【技术实现步骤摘要】
一种具有粉尘收集功能的真空管路系统
[0001]本技术涉及真空管路
，具体为一种具有粉尘收集功能的真空管路系统。
技术介绍
[0002]原真空系统制程反应腔内的废气会被下游的泵抽吸然后排放到废气处理设备进行处理，这个过程中，反应腔与泵之间真空管路经常会凝结粉尘时间一长会堆积掉落到正在运行的泵内，造成泵卡死停转，并且泵与废气处理设备之间也会有粉尘凝结堆积造成管路堵塞，造成设备宕机。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]为了解决现有技术的上述问题，本技术提供一种具有粉尘收集功能的真空管路系统，能够有效的避免粉尘堆积所造成管路堵塞。
[0005](二)技术方案
[0006]为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案：包括制程腔体、第一管路、泵、第二管路和废气处理设备，所述第一管路为纵向设置，所述第一管路上还安装有三通阀，所述三通阀底部出气端安装有集尘杯，所述三通阀右侧出气端通过导管安装在泵进气端。
[0007]优选的，所述集尘杯为透明材质制成。
[0008]优选的，所述三通阀内腔位置固定设置有螺旋弹簧，所述螺旋弹簧底部一端安装有激振器。
[0009]优选的，所述第二管路上还安装有粉尘捕捉器。
[0010](三)有益效果
[0011]本技术提供了一种具有粉尘收集功能的真空管路系统。具备以下有益效果：
[0012](1)、第一管路上凝结的粉尘块会掉落在集尘杯内进行收集，避免泵卡死的现象。
[0013](2)...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有粉尘收集功能的真空管路系统，包括制程腔体(1)、第一管路(2)、泵(3)、第二管路(4)和废气处理设备(5)，其特征在于：所述第一管路(2)为纵向设置，所述第一管路(2)上还安装有三通阀(6)，所述三通阀(6)底部出气端安装有集尘杯(7)，所述三通阀(6)右侧出气端通过导管安装在泵(3)进气端。2.根据权利要求1所述的一种具有粉尘收集功能的真...
【专利技术属性】
技术研发人员：项健，陈剑飞，杨红，李品鑫，张丹，
申请(专利权)人：合肥亚笙半导体设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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