一种降低晶体生长炉装配高度的组件制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体晶体生长技术领域，公开了一种降低晶体生长炉装配高度的组件，其中组件包括承重板，其顶部适用于固定晶体生长炉；活动支撑组件安装于承重板的底部，并可驱动承重板进行升降动作；一组固定支撑组件可在承重板和晶体生长炉到达设计高度时，固定支撑于承重板的底部且分设于活动支撑组件的两侧；活动支撑组件适于在晶体生长炉安装到预设位置时，从承重板底部拆除。可以在较低位置先进行承重板与晶体生长炉的安装固定，之后再利用活动支撑件将晶体生长炉和承重板提升到合适的高度，接着利用固定支撑组件进行支撑固定，安装更加方便，提高了装配效率，无需反复安装，可以避免造成晶体生长炉损坏。可以避免造成晶体生长炉损坏。可以避免造成晶体生长炉损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种降低晶体生长炉装配高度的组件


[0001]本技术涉及半导体晶体生长
，具体为一种降低晶体生长炉装配高度的组件。

技术介绍

[0002]经过60多年的不断发展，全球半导体材料的发展不断取得突破，第三代半导体材料碳化硅(SiC)、氮化铝(AlN)等正在快速的发展，因其具备着较宽的禁带宽度、较高的击穿场强以及较高的饱和电子漂移速率，第三代半导体材料主要是面向新一代的光电子设备，在新一代的通信设备、智能电网、新能源汽车、消费类电子设备等领域都有着非常广泛的应用场景。SiC和AlN等生长装置通常为比较沉重且占据空间较大的晶体生长炉。
[0003]实验室室内的楼层高度大约在3
‑
4米左右，而SiC和AlN等晶体生长炉的装置设备高度大约在2.2
‑
2.8米，随着晶体尺寸的需求发展，晶体生长炉的尺寸也会变得更大。在通常实验室的条件下会使得正常装配比较困难，楼层的高度限制给晶体生长炉的装配带来了困难。目前，晶体生长炉的配备对小规模的科研单位是一个比较麻烦的问题。
[0004]目前在有限空间装配晶体生长炉的方法主要是通过叉车与工作人员相互配合的方式来将晶体生长炉放置在实验需求的位置。然而，这种方式存在以下缺点：
[0005]1.效率比较低下；
[0006]2.由于晶体生长炉比较沉重，当晶体生长炉放置在高处时与理想位置有所偏差的时候，通过人工的力量比较难以进行调整，调整较为麻烦；
[0007]3.若晶体生长炉放置在高处时与理想位置偏差较大的时候，需要重新进行装配，容易导致晶体生长炉的炉体进行损伤。

