一种基板热处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及热处理技术领域，尤其涉及一种基板热处理装置，本实用新型专利技术要解决的技术问题是等待冷却耗费时间和人工取件危害健康，为了解决上述技术中的问题，本实用新型专利技术提供一种基板热处理装置，本实用新型专利技术由冷却机构、加热架构和传送机构，通过冷却基板和全自动操作链，在基板进行加热完毕后，通过传送机构、第二电动推杆和真空吸盘，将加热基板吸至冷却箱，大大的减少了工作人员的时间，增加了工作人员的工作效率；本实用新型专利技术设置加热机构和传送机构，通过传输机构将加热机构中加热的基板直接传输至冷却箱，通过全自动化的操作流程，避免了加热后基板暴露在空气中产生有害气体，对工作人员造成伤害，危险健康，增加了工作人员的安全性。安全性。安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种基板热处理装置


[0001]本技术涉及热处理
，具体为一种基板热处理装置。

技术介绍

[0002]一种结构简单、可抑制使伴随着基板的热处理而产生的生成气体冷却而产生的所谓升华物的发生的热处理装置，热处理装置包括具有用于向基板处理部供给热风的热风供给部件的空气调整部、以及用于对基板进行热处理的热处理室。热处理装置配置有催化壁，载持有促进在热处理室的最下游一侧、当处理基板时所产生的生成气体的氧化分解的催化剂，但是现有的热处理装置存在很多问题或缺陷：
[0003]现有的热处理装置没有一个完善的冷却装置，在基板进行加热后，需要等待基本冷却后再将基板取出，这样很耗费时间，大大的影响了人员的工作效率；其次现有的热处理装置需要人工将基板放置进加热箱进行加热，在加热结束后，也是人工取出加热后的基板，由于基板加热后会产生有害气体，大大的危害了人体的健康。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种基板热处理装置，通过冷却机构和加热机构，以解决上述
技术介绍
中提出的等待冷却耗费时间和人工取件危害健康的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基板热处理装置，包括热处理装置外壳、加热机构、冷却机构和传送机构。
[0006]所述热处理装置外壳正面内嵌安装有观察镜，所述热处理装置外壳底端面固定连接万向轮，所述热处理装置外壳背面固定连接有推手把，所述热处理装置外壳顶端内壁固定连接蓄电池，所述热处理装置外壳一侧贯穿有出板口，所述热处理装置外壳远离出板口的一侧贯穿有进板口，所述热处理装置外壳顶端内壁固定连接有固定架。
[0007]所述加热机构包括加热箱、第一电动推杆、移动盘和温度控制器，所述固定架底端固定连接至加热箱的顶端面，所述加热箱一侧内嵌加热箱观察镜，所述加热箱顶端内壁固定连接加热器，所述加热器电性连接温度控制器，所述热处理装置外壳顶端内壁固定连接第一电动推杆，所述第一电动推杆底端固定连接真空吸盘，所述移动盘顶端面固定连接支撑杆，所述移动盘底端面固定连接第一支撑架，所述第一支撑架一侧固定安装有电动滚轮。
[0008]所述冷却机构包括冷却箱、水箱、水泵和雾化喷头，所述热处理装置外壳远离蓄电池的一侧内壁固定连接水箱，所述水箱底端内壁放置有水泵，所述水泵出水端卡套式连接水管，所述水管出水端活动安装有雾化喷头，所述水箱的一侧外壁固定连接冷却箱，所述冷却箱一侧外壁内嵌冷却箱观察镜，所述热处理装置外壳顶端内壁固定连接第二电动推杆。
[0009]所述传送机构包括隔热板、飞轮、电动机和第二支撑架，所述隔热板内壁粘接有链条，所述链条链传动有飞轮，所述飞轮固定连接有电动机的输出端，所述热处理装置外壳底端内壁固定连接第二支撑架。
[0010]优选的，所述推手把的结构形状呈倒凵形，所述万向轮在热处理装置外壳的底端
呈矩形分布，所述万向轮的数量为四个。
[0011]优选的，所述支撑杆的数量为八个，所述移动盘的数量为两个，所述第二支撑架数量为两个，所述雾化喷头的数量为两个。
[0012]优选的，所述第一电动推杆、第二电动推杆、水泵和电动机均电性连接蓄电池，所述热处理装置外壳一侧开设有蓄电池充电口。
[0013]优选的，所述热处理装置外壳顶端面内嵌电动推杆控制器，所述电动推杆控制器电性连接第一电动推杆和第二电动推杆。
[0014]优选的，所述加热箱底端开有滑槽，所述滑槽数量为四个，所述水箱顶端面开有加水口。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016](1)本技术设置有冷却机构，在基板进行加热完毕后，通过传送机构、第二电动推杆和真空吸盘，将加热基板吸至冷却箱，进行冷却，大大的减少了工作人员的时间，不必等待基板冷却，增加了工作人员的工作效率；
