【技术实现步骤摘要】
一种具备组合加热真空管道的真空管路系统
[0001]本技术涉及真空管路系统
,具体为一种具备组合加热真空管道的真空管路系统。
技术介绍
[0002]原真空系统制程反应腔内的废气会被下游的泵抽吸然后排放到废气处理设备进行处理,这个过程中,泵与废气处理设备之间也会有粉尘凝结堆积造成管路堵塞,造成设备宕机。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]为了解决现有技术的上述问题,本技术提供一种具备组合加热真空管道的真空管路系统,在原有真空系统中改造加装真空系统加热套件会加热流经管路的气体,再借助泵的抽吸动作,可以减少粉尘在管路凝结堵死的概率,延长真空系统的运行寿命。
[0005](二)技术方案
[0006]为了达到上述目的,本技术采用的主要技术方案:包括包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备,所述第一管路和第二管路外壁位置包覆有加热套件。
[0007]优选的,所述加热套件包括加热带和设置在加热带上用于固定加热带的魔术贴,所述加热带包括位于背部一侧的包覆层和包覆层正面右侧的加热层,所述魔术贴包括固定设置在包覆层上且位于加热层左侧位置的第一粘合部和位于包覆层背部右侧位置的第二粘合部。
[0008]优选的,所述加热带正面一侧还等间距设置有防滑条。
[0009]优选的,所述防滑条为橡胶材质制成。
[0010](三)有益效果
[0011]本技术提供了一种具备组合加热真空管道的真空管路系统。具备以下有益效果:
[001 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具备组合加热真空管道的真空管路系统,包括制程腔体(1)、第一管路(2)、泵(3)、第二管路(4)和废气处理设备,其特征在于:所述第一管路(2)和第二管路(4)外壁位置包覆有加热套件。2.根据权利要求1所述的一种具备组合加热真空管道的真空管路系统,其特征在于:所述加热套件包括加热带(5)和设置在加热带(5)上用于固定加热带(5)的魔术贴(6),所述加热带(5)包括位于背部一侧的包覆层(501)和包覆层(501)正面右侧...
【专利技术属性】
技术研发人员:项健,王虎成,王锐,张丹,李品鑫,
申请(专利权)人:合肥亚笙半导体设备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。