0026]100 模块化大型载具
[0027]1 本体模块
[0028]11 第一本体模块
[0029]111 底面
[0030]12 第二本体模块
[0031]121 底面
[0032]2 密封构件
[0033]3 背板
[0034]31 透光区
[0035]4 外底板
[0036]41 朝外面
[0037]42 朝内面
[0038]5 补强槽件
[0039]51 滑槽
[0040]6 强化件
[0041]61 底部
[0042]62 顶部
[0043]7 运送槽道
[0044]71 凸肋
[0045]711 定位凹口部
[0046]8 垂直扣槽
[0047]81 凸肋
[0048]A
‑
A 线段
[0049]B
‑
B 线段
[0050]d 深度方向
[0051]h 高度方向
具体实施方式
[0052]为了充分了解本专利技术，通过下述具体的实施例，并配合附图，对本专利技术做详细说明。本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本专利技术的目的、特征及效果。须注意的
是，本专利技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不背离本专利技术的精神下进行各种修饰与变更。另外，本专利技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘。以下的实施方式将进一步详细说明本专利技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本专利技术的权利要求。说明如下：
[0053]如图1至图3所示，本专利技术实施例的模块化大型载具100，其包含：至少两个本体模块1、至少一个密封构件2及背板3。
[0054]在本实施例中，至少两个本体模块1包括第一本体模块11及第二本体模块12，第一本体模块11及第二本体模块12的边缘彼此固定地连接且沿深度方向d排列。连接方式可以为螺丝锁扣或通过设置卡合部而彼此卡合。在其他实施例中，模块化大型载具100可以具有更多的本体模块1，例如第三本体模块、第四本体模块而沿深度方向d继续组合，以此方式创造大型载具的气密储存空间。
[0055]密封构件2环绕设置于各本体模块1(第一本体模块11及第二本体模块12)的连接处，以气密密封第一本体模块11及第二本体模块12的结合处。当具有更多的本体模块1，例如第三本体模块、第四本体模块，密封构件2也设置于各本体模块1的邻接处。密封构件2例如为气密胶条，然而本专利技术不限于此。
[0056]背板3设置于最后端的本体模块1的后侧。在本实施例中，最后端的本体模块1为第二本体模块12，故背板3设置于第二本体模块12。在本实施例中，背板3与第二本体模块12为分离的两个部件，故背板3与第二本体模块12之间也设置密封构件2以气密密封第二本体模块12及背板3的结合处。然而在其他实施例中，背板3也可以一体成形地形成于最后端的本体模块1的后侧，即，背板3与最后端的本体模块1以射出成形的方式一体式地连接(例如第二本体模块12与背板3为同一个射出件)。
[0057]本专利技术的模块化大型载具100还具有前门(图中未示)，设置于第一本体模块11的前侧(相对于背板3)。前门、各本体模块1及背板3可为射出式的塑料件，然而本专利技术不限于此。
[0058]本专利技术的模块化大型载具100通过多个本体模块1及密封构件2的结合，可克服现有的因射出成形机台而导致的载具尺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种模块化大型载具，其特征在于，所述模块化大型载具包括：至少两个本体模块，各所述本体模块的边缘彼此连接且沿深度方向排列；至少一个密封构件，环绕设置于各所述本体模块的连接处；以及背板，设置于最后端的所述本体模块的后侧。2.根据权利要求1所述的模块化大型载具，其特征在于，所述背板与所述本体模块一体式连接。3.根据权利要求1所述的模块化大型载具，其特征在于，所述背板为具透光性、部分透光性或完全不透光性三者其中之一。4.根据权利要求1或2所述的模块化大型载具，其特征在于，至少两个所述本体模块为螺丝锁扣或彼此卡合。5.根据权利要求1所述的模块化大型载具，其特征在于，所述本体模块的两个外侧分别具有沿所述深度方向延伸的运送槽道。6.根据权利要求5所述的模块化大型载具，其特征在于，所述运送槽道上设有定位凹口部。7.根据权利要求1或5所述的模块化大型载具，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱铭乾，沈恩年，潘咏晋，钟承恩，李柏廷，刘维虔，黄姿维，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：