[0017](2)本技术设置加热机构和传送机构，通过传输机构将加热机构中加热的基板直接传输至冷却箱，通过全自动化的操作流程，避免了加热后基板暴露在空气中产生有害气体，对工作人员造成伤害，危险健康，甚至威胁生命，增加了工作人员的安全性。
附图说明
[0018]图1为本技术的正视剖视结构示意图；
[0019]图2为本技术的正视结构示意图；
[0020]图3为本技术的俯视结构示意图；
[0021]图4为本技术的图1中A出局部放大结构示意图。
[0022]图中：1、热处理装置外壳，2、观察镜，3、万向轮，4、推手把，5、蓄电池，6、出板口，7、进板口，8、固定架，9、加热箱，10、第一电动推杆， 11、加热器，12、温度控制器，13、真空吸盘，14、移动盘，15、支撑杆， 16、第一支撑架，17、电动滚轮，18、水箱，19、水泵，20、水管，21、雾化喷头，22、冷却箱，23、隔热板，24、飞轮，25、电动机，26、第二支撑架，27、第二电动推杆，28、冷却箱观察镜，29、加热箱观察镜，30、链条。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
‑
4，本技术提供的一种实施例：一种基板热处理装置，其特征在于：包括热处理装置外壳1、加热机构、冷却机构和传送机构。
[0025]所述热处理装置外壳1正面内嵌安装有观察镜2，所述热处理装置外壳1 底端面固定连接万向轮3，所述热处理装置外壳1背面固定连接有推手把4，所述热处理装置外壳1顶端内壁固定连接蓄电池5，所述热处理装置外壳1一侧贯穿有出板口6，所述热处理装置外壳1远离出板口6的一侧贯穿有进板口 7，所述热处理装置外壳1顶端内壁固定连接有固定架
8。
[0026]所述加热机构包括加热箱9、第一电动推杆10、移动盘14和温度控制器 12，所述固定架8底端固定连接至加热箱9的顶端面，所述加热箱9一侧内嵌加热箱观察镜29，所述加热箱9顶端内壁固定连接加热器11，所述加热器 11电性连接温度控制器12，所述热处理装置外壳1顶端内壁固定连接第一电动推杆10，所述第一电动推杆10底端固定连接真空吸盘13，所述移动盘14 顶端面固定连接支撑杆15，所述移动盘14底端面固定连接第一支撑架16，所述第一支撑架16一侧固定安装有电动滚轮17。
[0027]所述冷却机构包括冷却箱22、水箱18、水泵19和雾化喷头21，所述热处理装置外壳1远离蓄电池5的一侧内壁固定连接水箱18，所述水箱18底端内壁放置有水泵19，所述水泵19出水端卡套式连接水管20，所述水管20出水端活动安装有雾化喷头21，所述水箱18的一侧外壁固定连接冷却箱22，所述冷却箱22一侧外壁内嵌冷却箱观察镜28，所述热处理装置外壳1顶端内壁固定连接第二电动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板热处理装置，其特征在于：包括热处理装置外壳(1)、加热机构、冷却机构和传送机构；所述热处理装置外壳(1)正面内嵌安装有观察镜(2)，所述热处理装置外壳(1)底端面固定连接万向轮(3)，所述热处理装置外壳(1)背面固定连接有推手把(4)，所述热处理装置外壳(1)顶端内壁固定连接蓄电池(5)，所述热处理装置外壳(1)一侧贯穿有出板口(6)，所述热处理装置外壳(1)远离出板口(6)的一侧贯穿有进板口(7)，所述热处理装置外壳(1)顶端内壁固定连接有固定架(8)；所述加热机构包括加热箱(9)、第一电动推杆(10)、移动盘(14)和温度控制器(12)，所述固定架(8)底端固定连接至加热箱(9)的顶端面，所述加热箱(9)一侧内嵌加热箱观察镜(29)，所述加热箱(9)顶端内壁固定连接加热器(11)，所述加热器(11)电性连接温度控制器(12)，所述热处理装置外壳(1)顶端内壁固定连接第一电动推杆(10)，所述第一电动推杆(10)底端固定连接真空吸盘(13)，所述移动盘(14)顶端面固定连接支撑杆(15)，所述移动盘(14)底端面固定连接第一支撑架(16)，所述第一支撑架(16)一侧固定安装有电动滚轮(17)；所述冷却机构包括冷却箱(22)、水箱(18)、水泵(19)和雾化喷头(21)，所述热处理装置外壳(1)远离蓄电池(5)的一侧内壁固定连接水箱(18)，所述水箱(18)底端内壁放置有水泵(19)，所述水泵(19)出水端卡套式连接水管(20)，所述水管(20)出水端活动安装有雾化喷头(21)，所述水箱(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋英雄，
申请(专利权)人：上海宝华威热处理设备有限公司，
类型：新型
国别省市：