技术实现思路

[0008]本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的采用叉车与人工相配合的方式装配晶体生长炉存在效率低下，调整较为麻烦且容易导致炉体损伤的技术问题，从而提供一种可适用于有限空间内的、可避免传统方式产生安装偏差的、可降低晶体生长炉装配高度的组件。
[0009]为此，本技术的目的在于提供一种降低晶体生长炉装配高度的组件，包括：
[0010]承重板，其顶部设有固定安装部且所述固定安装部适用于固定晶体生长炉；
[0011]活动支撑组件，安装于所述承重板的底部，并可驱动所述承重板进行升降动作；
[0012]一组固定支撑组件，可在所述承重板和晶体生长炉到达设计高度时，固定支撑于所述承重板的底部且分设于所述活动支撑组件的两侧；
[0013]所述活动支撑组件适于在所述晶体生长炉安装到预设位置时，从所述承重板底部拆除。
[0014]可选的，所述的降低晶体生长炉装配高度的组件，还包括；
[0015]调节组件，其可活动地安装在所述固定支撑组件的底部，适于在所述晶体生长炉
的装配位置与预设位置发生较大偏差时、驱动所述固定支撑组件移动以带动所述晶体生长炉移动至预设位置。
[0016]可选的，所述的降低晶体生长炉装配高度的组件，所述调节组件包括：
[0017]滚轮，可滚动地安装在所述固定支撑组件的底部；
[0018]伸缩支撑杆，通过调节转换螺丝可伸缩地安装在所述固定支撑组件的底部；
[0019]当所述晶体生长炉的装配位置与预设位置存在较大偏差时，所述伸缩支撑杆朝向所述固定支撑组件方向收缩以使所述滚轮滚动接触于地面、且所述滚轮驱动所述固定支撑组件移动并带动所述晶体生长炉调节至预设位置；当所述晶体生长炉的装配位置与预设位置相符时，所述伸缩支撑杆软接触于地面。
[0020]可选的，所述的降低晶体生长炉装配高度的组件，所述活动支撑组件包括：
[0021]承重平台，可拆卸地安装在所述承重板的底部；
[0022]至少一个伸缩杆，安装在所述承重平台的底部；
[0023]动力装置，与所述伸缩杆连接，用于驱动所述伸缩杆做伸缩运动。
[0024]可选的，所述的降低晶体生长炉装配高度的组件，所述伸缩杆为电动伸缩杆，所述动力装置与所述电动伸缩杆电连接；和/或
[0025]所述承重平台为方形平台。
[0026]可选的，所述的降低晶体生长炉装配高度的组件，所述固定支撑组件包括：
[0027]炉架支撑杆，固定于所述承重板的底部，且的顶部开设有由内向外凹陷的沟槽；
[0028]弹性件，安装在所述沟槽内且一端抵接于所述沟槽的底部、另一端延伸至所述沟槽外预设长度并在所述炉架支撑杆与所述承重板固定时抵接于所述承重板的底部。
[0029]可选的，所述的降低晶体生长炉装配高度的组件，所述弹性件为弹簧、软树脂或硬树脂。
[0030]本技术技术方案，具有如下优点：
[0031]1.本技术的降低晶体生长炉装配高度的组件，可以在较低位置先进行承重板与晶体生长炉的安装固定，之后再利用活动支撑件将晶体生长炉和承重板提升到合适的高度，接着利用固定支撑组件进行支撑固定，安装更加方便，提高了装配效率，相比于传统的叉车和人工配合安装时存在偏差需要反复安装，可能导致晶体生长炉损坏，本申请无需反复安装，可以避免造成晶体生长炉损坏。
[0032]2.本技术的降低晶体生长炉装配高度的组件，通过调节组件的设置，可以在装配位置与预设位置产生较大偏差时，进行调节。同时还可以进行水平状态的调节，保证承重板和晶体生长炉的水平状态及稳定性。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1为本技术实施例的降低晶体生长炉装配高度的组件的主视结构示意图；
[0035]图2为本技术实施例的降低晶体生长炉装配高度的组件的炉架支撑杆的俯视
结构示意图；
[0036]图3为本技术实施例的降低晶体生长炉装配高度的组件的承重组件的仰视结构示意图；
[0037]图4为本技术实施例的降低晶体生长炉装配高度的组件的调节组件的结构示意图。
[0038]附图标记说明：
[0039]1、晶体生长炉；2、承重板；3、动力装置；4、伸缩杆；5、固定支撑组件；50、沟槽；51、炉架支撑杆；52、弹性件；6、承重平台；7、调节组件；71、滚轮；72、调节转换螺丝；73、伸缩支撑杆。
具体实施方式
[0040]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0041]请参阅图1至图4，本实施例提供的一种降低晶体生长炉装配高度的组件，包括承重板2、活动支撑组件、固定支撑组件5和调节组件7。其中承重板2为方形承重板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种降低晶体生长炉装配高度的组件，其特征在于，包括：承重板(2)，其顶部设有固定安装部且所述固定安装部适用于固定晶体生长炉(1)；活动支撑组件，安装于所述承重板(2)的底部，并可驱动所述承重板(2)进行升降动作；一组固定支撑组件(5)，可在所述承重板(2)和晶体生长炉(1)到达设计高度时，固定支撑于所述承重板(2)的底部且分设于所述活动支撑组件的两侧；所述活动支撑组件适于在所述晶体生长炉(1)安装到预设位置时，从所述承重板(2)底部拆除。2.根据权利要求1所述的一种降低晶体生长炉装配高度的组件，其特征在于，还包括；调节组件(7)，其可活动地安装在所述固定支撑组件(5)的底部，适于在所述晶体生长炉(1)的装配位置与预设位置发生较大偏差时、驱动所述固定支撑组件(5)移动以带动所述晶体生长炉(1)移动至预设位置。3.根据权利要求2所述的一种降低晶体生长炉装配高度的组件，其特征在于，所述调节组件(7)包括：滚轮(71)，可滚动地安装在所述固定支撑组件(5)的底部；伸缩支撑杆(73)，通过调节转换螺丝(72)可伸缩地安装在所述固定支撑组件(5)的底部；当所述晶体生长炉(1)的装配位置与预设位置存在较大偏差时，所述伸缩支撑杆(73)朝向所述固定支撑组件(5)方向收缩以使所述滚轮(71)滚动接触于地面、且所述滚轮(71)驱动所述固定支撑组件(5)移动并带动所述晶体生长炉(1)调节至预设位置；...

【专利技术属性】
技术研发人员：武红磊，李文良，金雷，覃佐燕，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：新型
国别省市：